【技术实现步骤摘要】
本申请属于载台,更具体地说,是涉及一种载台及激光巨量焊接设备。
技术介绍
1、相关技术中,在工件加工前需要对工件进行预热,但是目前的载台对工件进行预热时,会造成工件的升温过快,加热不均匀。
技术实现思路
1、本申请在于提供载台及激光巨量焊接设备,使载台对工件的加热温度均匀。
2、本申请采用的技术方案是,一种载台,包括:
3、发热板;
4、承载板,设置于所述发热板上,所述承载板上设置有吸附孔,所述吸附孔用于吸附工件;以及
5、隔板,设置于所述发热板与所述承载板之间。
6、可看出,本申请的载台中,设置隔板之后,发热板产生的热量先传递至隔板之后,再通过隔板传递到承载板上,实现对承载板上的工件进行加热,该方式能够降低了热量传递的速度,与此同时,当热量从发热板传递到隔板之后有一部分热量会在隔板处散失,避免过多的热量直接传递到承载板上,造成承载板上的工件升温过快。
7、可选地,所述发热板设置有限位槽,所述隔板设置于所述限位槽内;
8、所述承载板与所述隔板粘接在一起;
9、所述隔板采用玻纤材料。
10、可选地,所述承载板上设置有吸附孔,所述吸附孔用于吸附工件;
11、所述隔板上设置有导气槽,所述导气槽与所述吸附孔连通。
12、可选地,所述承载板上设置有多个吸附孔;
13、所述导气槽分别与多个所述吸附孔连通;以及
14、所述导气槽设置有多条,每
15、多条所述导气槽相互连通。
16、可选地,所述发热板包括基板和发热体,所述隔板设置于所述基板上,所述发热体设置于所述基板远离所述隔板的一端。
17、可选地,所述基板设置有导气孔,所述导气孔与所述导气槽连通;以及
18、所述基板上设置有进气孔和出气孔,所述进气孔和出气孔分别与所述导气孔连通。
19、可选地,还包括基座,所述基座与所述发热板间隔设置;以及
20、所述基座与所述发热板之间通过多个高度调节件连接。
21、可选地,还包括调平驱动装置,所述调平驱动装置与所述基座驱动连接。
22、可选地,还包括保护板,所述保护板设置于所述发热板上,所述保护板设置有容置腔,所述承载板位于所述容置腔内,且所述承载板的吸附平面高于所述保护板。
23、一种激光巨量焊接设备,包括激光装置和所述的载台,所述激光装置与所述载台相对设置,所述激光装置用于对所述载台上的工件进行激光加工。
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1.一种载台,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的载台,其特征在于,所述发热板设置有限位槽,所述隔板设置于所述限位槽内;
3.如权利要求1所述的载台,其特征在于,所述承载板上设置有吸附孔,所述吸附孔用于吸附工件;
4.如权利要求3所述的载台,其特征在于,所述承载板上设置有多个吸附孔;
5.如权利要求3所述的载台,其特征在于,所述发热板包括基板和发热体,所述隔板设置于所述基板上,所述发热体设置于所述基板远离所述隔板的一端。
6.如权利要求5所述的载台,其特征在于,所述基板设置有导气孔,所述导气孔与所述导气槽连通;以及
7.如权利要求1所述的载台,其特征在于,还包括基座,所述基座与所述发热板间隔设置;以及
8.如权利要求7所述的载台,其特征在于,还包括调平驱动装置,所述调平驱动装置与所述基座驱动连接。
9.如权利要求1所述的载台,其特征在于,还包括保护板,所述保护板设置于所述发热板上,所述保护板设置有容置腔,所述承载板位于所述容置腔内,且所述承载板的吸附平面高于所述保护板。
< ...【技术特征摘要】
1.一种载台,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的载台,其特征在于,所述发热板设置有限位槽,所述隔板设置于所述限位槽内;
3.如权利要求1所述的载台,其特征在于,所述承载板上设置有吸附孔,所述吸附孔用于吸附工件;
4.如权利要求3所述的载台,其特征在于,所述承载板上设置有多个吸附孔;
5.如权利要求3所述的载台,其特征在于,所述发热板包括基板和发热体,所述隔板设置于所述基板上,所述发热体设置于所述基板远离所述隔板的一端。
6.如权利要求5所述的载台,其特征在于,所述基板设置有导气孔,所述导气孔与所述导气槽连通;以...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋昭,李明生,丁一淞,庄昌辉,
申请(专利权)人:深圳市大族半导体装备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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