【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、扫描系统可以使用二维扫描以根据扫描图案在视场(fov)内扫描一个或多个光束。扫描系统可以使用两个扫描轴线，包括第一扫描轴线和第二扫描轴线，第一扫描轴线被配置为以第一扫描频率在第一方向上操控(steer)一个或多个光束，第二扫描轴线被配置为以第二扫描频率在第二方向上操控一个或多个光束。第二扫描轴线通常垂直于第一扫描轴线。通过使用第一扫描频率与第二扫描频率之间不同的固定频率比，可以获得不同的扫描图案。同步第一扫描频率与第二扫描频率以保持固定频率比对于在扫描操作期间保持特定扫描图案是重要的。
技术实现思路
1、在一些实现方式中，一种微机电系统(mems)反射镜器件包括：框架，其限定框架腔；悬置组件；以及反射镜本体，其通过悬置组件耦合到框架，使得反射镜本体悬置在框架腔上方，其中反射镜本体包括夹层(sandwich)结构，夹层结构包括前板、背板以及布置在前板和背板之间的中空芯组件，其中前板和背板限定反射镜本体的厚度尺寸，以及其中中空芯组件包括多个支撑结构，该多个支撑结构在前板和背板之间延伸并且在前板和背板之间限定多个腔。
2、在一些实现方式中，一种振荡器器件包括：框架，其限定框架腔；悬置组件；以及振荡器本体，其通过悬置组件耦合到框架，使得振荡器本体悬置在框架腔上方，其中振荡器本体被配置为围绕一个或多个旋转轴线振荡，其中振荡器本体包括夹层结构，夹层结构包括前板、与前板相对布置的背板以及布置在前板和背板之间的中空芯组件，其中中空芯组件包括多个支撑结构，该多个支撑结构在
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1.一种微机电系统MEMS反射镜器件，包括：
2.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个支撑结构互连以形成三角形图案，以及
3.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个支撑结构互连以形成蜂窝图案，以及
4.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个支撑结构互连以形成多边形图案，以及
5.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个支撑结构是竖直支柱，所述竖直支柱被布置为形成集成在所述反射镜本体中的桁架框架或格网图案。
6.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个腔中的腔大小均匀并贯穿所述中空芯组件。
7.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个腔包括第一组腔和第二组腔，所述第一组腔布置在所述中空芯组件的中央区段中，所述第二组腔布置在所述中空芯组件的外围区段中，其中所述第一组腔中的腔的大小小于所述第二组腔中的腔。
8.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中与在所述反射镜本体的外围区域中所述多个支撑结构的间隔具有相对较低的密度相
9.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中与在所述反射镜本体的外围区域中所述中空芯组件具有相对较低的质量相比，在所述反射镜本体的中央区域中所述中空芯组件具有更高的质量。
10.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中相对于布置在所述反射镜本体的外围区域中的所述多个腔中的腔的体积，布置在所述反射镜本体的中央区域中的所述多个腔中的腔具有更小的体积。
11.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述反射镜本体被配置为围绕一个或多个旋转轴线振荡，以及
12.根据权利要求11所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个支撑结构被配置以使：所述多个腔的体积使得所述反射镜本体能够以大于10kHz的谐振频率振荡。
13.根据权利要求11所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个支撑结构被配置以使：所述多个支撑结构的质量使得所述反射镜本体能够以大于10kHz的谐振频率和大于10°的最大振幅振荡。
14.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述中空芯组件被配置为：使得所述反射镜本体能够以大于10kHz的谐振频率振荡、惯性减小并且动态变形减少。
15.根据权利要求14所述的MEMS反射镜器件，其中所述反射镜本体的厚度尺寸在50μm-400μm之间，并且所述多个支撑结构中的每个支撑结构具有在5μm-100μm之间的宽度尺寸。
16.根据权利要求14所述的MEMS反射镜器件，其中所述前板和所述背板各自具有在1μm-70μm之间的厚度尺寸。
17.根据权利要求14所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个腔中的每个腔具有在2μm-400μm之间的宽度。
18.根据权利要求14所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个支撑结构中的每个支撑结构具有在所述前板和所述背板之间延伸的厚度尺寸和垂直于所述厚度尺寸的宽度尺寸，以及
19.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述背板是带穿孔背板，所述带穿孔背板具有延伸穿过所述背板的多个穿孔。
20.根据权利要求19所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个穿孔中的每个穿孔与所述多个腔中的相应腔结合成一体。
21.根据权利要求19所述的MEMS反射镜器件，其中所述多个腔中的每个腔与所述多个穿孔中的相应穿孔结合成一体。
22.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，还包括：
23.根据权利要求1所述的MEMS反射镜器件，其中所述前板、所述背板和所述中空芯组件形成单件式整体构件。
24.一种振荡器器件，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种微机电系统mems反射镜器件，包括：
2.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中所述多个支撑结构互连以形成三角形图案，以及
3.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中所述多个支撑结构互连以形成蜂窝图案，以及
4.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中所述多个支撑结构互连以形成多边形图案，以及
5.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中所述多个支撑结构是竖直支柱，所述竖直支柱被布置为形成集成在所述反射镜本体中的桁架框架或格网图案。
6.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中所述多个腔中的腔大小均匀并贯穿所述中空芯组件。
7.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中所述多个腔包括第一组腔和第二组腔，所述第一组腔布置在所述中空芯组件的中央区段中，所述第二组腔布置在所述中空芯组件的外围区段中，其中所述第一组腔中的腔的大小小于所述第二组腔中的腔。
8.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中与在所述反射镜本体的外围区域中所述多个支撑结构的间隔具有相对较低的密度相比，在所述反射镜本体的中央区域中所述多个支撑结构的间隔具有更高的密度。
9.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中与在所述反射镜本体的外围区域中所述中空芯组件具有相对较低的质量相比，在所述反射镜本体的中央区域中所述中空芯组件具有更高的质量。
10.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中相对于布置在所述反射镜本体的外围区域中的所述多个腔中的腔的体积，布置在所述反射镜本体的中央区域中的所述多个腔中的腔具有更小的体积。
11.根据权利要求1所述的mems反射镜器件，其中所述反射镜本体被配置为围绕一个或多个旋转轴线振荡，以及
12.根据权利要求11所述的mems反射镜器件，其中所述多个支撑结构被配置以使：...
【专利技术属性】
技术研发人员：T·卢茨，M·贝拉，S·G·阿尔伯特，A·布罗克迈尔，M·桑达拉·潘迪安，T·贝弗，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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