【技术实现步骤摘要】
本申请涉及一种topcon电池链式清洗设备的气体导流装置，属于气体导流设备。
技术介绍
1、topcon电池，全称隧穿氧化层钝化接触(tunnel oxide passivated contact)太阳能电池技术，是一种n型硅衬底电池。topcon电池的技术特点是在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层。这两层共同形成了钝化接触结构，有效降低了表面复合和金属接触复合，从而提高了太阳能电池的转换效率。
2、目前，topcon电池片制备工艺中的去bsg/psg层主要是通过链式清洗设备来实现。其中，hf（氢氟酸）作为一种常用的清洗剂，主要用于topcon电池片的去bsg/psg层。hf在常温常压下具有非常强的吸湿性，接触空气即产生白色烟雾，如不及时排出，将会带来以下几个方面的影响：（1）hf分子吸附在链式清洗设备的观察窗、槽壁上，与其表面杂质或空气中杂质分子发生缔合反应，进而对刻蚀槽造成污染，同时影响作业员对槽内运行情况的观察。（2）hf对槽内的气密性造成影响：一方面，使链式设备内外空气流通受阻，造成hf泄露；另一方面，电池片在链式传输过程中会因hf堆积，电池片的运输受力体系发生改变，使电池片表面水膜的稳定性以及腐蚀液与电池片的接触面积改变，造成电池片边缘和背面的bsg/psg层去除不彻底，进而影响后续工艺，造成电池片良率和转换率的下降。
3、现有技术中，为了排出hf气体，在专利号为cn219303613u的链式双独立槽体结构及链式湿法清洗设备中设计了抽风装置，进行hf气体的抽出排除。但该种抽风装
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的问题与不足，本申请提供一种topcon电池链式清洗设备的气体导流装置，在链式清洗设备的内部设置槽盖，以将内部空腔分隔为上层扩散区和位于电池传输机构所在的下层挥发区，并通过在槽盖上设置孔径大小随抽风装置距离变化呈梯度减小排列的扩散孔，使链式清洗设备内部的hf气体能够在槽盖上下部分、靠近及远离抽风装置位置所形成的气压差中稳定的排出。极大降低了停机清理的频率，也降低了对电池片品质及产量的影响，同时避免了hf泄露造成事故。
2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种topcon电池链式清洗设备的气体导流装置，包括导流组件和抽风装置；导流组件包括槽盖；抽风装置安装于清洗设备的内部空腔，用于对挥发气体进行抽风导出；槽盖安装于清洗设备的内部空腔，将内部空腔分隔成相互隔离的腔室，且挥发气体发生源所在的腔室定义为挥发区，剩余腔室定义为扩散区；槽盖上开设有扩散孔，用于将挥发气体从挥发区朝扩散区进行扩散；槽盖上与抽风装置相对应位置的扩散孔的孔径大于远离抽风装置位置的扩散孔的孔径，以在抽风装置的抽风作用下，在挥发区和扩散区内气体形成向抽风装置方向流动的气流。
3、具体的，槽盖安装于链式清洗设备的电池传输机构的上侧，电池传输机构的清洗槽构成挥发气体发生源；槽盖将清洗设备的内部空腔分隔为上下两层的腔室，且位于电池传输机构侧的腔室定义为挥发区，远离电池传输机构的腔室定义为扩散区。由于电池片是放置于电池传输机构上边进行传输边利用hf进行去bsg/psg层清洗，因此将槽盖设置于电池传输机构的上侧，以形成上下两层腔室。hf气体源位于下层，此层定义为挥发区，而上层则定义为扩散区，通过在槽盖上设置扩散孔，可实现下层的hf气体由扩散孔朝上层的扩散区进行扩散，以缓解hf气体在挥发区内堆积。
4、具体的，抽风装置安装于电池传输机构侧面的槽洗设备的内部空腔，且抽风装置的抽风区域贯穿挥发区和扩散区。这样设置以实现抽风装置能同时在挥发区和扩散区进行抽取hf气体作业，从而保证链式清洗设备内部空腔的hf能被完全抽取排出，避免hf气体的堆积。
5、具体的，抽风装置为立式抽风机，立式抽风机沿径向固定安装于槽洗设备的内部空腔，且其设有若干个抽风叶片。
6、具体的，槽盖和抽风装置的数量均为若干个，若干个槽盖以与电池传输机构的传输方向依次铺设于电池传输机构的上侧；若干个抽风装置一一对应的安装于槽盖的一侧端部。这样设置以实现抽风装置沿电池传输机构传输方向铺设，使得抽风装置能均匀对不同部位的hf气体进行抽取，提高抽取效果。
7、具体的，槽盖上与抽风装置相平行的开设有若干组扩散孔；每组扩散孔包括若干排相互平行且孔径相同的扩散孔。这样设置以实现挥发区内的hf气体在靠近抽风装置的位置，由于抽风装置的主动抽风作用，hf气体朝扩散区的扩散的量较少，而远离抽风装置位置的hf气体朝扩散区扩散的量较多，使得挥发区和扩散区内的hf气体在抽风装置的作用下，沿槽盖朝抽风装置方向形成被动的气体流向。
8、具体的，若干组扩散孔的孔径以距离抽风装置位置长度呈梯度变小设置，其中紧邻抽风装置的扩散孔孔径最大，远离抽风装置的扩散孔孔径最小。这样设置一方面使得hf气体沿槽盖朝扩散区进行扩散，可以缓解hf在挥发区空间的堆积，另一方面可使槽盖下堆积的hf在距离抽风装置不同位置的槽盖区域，朝扩散区扩散的气压不同，进而实现hf气体在不同槽盖位置产生不同大小的气压差，从而在扩散区内形成气体自主向抽风装置处流动的气流，同样的原理，扩散至扩散区内的hf气体，在槽盖的不同位置的hf气体也产生不同大小的气压差，从而形成气体自主向抽风装置处流动的气流。保证hf气体在挥发区和扩散区都能自主和被动的朝抽风装置方向进行流动，使得hf气体能结及时排出，减少hf气体的堆积。
9、具体的，槽盖相对电池传输机构呈倾斜角度安装于电池传输机构的上侧。
10、具体的，槽盖位于抽风装置一侧的径向高度高于远离抽风装置的一侧的径向高度。这样设置以实现延长挥发区内的hf气体沿槽盖朝扩散区进行扩散或朝抽风装置进行流动的路径，同时倾斜式的安装槽盖，可对hf气体进行一定的导向，避免hf气体在槽盖底部的吸附和堆积。
11、与现有技术相比，本申请的有益效果在于：
12、本申请通过在链式清洗设备的电池传输机构上侧设置槽盖，以将清洗设备内部空腔分隔成上下两层腔室，同时在槽盖上开设扩散孔，且扩散孔的孔径大小随抽风装置距离变化呈梯度排列，使链式清洗设备内部气体能够在槽盖上下部分、靠近及远离抽风装置位置所形成的气压差中稳定的排出。本申请在不加设其它装置的情况下，增加了hf在链式清洗设备内的流动性，有效延长了设备的清理时间，降低了对产线的影响，使hf泄露的风险进一步降低，使操作人员作业更为安全，同时孔洞的设计增加了作业员对槽内观察的便利性。
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1.一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，包括导流组件和抽风装置；其特征在于：所述导流组件包括槽盖；所述抽风装置安装于清洗设备的内部空腔，用于对挥发气体进行抽风导出；所述槽盖安装于清洗设备的内部空腔，将内部空腔分隔成相互隔离的腔室，且挥发气体发生源所在的腔室定义为挥发区，剩余腔室定义为扩散区；所述槽盖上开设有扩散孔，用于挥发气体从挥发区朝扩散区进行扩散；所述槽盖上与抽风装置相对应位置的扩散孔的孔径大于远离抽风装置位置的扩散孔的孔径，以在抽风装置的抽风作用下，在挥发区和扩散区内气体形成向抽风装置方向流动的气流。
2.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述槽盖安装于链式清洗设备的电池传输机构的上侧，电池传输机构的清洗槽构成挥发气体发生源；槽盖将清洗设备的内部空腔分隔为上下两层的腔室，且位于电池传输机构侧的腔室定义为所述挥发区，远离电池传输机构的腔室定义为所述扩散区。
3.根据权利要求2所述的一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述抽风装置安装于电池传输机构侧面的槽洗设备的内部空腔，
4.根据权利要求3所述的一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述抽风装置为立式抽风机，所述立式抽风机沿径向固定安装于槽洗设备的内部空腔，且其设有若干个抽风叶片。
5.根据权利要求3所述的一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述槽盖和抽风装置的数量均为若干个，若干个槽盖以电池传输机构的传输方向依次铺设于电池传输机构的上侧；若干个抽风装置一一对应的安装于槽盖的一侧端部。
6.根据权利要求5所述的一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述槽盖上与抽风装置相平行的开设有若干组扩散孔；每组扩散孔包括若干排相互平行且孔径相同的扩散孔。
7.根据权利要求6所述的一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：若干组扩散孔的孔径以距离抽风装置位置长度呈梯度变小设置，其中紧邻抽风装置的扩散孔孔径最大，远离抽风装置的扩散孔孔径最小。
8.根据权利要求5所述的一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述槽盖相对电池传输机构呈倾斜角度安装于电池传输机构的上侧。
9.根据权利要求8所述的一种TOPCon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述槽盖位于抽风装置一侧的径向高度高于远离抽风装置的一侧的径向高度。
...【技术特征摘要】
1.一种topcon电池链式清洗设备的气体导流装置，包括导流组件和抽风装置；其特征在于：所述导流组件包括槽盖；所述抽风装置安装于清洗设备的内部空腔，用于对挥发气体进行抽风导出；所述槽盖安装于清洗设备的内部空腔，将内部空腔分隔成相互隔离的腔室，且挥发气体发生源所在的腔室定义为挥发区，剩余腔室定义为扩散区；所述槽盖上开设有扩散孔，用于挥发气体从挥发区朝扩散区进行扩散；所述槽盖上与抽风装置相对应位置的扩散孔的孔径大于远离抽风装置位置的扩散孔的孔径，以在抽风装置的抽风作用下，在挥发区和扩散区内气体形成向抽风装置方向流动的气流。
2.根据权利要求1所述的一种topcon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述槽盖安装于链式清洗设备的电池传输机构的上侧，电池传输机构的清洗槽构成挥发气体发生源；槽盖将清洗设备的内部空腔分隔为上下两层的腔室，且位于电池传输机构侧的腔室定义为所述挥发区，远离电池传输机构的腔室定义为所述扩散区。
3.根据权利要求2所述的一种topcon电池链式清洗设备的气体导流装置，其特征在于：所述抽风装置安装于电池传输机构侧面的槽洗设备的内部空腔，且抽风装置的抽风区域贯穿挥发区和扩散区。
4.根据权利要求3所述的一种topcon电池链式清洗设备的...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈小凯，
申请(专利权)人：江苏凌众新能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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