【技术实现步骤摘要】
本技术涉及导电薄膜生产，具体地说，是涉及一种磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置。
技术介绍
1、导电薄膜一种是在pet、pp等基材的顶面、底面均镀上铜层或者铝层的高分子材料，具有三明治结构，也被称为复合薄膜集流体，是一类具有多种良好性能的材料，广泛运用于锂离子电池中，在锂离子电池中主要作为电池集流体使用。
2、目前导电金属薄膜制备过程会使用到磁控溅射镀膜设备，磁控溅射是物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多种材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是具有高速、低温、低损伤等优点。因为是在低气压下进行高速溅射，因此，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
3、现有的磁控溅射镀膜设备在使用时，必须在薄膜缠绕前对牵引辊系进行清洁，避免牵引辊系上的金属粉末粘附到导电金属薄膜上，然而，由于牵引辊系较长且空间较为狭小，现有的人工进入设备内进行清理的方式，极为不便且效率低下。
技术实现思路
1、为了解决现有的牵引辊系上的金属粉末在清理时极为不便且清洁效率低下的问题，本技术提供一种磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置。
2、本技术技术方案如下所述：
3、一种磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，包括支架、清洁辊、吸尘器，所述清洁辊的两端转动设
4、根据上述方案的本技术，所述清洁辊的表面密布有若干吸尘孔，所述清洁辊内部中空，且所述清洁辊的一端伸出所述支架，并连接有转动接头，所述转动接头通过所述吸尘管与所述吸尘器连接。
5、根据上述方案的本技术，所述清洁辊的表面周向设有若干间隔分布的条形清洁缝，且所述清洁缝的长度方向与所述清洁辊的轴向平行。
6、根据上述方案的本技术，所述清洁辊的内腔中设有若干支座，每个所述清洁缝处设有滑动塞，所述滑动塞的内端通过弹性件与所述支座连接，使得所述滑动塞的外端伸出清洁缝，并可被按压。
7、根据上述方案的本技术，所述清洁辊的表面周向设有若干错落分布的条形清洁缝，所述清洁缝长度方向与所述清洁辊的轴线方向倾斜。
8、根据上述方案的本技术，所述支架包括第一支架、第二支架、握杆，所述第一支架、所述第二支架分别连接于所述握杆的同一端以使得所述第一支架、所述第二支架和所述握杆组合形成y型结构，所述清洁辊的一端和所述第一支架转动连接，所述清洁辊的另一端和所述第二支架转动连接。
9、根据上述方案的本技术，所述握杆的底部设置有防滑套。
10、根据上述方案的本技术，所述握杆为三段式，三段所述握杆通过螺纹连接。
11、根据上述方案的本技术，所述握杆为伸缩杆。
12、根据上述方案的本技术，所述清洁辊的两端均设有圆柱状的连接段，所述清洁辊通过所述连接段与所述清洁辊转动连接。
13、根据上述方案的本技术，其有益效果在于：
14、上述磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置中，工作人员可以站在磁控溅射镀膜设备外，通过手持支架将清洁辊伸入磁控溅射镀膜设备中，并且清洁辊的外形与牵引辊系能够实现完美贴合，将清洁辊沿着牵引辊系的轴向来回移动，使得吸尘器对牵引辊系上的金属粉末进行清理，使得清洁方便简单，有利于在狭小空间内施展，大大提升了清洁效率，降低劳动强度。
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1.一种磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，包括支架、清洁辊、吸尘器，所述清洁辊的两端转动设置在所述支架上，所述清洁辊呈中间细、两端粗的沙漏状，且所述清洁辊的母线为与牵引辊系外壁相匹配的圆弧段，所述吸尘器通过吸尘管与所述清洁辊的一端连接。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述清洁辊的表面密布有若干吸尘孔，所述清洁辊内部中空，且所述清洁辊的一端伸出所述支架，并连接有转动接头，所述转动接头通过所述吸尘管与所述吸尘器连接。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述清洁辊的表面周向设有若干间隔分布的条形清洁缝，且所述清洁缝的长度方向与所述清洁辊的轴向平行。
4.根据权利要求3所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述清洁辊的内腔中设有若干支座，每个所述清洁缝处设有滑动塞，所述滑动塞的内端通过弹性件与所述支座连接，使得所述滑动塞的外端伸出清洁缝，并可被按压。
5.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述清洁辊的表面周向设有若干错
6.根据权利要求1~5任一项所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述支架包括第一支架、第二支架、握杆，所述第一支架、所述第二支架分别连接于所述握杆的同一端以使得所述第一支架、所述第二支架和所述握杆组合形成Y型结构，所述清洁辊的一端和所述第一支架转动连接，所述清洁辊的另一端和所述第二支架转动连接。
7.根据权利要求6所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述握杆的底部设置有防滑套。
8.根据权利要求6所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述握杆为三段式，三段所述握杆通过螺纹连接。
9.根据权利要求6所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述握杆为伸缩杆。
10.根据权利要求1~5或7~9任一项所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述清洁辊的两端均设有圆柱状的连接段，所述清洁辊通过所述连接段与所述清洁辊转动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，包括支架、清洁辊、吸尘器，所述清洁辊的两端转动设置在所述支架上，所述清洁辊呈中间细、两端粗的沙漏状，且所述清洁辊的母线为与牵引辊系外壁相匹配的圆弧段，所述吸尘器通过吸尘管与所述清洁辊的一端连接。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述清洁辊的表面密布有若干吸尘孔，所述清洁辊内部中空，且所述清洁辊的一端伸出所述支架，并连接有转动接头，所述转动接头通过所述吸尘管与所述吸尘器连接。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述清洁辊的表面周向设有若干间隔分布的条形清洁缝，且所述清洁缝的长度方向与所述清洁辊的轴向平行。
4.根据权利要求3所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其特征在于，所述清洁辊的内腔中设有若干支座，每个所述清洁缝处设有滑动塞，所述滑动塞的内端通过弹性件与所述支座连接，使得所述滑动塞的外端伸出清洁缝，并可被按压。
5.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备用辊系清理装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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