【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体检测，尤其涉及一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、半导体检测中，在晶圆或者探测模块运动过程中，需要晶圆表面、位置探测模块和信号收集模块之间的相对距离保持固定。其中，探测模块和信号收集模块位置固定，而晶圆与两个模块之间存在相对运动。晶圆放置在运动承载台上形成晶圆运动模块。运动承载台通过水平运动和旋转运动将晶圆检测部分移动至探测范围。
2、在此过程中运动承载台的水平度较差或者振动，导致运动承载台上的晶圆的运动状态参数的存在偏差，影响晶圆的检测精度；目前，缺乏检测晶圆运动状态参数的有效措施。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质，简单高效的计算出晶圆的运动状态参数，以便工作人员对晶圆运动模块进行校准，进而提升晶圆检测精度。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种基于晶圆检测系统的检测方法，所述晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位置探测模块；
3、所述激光光源用于发出探测激光；所述晶圆运动模块用于反射所述探测激光生成反射激光；所述位置探测模块用于接收所述反射激光；
4、所述检测方法包括：
5、获取所述探测激光与所述晶圆运动模块的第一夹角和所述反射激光与所述位置探测模块的第二夹角；
6、获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离；
7、根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述
8、可选地，获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离，包括：
9、获取所述晶圆运动模块以预设间隔多次水平运动时，所述反射激光在所述位置探测模块上移动的第一距离集合；其中，所述水平运动包括所述晶圆运动模块靠近或者远离所述位置探测模块运动；所述第一距离集合包括多个第一距离元素值；
10、根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述移动距离计算所述晶圆运动模块的运动状态参数，包括：
11、根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第一距离集合计算所述晶圆运动模块的所述倾斜角度。
12、可选地，根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第一距离集合计算所述晶圆运动模块的倾斜角度，包括：
13、根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第一距离集合确定第一高度差集合；所述第一高度差集合包括多个第一高度差元素值，所述第一高度差元素值与所述第一距离元素值对应；所述第一高度差元素值是指所述探测激光在所述晶圆运动模块当前状态时的入射位置与初始状态时的入射位置在第一方向上的高度差值；
14、获取水平运动距离集合；所述水平运动距离集合包括多个水平运动距离元素值；所述水平运动距离元素值是指任一运动状态下所述晶圆运动模块与预设平面之间的交点位置以及所述探测激光在所述晶圆运动模块上的入射位置在第二方向上的第一距离差值；所述第二方向与所述第一方向相交；
15、根据所述第一高度差集合和所述水平运动距离集合确定所述倾斜角度。
16、可选地，获取水平运动距离集合包括：
17、确定所述探测激光在所述晶圆运动模块当前状态时的入射位置与初始状态时的入射位置在所述第二方向上的第二距离差值；
18、根据所述第二距离差值和所述预设间隔确定水平运动距离元素值；
19、将所述晶圆运动模块以预设间隔多次水平运动确定的多个所述水平运动距离元素值的集合作为所述水平运动距离集合。
20、可选地，根据所述第一高度差集合和所述水平运动距离集合确定倾斜角度，包括：
21、根据所述第一高度差集合和所述水平运动距离集合确定倾斜角度集合；所述倾斜角集合包括多个倾斜角元素值，所述倾斜角元素值与所述第一高度差元素值以及所述水平运动距离元素值对应；
22、根据多个所述倾斜角元素值的平均值确定所述倾斜角度。
23、可选地，获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离，包括：
24、获取所述晶圆运动模块转动过程中所述反射激光在所述位置探测模块上移动的第二距离；
25、根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述移动距离计算所述晶圆运动模块的运动状态参数，包括：
26、根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第二距离计算所述晶圆运动模块的所述振幅。
27、可选地，根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述移动距离计算所述晶圆运动模块的运动状态参数包括：
28、根据如下高度差公式计算所述晶圆运动模块的运动状态参数；
29、
30、其中，h表示所述探测激光在所述晶圆运动模块当前状态时的入射位置与初始状态时的入射位置在第一方向上的高度差，d表示所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离，θ1表示所述第一夹角，θ2表示所述第二夹角。
31、根据本专利技术的另一方面，提供了一种基于晶圆检测系统的检测装置，所述晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位置探测模块；
32、所述激光光源用于发出探测激光；所述晶圆运动模块用于反射所述探测激光生成反射激光；所述位置探测模块用于接收所述反射激光；
33、所述检测装置包括：
34、夹角获取模块，用于获取所述探测激光与所述晶圆运动模块的第一夹角和所述反射激光与所述位置探测模块的第二夹角；
35、移动距离获取模块，用于获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离；
36、计算模块，用于根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述移动距离计算所述晶圆运动模块的运动状态参数；所述运动状态参数包括倾斜角度和振幅。
37、根据本专利技术的另一方面，提供了一种检测设备，所述检测设备包括：
38、至少一个处理器；以及
39、与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
40、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本专利技术任一实施例所述的检测方法。
41、根据本专利技术的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现本专利技术任一实施例所述的检测方法。
42、本专利技术实施例，首先获取探测激光与晶圆运动模块的第一夹角和反射激光与位置探测模块的第二夹角，进一步获取晶圆运动模块运动时反射激光在位置探测模块上的移动距离，最后根据第一夹角、第二夹角以及移动距离计算晶圆运动模块的运动状态参数。采用上述技术方案能够简单高效的计算出晶圆运动模块的运动状态参数，以便工作人员对晶圆运动模块进行校准，进而提升晶圆检测精度。
43、应当理解，本部分所描述的内容本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于晶圆检测系统的检测方法，其特征在于，所述晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位置探测模块；
2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离，包括：
3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第一距离集合计算所述晶圆运动模块的倾斜角度，包括：
4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，获取水平运动距离集合包括：
5.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，根据所述第一高度差集合和所述水平运动距离集合确定倾斜角度，包括：
6.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离，包括：
7.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述移动距离计算所述晶圆运动模块的运动状态参数包括：
8.一种基于晶圆检测系统的检测装置，其特征在于，所述晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位
9.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括：
10.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一所述的检测方法。
...【技术特征摘要】
1.一种基于晶圆检测系统的检测方法，其特征在于，所述晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位置探测模块；
2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，获取所述晶圆运动模块运动时所述反射激光在所述位置探测模块上的移动距离，包括：
3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，根据所述第一夹角、所述第二夹角以及所述第一距离集合计算所述晶圆运动模块的倾斜角度，包括：
4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，获取水平运动距离集合包括：
5.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，根据所述第一高度差集合和所述水平运动距离集合确定倾斜角度，包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿民，相宇阳，俞胜武，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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