【技术实现步骤摘要】
本申请涉及薄膜电镀,具体而言,涉及一种夹持机构及具有其的电镀设备。
技术介绍
1、目前,复合铜箔电镀生产线中,出现一种边缘导电电镀的设备,其特点是以数量众多的导电夹分别夹持在铜箔的两侧边缘位置,通过钢带传送和开合机构实现导电夹连接运动及开合,实现复合铜箔的连续生产。
2、其中,导电夹在夹持过程中,通过两个夹持面与铜箔的上下表面电连接并保持对铜箔的夹持,但是,由于机械加工误差的存在,导电夹的夹持面无法实现与薄膜表面完全贴合,夹持面与薄膜为局部接触,且夹持面与薄膜的边或角位置接触极易造成薄膜损伤,在薄膜生产过程中产生应力集中,从而造成薄膜容易出现破损。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种夹持机构及具有其的电镀设备,以解决现有技术中的导电夹在夹持薄膜的过程中容易造成薄膜损伤的问题。
2、根据本申请的一个方面,提供了一种夹持机构,包括:多个夹持本体,各个夹持本体包括上夹持面和下夹持面,上夹持面与薄膜的第一表面贴合,下夹持面与薄膜的第二表面贴合,以通过上夹持面和下夹持面夹持薄膜;其中,至少一个夹持本体的上夹持面为与第一表面电连接的上导电面,和至少一个夹持本体的上夹持面为与第一表面贴合的上缓冲面;至少一个夹持本体的下夹持面为与第二表面电连接的下导电面,和至少一个夹持本体的下夹持面为与第二表面贴合的下缓冲面。
3、进一步地,夹持机构还包括:第一缓冲部件,设置在上缓冲面上,第一缓冲部件的至少部分与第一表面贴合,第一缓冲部件可弹性地设置;和/或,第二缓
4、进一步地,第一缓冲部件和/或第二缓冲部件为绝缘件。
5、进一步地,第一缓冲部件相对于上缓冲面朝向靠近第一表面的方向凸出;和/或,第二缓冲部件相对于下缓冲面朝向靠近第二表面的方向凸出。
6、进一步地,多个夹持本体包括沿薄膜的传输方向相邻设置的第一夹持本体和第二夹持本体;第一夹持本体的上夹持面为上导电面,第一夹持本体的下夹持面为下缓冲面;第二夹持本体的上夹持面为上缓冲面,第二夹持本体的下夹持面为下导电面;其中,上导电面和上缓冲面分别与第一表面贴合,下缓冲面和下导电面分别与第二表面贴合。
7、进一步地,第一夹持本体包括:第一固定夹持臂,下缓冲面设置在第一固定夹持臂上;第一活动夹持臂,设置在第一固定夹持臂上,第一活动夹持臂相对于第一固定夹持臂可移动地设置,上导电面设置在第一活动夹持臂上。
8、进一步地,第二夹持本体包括:第二固定夹持臂,下导电面设置在第二固定夹持臂上;第二活动夹持臂,设置在第二固定夹持臂上,第二活动夹持臂相对于第二固定夹持臂可移动地设置,上缓冲面设置在第二活动夹持臂上。
9、进一步地,第一夹持本体为多个,第二夹持本体为多个,多个第一夹持本体和多个第二夹持本体沿薄膜的传输方向依次交替设置。
10、进一步地,夹持机构还包括:第一导电层,设置在上导电面上,第一导电层的至少部分与第一表面贴合,以与薄膜电连接;和/或第二导电层,设置在下导电面上,第二导电层的至少部分与第二表面贴合,以与薄膜电连接。
11、另一方面,本技术还提供了一种电镀设备,包括夹持机构,夹持机构为上述的夹持机构。
12、相对于现有技术而言,本申请的技术方案至少具备如下技术效果:
13、根据本技术提供的夹持机构,包括多个夹持本体,各个夹持本体包括多个上夹持面和多个下夹持面,通过多个夹持本体共同对薄膜进行夹持,以保证薄膜在电镀过程中平稳传输,其中,至少一个夹持本体的上夹持面为与第一表面电连接的上导电面,和至少一个夹持本体的上夹持面为与第一表面贴合的上缓冲面;通过上导电面与薄膜的第一表面电连接,通过上缓冲面对薄膜的第一表面进行保护,至少一个夹持本体的下夹持面为与第二表面电连接的下导电面,和至少一个夹持本体的下夹持面为与第二表面贴合的下缓冲面,通过下导电面与薄膜的第二表面电连接,通过下缓冲面对薄膜的第二表面进行保护,这样即保证了与薄膜的电连接,还能够利用上缓冲面和下缓冲面对薄膜进行保护,减少薄膜边缘由于破损出现的应力集中,降低薄膜的破损率以及断膜的风险。
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1.一种夹持机构,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述夹持机构还包括:
3.根据权利要求2所述的夹持机构,其特征在于,所述第一缓冲部件(3)和/或所述第二缓冲部件(4)为绝缘件。
4.根据权利要求2所述的夹持机构,其特征在于,所述第一缓冲部件(3)相对于所述上缓冲面(11)朝向靠近所述第一表面的方向凸出;和/或,
5.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,多个所述夹持本体包括沿所述薄膜的传输方向相邻设置的第一夹持本体(5)和第二夹持本体(6);
6.根据权利要求5所述的夹持机构,其特征在于,所述第一夹持本体(5)包括:
7.根据权利要求5所述的夹持机构,其特征在于,所述第二夹持本体(6)包括:
8.根据权利要求5所述的夹持机构,其特征在于,所述第一夹持本体(5)为多个,所述第二夹持本体(6)为多个,多个所述第一夹持本体(5)和多个所述第二夹持本体(6)沿所述薄膜的传输方向依次交替设置。
9.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述夹持机构还包
10.一种电镀设备,包括夹持机构,其特征在于,所述夹持机构为权利要求1至9中任一项所述的夹持机构。
...【技术特征摘要】
1.一种夹持机构,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述夹持机构还包括:
3.根据权利要求2所述的夹持机构,其特征在于,所述第一缓冲部件(3)和/或所述第二缓冲部件(4)为绝缘件。
4.根据权利要求2所述的夹持机构,其特征在于,所述第一缓冲部件(3)相对于所述上缓冲面(11)朝向靠近所述第一表面的方向凸出;和/或,
5.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,多个所述夹持本体包括沿所述薄膜的传输方向相邻设置的第一夹持本体(5)和第二夹持本体(6);
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗能铁,
申请(专利权)人:深圳市镭煜科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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