【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体芯片及其制造方法，尤其涉及一种生物芯片及其制造方法。
技术介绍
1、在一般的生物芯片中，通常可容纳待测溶液的空间会受限于反应区的大小，因此，一旦待测溶液较大量时或在添加待测溶液有误差时，就容易会发生有待测溶液溢流的问题。
技术实现思路
1、本专利技术是针对一种生物芯片及其制造方法，其可避免待测溶液有溢流的问题且可因应较大量的待测溶液。藉此，当生物芯片中设置有多个反应区时，则可利用多个反应区来分别检测不同种的生物材料，且不需担心不同的反应区之间会有因待测溶液溢流而造成交叉污染的问题，进而可达到同时检测多种生物材料的效果。
2、根据本专利技术的实施例，生物芯片可用于检测待测溶液中的生物材料。生物芯片包括基板、绝缘层、半导体层、介电层、金属层以及保护层。绝缘层设置于基板上。半导体层设置于绝缘层上且具有反应区。介电层设置于半导体层上且具有第一开口。金属层设置于介电层上且包括源极、漏极以及围墙结构。源极与漏极分别电性连接至半导体层。围墙结构围绕第一开口、源极以及漏极。保护层设置于金属层上且具有平坦部、突出部、第二开口以及第三开口。平坦部围绕并定义第二开口。突出部对应围墙结构设置，且突出部围绕并定义第三开口。第二开口连接第三开口与第一开口而暴露出反应区。
3、在根据本专利技术的实施例的生物芯片中，上述的源极、漏极以及围墙结构彼此分离，且源极与漏极电性绝缘围墙结构。
4、在根据本专利技术的实施例的生物芯片中，上述在生物芯片的立体图中，围
5、在根据本专利技术的实施例的生物芯片中，上述在生物芯片的立体图中，围墙结构完全环绕第一开口。
6、在根据本专利技术的实施例的生物芯片中，上述的围墙结构与源极之间的最小间距为0.1微米至5微米。
7、在根据本专利技术的实施例的生物芯片中，上述在生物芯片的立体图中，第三开口大于第二开口。
8、在根据本专利技术的实施例的生物芯片中，上述的突出部完全环绕第一开口与第二开口。
9、在根据本专利技术的实施例的生物芯片中，上述的待测溶液设置于第一开口内，且待测溶液的上表面在突出部的上表面与平坦部的上表面之间。
10、在根据本专利技术的实施例的生物芯片中，上述的金属层还包括源极延伸垫与漏极延伸垫，且生物芯片还包括第一转接垫与第二转接垫。第一转接垫与第二转接垫分别设置于绝缘层上。源极通过第一转接垫电性连接至源极延伸垫，且漏极通过第二转接垫电性连接至漏极延伸垫。
11、根据本专利技术的实施例，生物芯片的制造方法包括以下步骤：提供基板；形成绝缘层于基板上；形成半导体层于绝缘层上，其中半导体层具有反应区；形成介电层于半导体层上，其中介电层具有第一开口；形成金属层于介电层上，其中金属层包括源极、漏极以及围墙结构，源极与漏极分别电性连接至半导体层，且围墙结构围绕第一开口、源极以及漏极；以及形成保护层于金属层上，其中保护层具有平坦部、突出部、第二开口以及第三开口。平坦部围绕并定义第二开口。突出部对应围墙结构设置，且突出部围绕并定义第三开口。第二开口连接第三开口与第一开口而暴露出反应区。
12、基于上述，在本专利技术一实施例的生物芯片及其制造方法中，通过围墙结构的设置，可以在形成保护层的步骤中同时形成突出部，因此具有简化工艺的效果。由于突出部可以为围绕第一开口的封闭图形，因而可将待测溶液局限在第三开口内，以避免待测溶液溢流至第三开口外。相较于一般的生物芯片，本实施例的生物芯片可通过第三开口的设置来增加生物芯片可容纳待测溶液的体积，以避免待测溶液溢流且可因应较大量的待测溶液，并提高生物芯片的操作裕度与便利性。藉此，当本实施例的生物芯片中设置有多个反应区时，则可利用多个反应区来分别检测不同种的生物材料，且不需担心不同的反应区之间会有因待测溶液溢流而造成交叉污染的问题，进而可达到同时检测多种生物材料的效果。
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1.一种生物芯片，用于检测待测溶液中的生物材料，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述源极、所述漏极以及所述围墙结构彼此分离，且所述源极与所述漏极电性绝缘所述围墙结构。
3.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，在所述生物芯片的立体图中，所述围墙结构未完全环绕所述第一开口。
4.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，在所述生物芯片的立体图中，所述围墙结构完全环绕所述第一开口。
5.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述围墙结构与所述源极之间的最小间距为0.1微米至5微米。
6.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，在所述生物芯片的立体图中，所述第三开口大于所述第二开口。
7.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述突出部完全环绕所述第一开口与所述第二开口。
8.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述待测溶液设置于所述第一开口内，且所述待测溶液的上表面在所述突出部的上表面与所述平坦部的上表面之间。
9.根据权利要求1所述的
10.一种生物芯片的制造方法，其中所述生物芯片用于检测待测溶液中的生物材料，其特征在于，所述制造方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种生物芯片，用于检测待测溶液中的生物材料，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述源极、所述漏极以及所述围墙结构彼此分离，且所述源极与所述漏极电性绝缘所述围墙结构。
3.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，在所述生物芯片的立体图中，所述围墙结构未完全环绕所述第一开口。
4.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，在所述生物芯片的立体图中，所述围墙结构完全环绕所述第一开口。
5.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述围墙结构与所述源极之间的最小间距为0.1微米至5微米。
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：许文廷，刘德权，李国瑜，
申请(专利权)人：汉磊科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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