【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜机检测，尤其涉及一种镀膜机用工件装载板倾斜检测系统、方法和镀膜设备。
技术介绍
1、真空镀膜机是一种在较高真空度下进行镀膜的设备。在进行光学镀膜时，将待成膜基板放置在工件装载板上，由工件装载板将基板搬运至真空腔体中，在工件装载板摆放好后进行成膜。
2、在工件装载板进入真空腔体之前，需要对工件装载板进行角度偏斜的检测。现有技术通常在安装工件装载板的小车上设置卡槽定位，并通过镀膜机旁边的观察窗对腔体内部的工件装载板是否倾斜进行人工检测。通过卡槽定位的缺点在于，一次次磨损和人为因素造成的误差不明显，而人工检查结果受检测人员的水平限制，易出现误判，且检测效率低。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种镀膜机用工件装载板倾斜检测系统、方法和镀膜设备，通过设置参照物，基于图像识别技术对镀膜机工件装载板进行检测识别，以解决现有的倾斜检测误差较大，检测效率低的问题，实现倾斜角度自动检测。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种镀膜机工件装载板倾斜检测系统，所述镀膜机包括真空腔和视窗，包括：参照模块，设置于所述真空腔内；图像采集模块，用于对所述工件装载板和所述参照模块进行同步采集，得到图像数据；其中，所述图像数据包括所述参照模块的第一特征区域和所述工件装载板的第二特征区域；图像处理模块，用于对所述第一特征区域和所述第二特征区域进行图像处理，所述图像处理至少包括：边缘提取和直线拟合；倾斜解析模块，用于根据直线拟合结果确定所述工件装载板的倾斜角度。
4、可选地，所述相机为面阵相机；所述光源为环形光源。
5、可选地，所述参照模块为立方体模块或者矩形模块，且所述参照模块朝向所述视窗一侧设有矩形反光材料；所述矩形反光材料用于增强所述第一特征区域与周围区域的明暗对比度。
6、可选地，所述镀膜机工件装载板倾斜检测系统包括：警示模块和清洁模块；所述警示模块用于根据倾斜角度发出对应的警示信息；所述清洁模块用于对所述参照模块和所述图像采集模块执行清洗。
7、可选地，所述图像处理模块被配置为：基于预设滤波算法对所述图像数据进行滤波，得到滤波图像；基于预设图像增强算法对所述滤波图像进行对比度调整，得到对比度增强图像；及基于预设坐标对所述对比度增强图像进行特征区域截取，并基于预设边缘算法对所述特征区域的边缘信息进行亚像素提取。
8、可选地，所述图像处理模块还被配置为：基于预设长度阈值对所述第一特征区域和所述第二特征区域的边缘信息进行数据处理，并基于预设加权最小二乘法对数据处理后的所述边缘信息进行直线拟合，建立所述第一特征区域对应的第一边缘线和所述第二特征区域对应的第二边缘线。
9、可选地，所述倾斜解析模块被配置为：获取所述第一边缘线的第一端点坐标和第二端点坐标，及所述第二边缘线的第三端点坐标和第四端点坐标，并根据所述第一端点坐标、所述第二端点坐标、第三端点坐标和第四端点坐标计算所述第一边缘线与所述第二边缘线之间的角度差，及根据所角度差确定所述工件装载板的倾斜角度。
10、根据本专利技术的另一方面，提供了一种镀膜机用工件装载板倾斜检测方法，所述镀膜机包括真空腔和视窗，采用上述镀膜机用工件装载板倾斜检测系统执行；所述方法包括：在所述真空腔内设置参照模块；对所述工件装载板和所述参照模块进行同步采集，得到图像数据；其中，所述图像数据包括所述参照模块的第一特征区域和所述工件装载板的第二特征区域；对所述第一特征区域和所述第二特征区域进行图像处理，所述图像处理至少包括：边缘提取和直线拟合；根据直线拟合结果确定所述工件装载板的倾斜角度。
11、根据本专利技术的另一方面，提供了一种镀膜设备，包括：上述镀膜机用工件装载板倾斜检测系统。
12、本专利技术实施例的技术方案，提供一种倾斜检测系统，该系统设置参照模块、图像采集模块、图像处理模块和倾斜解析模块，参照模块设置于真空腔内；采用图像采集模块对工件装载板和参照模块进行同步采集，得到图像数据，包括参照模块的第一特征区域和工件装载板的第二特征区域；采用图像处理模块对第一特征区域和第二特征区域进行图像处理，如边缘提取和直线拟合；采用倾斜解析模块根据直线拟合结果确定工件装载板的倾斜角度。通过设置参照模块，基于图像识别技术对镀膜机工件装载板进行检测识别；通过对参照模块和工件装载板进行边缘提取和直线拟合，实现镀膜机中工件装载板倾斜角度的自动检测，实时性强，有利于提高检测效率和准确率。
13、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本专利技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
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1.一种镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，所述镀膜机包括真空腔、视窗和工件装载板，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括：相机和光源，所述相机和所述光源固定安装在所述视窗外侧；
3.根据权利要求2所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述相机为面阵相机；所述光源为环形光源。
4.根据权利要求1所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述参照模块为立方体模块或者矩形模块，且所述参照模块朝向所述视窗一侧设有矩形反光材料；
5.根据权利要求1所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，还包括：警示模块和清洁模块；
6.根据权利要求1至5中任一项所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述图像处理模块被配置为：基于预设滤波算法对所述图像数据进行滤波，得到滤波图像；基于预设图像增强算法对所述滤波图像进行对比度调整，得到对比度增强图像；及基于预设坐标对所述对比度增强图像进行特征区域截取，并基于预设边缘算法对所述特征区域的边缘信息
7.根据权利要求1至5中任一项所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述图像处理模块还被配置为：基于预设长度阈值对所述第一特征区域和所述第二特征区域的边缘信息进行数据处理，并基于预设加权最小二乘法对数据处理后的所述边缘信息进行直线拟合，建立所述第一特征区域对应的第一边缘线和所述第二特征区域对应的第二边缘线。
8.根据权利要求7所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述倾斜解析模块被配置为：获取所述第一边缘线的第一端点坐标和第二端点坐标，及所述第二边缘线的第三端点坐标和第四端点坐标，并根据所述第一端点坐标、所述第二端点坐标、所述第三端点坐标和所述第四端点坐标计算所述第一边缘线与所述第二边缘线之间的角度差，及根据所角度差确定所述工件装载板的倾斜角度。
9.一种镀膜机用工件装载板倾斜检测方法，所述镀膜机包括真空腔、视窗和工件装载板，其特征在于，采用权利要求1至8中任一项所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统执行；
10.一种镀膜设备，其特征在于，包括：权利要求1至8中任一项所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，所述镀膜机包括真空腔、视窗和工件装载板，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括：相机和光源，所述相机和所述光源固定安装在所述视窗外侧；
3.根据权利要求2所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述相机为面阵相机；所述光源为环形光源。
4.根据权利要求1所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述参照模块为立方体模块或者矩形模块，且所述参照模块朝向所述视窗一侧设有矩形反光材料；
5.根据权利要求1所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，还包括：警示模块和清洁模块；
6.根据权利要求1至5中任一项所述的镀膜机用工件装载板倾斜检测系统，其特征在于，所述图像处理模块被配置为：基于预设滤波算法对所述图像数据进行滤波，得到滤波图像；基于预设图像增强算法对所述滤波图像进行对比度调整，得到对比度增强图像；及基于预设坐标对所述对比度增强图像进行特征区域截取，并基于预设边缘算法对所述特征区域的边缘信息进行亚...
【专利技术属性】
技术研发人员：程松，秦纯超，邢涛，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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