【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本说明书一般涉及到制造装备(equipment)(如半导体制造装备)的环境影响。更具体地说，本说明书涉及使用制造装备的传感器和不是制造装备的一部分的外部传感器来监测制造过程和制造装备的生态效率(eco-efficiency)。
技术介绍
1、对电子装置(device)的持续需求要求对半导体晶片的需求越来越大。为生产这些晶片而增加的制造，以资源利用和产生破坏环境的废物的形式对环境造成了巨大损失。因此，对更加生态友善和对环境负责的晶片制造方法和一般制造方法的需求越来越大。鉴于晶片处理是能源密集型的，将半导体行业的成长与其环境影响脱钩是有价值的。不断增长的芯片需求和不断增加的芯片复杂度正在增加影响环境的资源消耗。
技术实现思路
1、以下是本公开内容的简化概要，以提供对本公开内容的一些方面的基本理解。这个概要并不是对本公开内容的广泛概述。它不旨在划定本公开内容的特定实施方式的任何范围或权利要求的任何范围。它的唯一目的是以简化的形式呈现本公开内容的一些概念以作为后面呈现的更详细描述的前奏。
2、描述了针对用于半导体制造的生态效率监测和探索平台的技术。在一些实施方式中，一种方法包括以下步骤：由处理装置，在制造过程的执行期间接收由制造系统的处理腔室的多个传感器产生的第一传感器数据；由所述处理装置，在所述制造过程的执行期间接收由一个或多个外部传感器产生的第二传感器数据，所述一个或多个外部传感器不是所述处理腔室的部件；由所述处理装置，基于所述第一传感器数据和所述第二传感器数据，确定环境资
3、在一些实施方式中，一种系统包括制造系统，所述制造系统包括：一个或多个处理腔室，用于处理基板，所述一个或多个处理腔室包括第一多个传感器；传输腔室，与所述一个或多个处理腔室耦接，所述传输腔室包括机械手，所述机械手用于将所述基板传输进和传输出所述一个或多个处理腔室；以及系统控制器，用于控制所述一个或多个处理腔室和所述传输腔室。所述系统进一步包括：第二多个传感器，其中所述第二多个传感器是外部传感器，所述外部传感器不是所述一个或多个处理腔室的任一者的部件；以及中枢(hub)，与所述第二多个传感器通信。所述系统控制器被配置为执行以下步骤：在所述一个或多个处理腔室的第一处理腔室上执行制造过程的期间接收由所述第一多个传感器产生的第一传感器数据；接收由与所述第一处理腔室相关联的所述第二多个传感器产生的第二传感器数据；基于将所述第一传感器数据和所述第二传感器数据应用于一个或多个模型，确定环境资源使用数据，所述环境资源使用数据表明在所述第一处理腔室上运行的所述制造过程的环境资源消耗；以及提供所述环境资源使用数据以显示在图形用户界面(gui)上。
4、在一些实施方式中，一种包括指令的非暂时性机器可读取储存介质包括指令，所述指令当由处理装置执行时，使得所述处理装置：由所述处理装置，在制造过程的执行期间接收由制造系统的处理腔室的多个传感器产生的第一传感器数据；由所述处理装置，在所述制造过程的执行期间接收由一个或多个外部传感器产生的第二传感器数据，所述一个或多个外部传感器不是所述处理腔室的部件；由所述处理装置，基于所述第一传感器数据和所述第二传感器数据，确定环境资源使用数据，所述环境资源使用数据表明在所述处理腔室上运行的所述制造过程的环境资源消耗；以及由所述处理装置，提供所述环境资源使用数据以显示在图形用户界面(gui)上。
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1.一种方法，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的方法，其中确定所述环境资源使用数据的步骤包括以下步骤：
3.如权利要求2所述的方法，其中确定所述环境资源使用数据的步骤包括以下步骤：
4.如权利要求2所述的方法，其中所述数字复制品包括所述制造系统的一个或多个实体资产的基于物理学的模型，其中所述基于物理学的模型表明：
5.如权利要求1所述的方法，其中所述环境资源使用数据包括以下至少一项：与执行所述制造过程的所述处理腔室相关联的能源消耗、气体消耗、碳足迹或水消耗。
6.如权利要求1所述的方法，其中：
7.如权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个外部传感器包括物联网(IoT)传感器，所述IoT传感器向IoT中枢提供所述第二传感器数据，并且其中所述第二传感器数据是由所述处理装置从所述IoT中枢接收的。
8.如权利要求1所述的方法，其中所述处理装置是所述制造系统的处理装置，其中所述一个或多个外部传感器包括物联网(IoT)传感器，所述IoT传感器向IoT中枢提供所述第二传感器数据，其中所述IoT中枢向远程
9.如权利要求1所述的方法，其中所述处理装置是所述制造系统的处理装置。
10.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：
11.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：
12.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：
13.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：
14.如权利要求1所述的方法，其中所述第一传感器数据和所述第二传感器数据是并行接收的。
15.一种系统，包括：
16.如权利要求15所述的系统，其中所述一个或多个模型包括所述一个或多个处理腔室中的处理腔室的数字复制品，并且其中确定所述环境资源使用数据的步骤包括以下步骤：
17.如权利要求15所述的系统，其中：
18.如权利要求15所述的系统，其中所述中枢包括无线地从所述第二多个传感器接收所述第二传感器数据的物联网(IoT)中枢，并且其中所述第二多个传感器包括IoT传感器。
19.如权利要求15所述的系统，进一步包括：
20.一种包括指令的非暂时性机器可读取储存介质，所述指令当由处理装置执行时，导致所述处理装置：
21.如权利要求20所述的非暂时性机器可读取储存介质，其中确定所述环境资源使用数据的步骤包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种方法，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的方法，其中确定所述环境资源使用数据的步骤包括以下步骤：
3.如权利要求2所述的方法，其中确定所述环境资源使用数据的步骤包括以下步骤：
4.如权利要求2所述的方法，其中所述数字复制品包括所述制造系统的一个或多个实体资产的基于物理学的模型，其中所述基于物理学的模型表明：
5.如权利要求1所述的方法，其中所述环境资源使用数据包括以下至少一项：与执行所述制造过程的所述处理腔室相关联的能源消耗、气体消耗、碳足迹或水消耗。
6.如权利要求1所述的方法，其中：
7.如权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个外部传感器包括物联网(iot)传感器，所述iot传感器向iot中枢提供所述第二传感器数据，并且其中所述第二传感器数据是由所述处理装置从所述iot中枢接收的。
8.如权利要求1所述的方法，其中所述处理装置是所述制造系统的处理装置，其中所述一个或多个外部传感器包括物联网(iot)传感器，所述iot传感器向iot中枢提供所述第二传感器数据，其中所述iot中枢向远程计算装置传输所述第二传感器数据，所述远程计算装置经由网络与所述iot中枢连接，并且其中所述处理装置从所述远程计算装置接收所述第二传感器数据。
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【专利技术属性】
技术研发人员：阿拉·莫拉迪亚，阿列克谢·亚诺维奇，奥兰多·特雷霍，伊丽莎白·内维尔，迪内希·塞加尔，乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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