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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及单晶炉,尤其涉及一种副室清理装置及单晶炉。
技术介绍
1、在单晶炉拉晶过程中,复投加料是一个重要的环节,也是单炉拉晶周期中耗时最多、以及怠工时长最长的步骤。每次复投加料结束后都需要进行副室清理,以保持晶体成晶质量、延长设备使用寿命、提高生产效率、保障生产安全。
2、在现有技术中,单晶炉的加料装置位于单晶炉的副室内,当需要加料时,使用单晶炉上的提升装置将加料装置提升到加料口,将原料放置到加料装置中,再通过提升装置下放加料装置,加料装置下放到单晶炉设定位置后与炉体抵接,通过继续向下移动提升装置,以使得加料装置上的连接杆向下移动,将加料装置开启,将原料放入到单晶炉的坩埚中,加料完成后需要操作人员使用钢管包裹无尘布深入到副室内进行清理。
3、然而,通过人工清理的方式,清理效率较低。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种副室清理装置及单晶炉,用以解决单晶炉的副室需要人工清理,清理效率较低的问题。
2、第一方面,本申请实施例提供一种副室清理装置,包括:
3、料筒套,所述料筒套用于与单晶炉的提升装置连接;
4、安装板,所述安装板套设在所述料筒套上;
5、多个撑壁块,所述撑壁块滑动设置在所述安装板上,并沿所述料筒套的周向布置,所述撑壁块朝向靠近或远离所述料筒套的轴线方向滑动,以用于与所述单晶炉的副室抵接;
6、连接组件,用于连接所述料筒套与所述单晶炉的加料装置;
7、调节组件,所述调节组件设
8、在一种可能的实施方式中,所述连接组件包括连接套、连接杆和连接件,所述连接套设置在所述料筒套上,所述连接杆滑动穿设到所述料筒套内,所述连接件设置在所述连接套内,以用于连接所述连接杆。
9、在一种可能的实施方式中,所述连接件包括第一卡块和第一弹性部,所述第一卡块滑动设置在所述连接套内,所述料筒套上开设有第一穿行槽,所述第一卡块穿过所述第一穿行槽,插接到所述料筒套内,所述第一弹性部设置在所述第一卡块上,并与所述连接套连接,以驱动所述第一卡块朝向所述料筒套移动;
10、所述连接杆上设置有第一滑块,所述第一滑块的底部与所述第一卡块的顶部抵接,以限制所述第一滑块移出所述料筒套。
11、在一种可能的实施方式中,所述调节组件包括调节件和多个铰接杆,所述连接套滑动套设在所述料筒套上,所述铰接杆的一端对应铰接在所述撑壁块上,另一端铰接在所述连接套上,所述铰接杆沿所述连接套的周向设置,所述调节件设置在所述连接套内,以用于驱动所述连接套滑动。
12、在一种可能的实施方式中,所述调节件包括第二卡块和第二弹性部,所述第二卡块滑动设置在所述连接套内,所述第二弹性部设置在所述第二卡块上,并与所述连接套连接,以驱动所述第二卡块插接到所述第一穿行槽内;所述第二卡块上设置有第一限位部和第二限位部,所述第二限位部位于所述第一限位部的上方,所述料筒套上开设有第二穿行槽;
13、所述连接杆上设置有第二滑块,所述第二滑块用于与所述第一限位部抵接,以驱动所述第一限位部向上移动,进而带动所述第二限位部滑动到所述第二穿行槽内,与所述第二穿行槽的底壁卡接。
14、在一种可能的实施方式中,所述第一滑块的顶部设置有第一斜面,所述第一卡块的底部设置有第三斜面,所述第二滑块滑动套设在所述连接杆上;
15、当所述料筒套朝向所述单晶炉底部移动时,所述第一斜面与第三斜面抵接,所述第一斜面推动所述第三斜面移动,以使所述第一滑块移动到所述第一卡块与所述第二卡块之间,连接杆挂设在所述第一卡块上;
16、当所述料筒套继续朝向所述单晶炉底部移动时,所述第一斜面推动第二卡块移动,以使所述第一滑块移动到所述第二卡块上,所述第二滑块推动第三斜面移动,以使所述第二滑块移动到所述第二卡块与所述第一卡块之间,所述第二滑块与所述第一限位部抵接,以推动所述第二卡块朝向所述安装板移动,将所述第二限位部与所述第二穿行槽卡接。
17、在一种可能的实施方式中,所述第二滑块的底部设置有第二斜面,所述第二滑块的直径大于所述第一滑块的直径,所述第一限位部的顶部设置有第四斜面;所述第二斜面与所述第四斜面配合,以使所述连接杆移出所述料筒套。
18、在一种可能的实施方式中,所述调节组件还包括复位件,所述复位件包括延长杆和限位片,所述限位片滑动套设在所述料筒套与所述连接套之间,所述延长杆与所述限位片连接,并延伸到所述安装板的上方,以用于与所述单晶炉的顶部抵接;
19、所述第二限位部朝向所述限位片的一侧设置有第五斜面,所述限位片用于与所述第五斜面抵接,以驱动所述第二限位部与所述第二穿行槽脱离。
20、在一种可能的实施方式中,所述撑壁块的两侧均设置有弧形板,相邻所述撑壁块之间的弧形板重叠设置,以使所述撑壁块与所述副室抵接时,所述撑壁块与所述弧形板共同围设成圆环。
21、第二方面,本申请实施例提供一种单晶炉,包括单晶炉本体和设置在所述单晶炉本体内的副室清理装置。
22、本申请实施例提供的一种副室清理装置及单晶炉,副室清理装置通过将料筒套安装在提升装置上,并通过连接组件与单晶炉的加料装置连接,在提升装置的移动过程中带动加料装置移动,从而实现单晶炉的加料装置的升降,并且,在加料装置升降过程中,通过调节组件即可调节多个撑壁块撑开与单晶炉的副室壁侧壁抵接,再通过提升装置带动料筒套移动,即可通过撑壁块对副室的侧壁进行清理,无需人工使用钢管插入副室,进行往复式推拉清理副室侧壁进行清理,提高了生产的效率。
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1.一种副室清理装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的副室清理装置,其特征在于,所述连接组件(400)包括连接套(410)、连接杆(420)和连接件(430),所述连接套(410)设置在所述料筒套(100)上,所述连接杆(420)滑动穿设到所述料筒套(100)内,所述连接件(430)设置在所述连接套(410)内,以用于连接所述连接杆(420)。
3.根据权利要求2所述的副室清理装置,其特征在于,所述连接件(430)包括第一卡块(431)和第一弹性部(432),所述第一卡块(431)滑动设置在所述连接套(410)内,所述料筒套(100)上开设有第一穿行槽(110),所述第一卡块(431)穿过所述第一穿行槽(110),插接到所述料筒套(100)内,所述第一弹性部(432)设置在所述第一卡块(431)上,并与所述连接套(410)连接,以驱动所述第一卡块(431)朝向所述料筒套(100)移动;
4.根据权利要求3所述的副室清理装置,其特征在于,所述调节组件(500)包括调节件(510)和多个铰接杆(520),所述连接套(410)滑动套设在所
5.根据权利要求4所述的副室清理装置,其特征在于,所述调节件(510)包括第二卡块(511)和第二弹性部(512),所述第二卡块(511)滑动设置在所述连接套(410)内,所述第二弹性部(512)设置在所述第二卡块(511)上,并与所述连接套(410)连接,以驱动所述第二卡块(511)插接到所述第一穿行槽(110)内;所述第二卡块(511)上设置有第一限位部(5111)和第二限位部(5112),所述第二限位部(5112)位于所述第一限位部(5111)的上方,所述料筒套(100)上开设有第二穿行槽(120);
6.根据权利要求5所述的副室清理装置,其特征在于,所述第一滑块(421)的顶部设置有第一斜面(4211),所述第一卡块(431)的底部设置有第三斜面(4311),所述第二滑块(422)滑动套设在所述连接杆(420)上;
7.根据权利要求6所述的副室清理装置,其特征在于,所述第二滑块(422)的底部设置有第二斜面(4221),所述第二滑块(422)的直径大于所述第一滑块(421)的直径,所述第一限位部(5111)的顶部设置有第四斜面(5113);所述第二斜面(4221)与所述第四斜面(5113)配合,以使所述连接杆(420)移出所述料筒套(100)。
8.根据权利要求5所述的副室清理装置,其特征在于,所述调节组件(500)还包括复位件(530),所述复位件(530)包括延长杆(531)和限位片(532),所述限位片(532)滑动套设在所述料筒套(100)与所述连接套(410)之间,所述延长杆(531)与所述限位片(532)连接,并延伸到所述安装板(200)的上方,以用于与所述单晶炉的顶部抵接;
9.根据权利要求1-8任一项所述的副室清理装置,其特征在于,所述撑壁块(300)的两侧均设置有弧形板(310),相邻所述撑壁块(300)之间的弧形板(310)重叠设置,以使所述撑壁块(300)与所述副室抵接时,所述撑壁块(300)与所述弧形板(310)共同围设成圆环。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括单晶炉本体和设置在所述单晶炉本体内的如权利要求1-9任一项所述的副室清理装置。
...【技术特征摘要】
1.一种副室清理装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的副室清理装置,其特征在于,所述连接组件(400)包括连接套(410)、连接杆(420)和连接件(430),所述连接套(410)设置在所述料筒套(100)上,所述连接杆(420)滑动穿设到所述料筒套(100)内,所述连接件(430)设置在所述连接套(410)内,以用于连接所述连接杆(420)。
3.根据权利要求2所述的副室清理装置,其特征在于,所述连接件(430)包括第一卡块(431)和第一弹性部(432),所述第一卡块(431)滑动设置在所述连接套(410)内,所述料筒套(100)上开设有第一穿行槽(110),所述第一卡块(431)穿过所述第一穿行槽(110),插接到所述料筒套(100)内,所述第一弹性部(432)设置在所述第一卡块(431)上,并与所述连接套(410)连接,以驱动所述第一卡块(431)朝向所述料筒套(100)移动;
4.根据权利要求3所述的副室清理装置,其特征在于,所述调节组件(500)包括调节件(510)和多个铰接杆(520),所述连接套(410)滑动套设在所述料筒套(100)上,所述铰接杆(520)的一端对应铰接在所述撑壁块(300)上,另一端铰接在所述连接套(410)上,所述铰接杆(520)沿所述连接套(410)的周向设置,所述调节件(510)设置在所述连接套(410)内,以用于驱动所述连接套(410)滑动。
5.根据权利要求4所述的副室清理装置,其特征在于,所述调节件(510)包括第二卡块(511)和第二弹性部(512),所述第二卡块(511)滑动设置在所述连接套(410)内,所述第二弹性部(512)设置在所述第二卡块(511)上,并与所述连接套(410)连接,以驱动所述第二卡块(511)插接到所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈圣威,乔乐,武辉,付明全,徐志群,
申请(专利权)人:四川高景太阳能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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