System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 多色LED像素单元和微型LED显示面板制造技术_技高网

多色LED像素单元和微型LED显示面板制造技术

技术编号:44637137 阅读:5 留言:0更新日期:2025-03-17 18:30
一种用于制造微型发光二极管(LED)显示面板的方法,所述方法包括:在晶圆基板上形成堆叠结构,所述堆叠结构按从底至顶的顺序包括第一金属层、第一类型的发光层、第二金属层和第二类型的发光层;在所述堆叠结构中形成多个沟槽,所述多个沟槽限定多个微型LED显示面板区域;对所述第二类型的发光层和所述第二金属层进行图案化;选择性地蚀刻所述堆叠结构以暴露所述第一金属层的侧表面,从而在每个微型LED显示面板区域中形成多个第一LED和多个第二LED;以及切割所述晶圆基板以形成多个微型LED显示面板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开文本总体上涉及微型发光二极管,并且更具体地涉及多色led像素单元和微型led显示面板。


技术介绍

1、发光二极管(led)是一种半导体二极管,可以将电能转换成光能。常规的发光二极管包括具有单向传导的p-n接面。在正偏压下,空穴从p区流入n区,并且电子从n区流入p区,并且n区中的电子与p区中的空穴的结合产生激发光的自发辐射。电子和空穴在不同的半导体材料中具有不同的能态,因此由电子与空穴之间的结合所产生的能量是不同的。能量越高,激发光的波长就越短。因此,led可以发射从紫外光到红外光的不同波长的不同光,从而产生多色led。

2、发射白光或其他颜色的光的多色led具有广泛的应用,其中大部分应用于显示领域。常规的led显示面板是通过将单色led逐一组装在基板上而形成的。用于组装单色led的方法包括:利用金属接合过程或其他过程通过led的金属线或连接电极将led与互连层接合。直到完成组装单色led的过程为止才执行组装其他颜色的led的过程,导致过程复杂,增加了处理难度,并且增加了生产成本。此外,通过逐一组装或形成单个led而制造的多色显示面板具有较高的功耗以及降低的亮度和颜色。


技术实现思路

1、根据本公开文本的一个方面,一种用于制造微型发光二极管(led)显示面板的方法包括:在晶圆基板上形成堆叠结构,所述堆叠结构按从底至顶的顺序包括第一金属层、第一类型的发光层、第二金属层和第二类型的发光层;在所述堆叠结构中形成多个沟槽,所述多个沟槽限定多个微型led显示面板区域;对所述第二类型的发光层和所述第二金属层进行图案化,直到暴露所述第一类型的发光层的顶表面的部分为止;在图案化所述第二类型的发光层和所述第二金属层之后,选择性地蚀刻所述堆叠结构以暴露所述第一金属层的侧表面,从而在每个微型led显示面板区域中形成多个第一led和多个第二led,每个第一led包括所述第一金属层和所述第一类型的发光层,并且每个第二led包括所述第一金属层、所述第一类型的发光层、所述第二金属层、和所述第二类型的发光层;以及切割所述晶圆基板以形成多个微型led显示面板。

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【技术保护点】

1.一种用于制造微型发光二极体(LED)显示面板的方法,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的方法,其中,在所述晶圆基板上形成所述堆叠结构包括:

3.如权利要求2所述的方法,其中,在所述晶圆基板从底至顶形成所述第一金属层和所述第一类型的发光层包括:

4.如权利要求2所述的方法,其进一步包括:

5.如权利要求2所述的方法,其进一步包括:

6.如权利要求2所述的方法,其进一步包括:

7.如权利要求2所述的方法,其进一步包括:

8.如权利要求1所述的方法,其进一步包括:

9.如权利要求8所述的方法,其中,所述电连接所述第二LED中的至少一个中的第一金属层和第二金属层包括:

10.如权利要求1所述的方法,其进一步包括:

11.如权利要求10所述的方法,其进一步包括:

12.如权利要求1所述的方法,其中,所述堆叠结构进一步包括形成在所述第二类型的发光层的顶部上的第三金属层以及形成在所述第三金属层的顶部上的第三类型的发光层,

13.如权利要求12所述的方法,其中,在所述晶圆基板上形成所述堆叠结构包括:

14.如权利要求12所述的方法,其进一步包括:

15.如权利要求12所述的方法,其进一步包括:

16.如权利要求12所述的方法,其进一步包括:

17.如权利要求12所述的方法,其进一步包括:

18.如权利要求17所述的方法,其中,所述电连接所述第二LED中的至少一个中的第一金属层和第二金属层,并且电连接所述第三LED中的至少一个中的第一金属层、第二金属层和第三金属层包括:

19.如权利要求12所述的方法,其进一步包括:

20.如权利要求19所述的方法,其进一步包括:

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于制造微型发光二极体(led)显示面板的方法,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的方法,其中,在所述晶圆基板上形成所述堆叠结构包括:

3.如权利要求2所述的方法,其中,在所述晶圆基板从底至顶形成所述第一金属层和所述第一类型的发光层包括:

4.如权利要求2所述的方法,其进一步包括:

5.如权利要求2所述的方法,其进一步包括:

6.如权利要求2所述的方法,其进一步包括:

7.如权利要求2所述的方法,其进一步包括:

8.如权利要求1所述的方法,其进一步包括:

9.如权利要求8所述的方法,其中,所述电连接所述第二led中的至少一个中的第一金属层和第二金属层包括:

10.如权利要求1所述的方法,其进一步包括:

11.如权利要求10所述的方法,其进一步包括:

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【专利技术属性】
技术研发人员:李起鸣徐群超
申请(专利权)人:上海显耀显示科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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