【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及光检测元件、摄像装置和车辆控制系统。
技术介绍
1、在诸如互补金属氧化物半导体(cmos)图像传感器等光检测元件中，光被形成在光入射面上的片上透镜(ocl)会聚。
2、引用文献列表
3、专利文献
4、专利文献1：日本专利申请特开第2005-055452号
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题
2、然而，在光检测元件的位于形成片上透镜的区域外侧的平坦区域中，存在树脂由于热等引起的膨胀而发生翘曲的可能性。
3、因此，本公开的目的是提供能够抑制树脂翘曲的光检测元件、摄像装置和车辆控制系统。
4、技术问题的解决方案
5、为了解决上述问题，本公开提供了一种光检测元件，其包括：
6、半导体层，在所述半导体层中形成有各自包括光电转换器的多个像素；
7、遮光结构，其设置在所述半导体层的外边缘区域上；
8、透镜树脂膜，其堆叠在所述半导体层和所述遮光结构上；以及
9、保护膜，其堆叠在所述透镜树脂膜上，
10、其中设置有第一区域和第二区域，所述第一区域位于外边缘侧并且具有所述遮光结构，所述第二区域具有所述光电转换器但不具有所述遮光结构，并且
11、所述第一区域的所述透镜树脂膜形成有平坦区域和凹凸状结构中的至少一者，所述平坦区域在厚度方向上的宽度小于所述第二区域的所述透镜树脂膜在厚度方向上的宽度。
12、在所述第一区域的所
13、所述凹凸状结构可以具有半球形结构。
14、所述半球形结构可以包括片上透镜。
15、所述凹凸状结构可以具有凹槽。
16、所述第一区域的所述透镜树脂膜可以包括所述平坦区域和所述凹凸状结构。
17、所述第一区域的所述透镜树脂膜可以包括形成在所述凹凸状结构的外边缘侧的所述平坦区域。
18、所述第一区域的所述透镜树脂膜可以包括形成在所述凹凸状结构的所述第二区域侧的所述平坦区域。
19、所述平坦区域和所述凹凸状结构可以形成在所述遮光结构上方。
20、在所述遮光结构上方，所述平坦区域可以形成在所述凹凸状结构的所述第二区域侧。
21、在所述遮光结构上方，所述平坦区域可以形成在所述凹凸状结构的外边缘侧。
22、在所述第一区域的所述透镜树脂膜包括所述平坦区域的情况下，可以使所述第一区域的所述透镜树脂膜中的所述平坦区域的平面宽度小于所述第二区域的所述透镜树脂膜的除了所述凹凸状结构的宽度之外的平面宽度。
23、可以使所述第一区域的所述透镜树脂膜在厚度方向上的宽度大于所述遮光结构在厚度方向上的宽度，并且可以使所述遮光结构在厚度方向上的宽度大于所述保护膜在厚度方向上的宽度。
24、所述遮光结构可以包括诸如金属膜或有机膜等具有遮光特性的材料，并且
25、所述保护膜可以包括氧化膜。
26、所述第一区域的所述透镜树脂膜的线性膨胀系数可以不同于所述保护膜的线性膨胀系数。
27、所述第二区域的像素可以包括不用于摄像的伪像素。
28、所述第一区域的像素可以包括用于获取关于暗电流的信息的像素。
29、在所述第一区域中，可以使与所述第二区域接触的区域的平面宽度小于外边缘侧的平面宽度。
30、为了解决上述问题，本公开可以提供一种摄像装置，其包括：
31、光检测元件；和
32、光学系统，其将光会聚到所述光检测元件上，
33、其中所述光检测元件包括：
34、半导体层，在所述半导体层中形成有各自包括光电转换器的多个像素；
35、遮光结构，其设置在所述半导体层的外边缘区域上；
36、透镜树脂膜，其堆叠在所述半导体层和所述遮光结构上；以及
37、保护膜，其堆叠在所述透镜树脂膜上，
38、设置有第一区域和第二区域，所述第一区域位于外边缘侧并且具有所述遮光结构，所述第二区域具有所述光电转换器但不具有所述遮光结构，并且
39、所述第一区域的所述透镜树脂膜形成有平坦区域和凹凸状结构中的至少一者，所述平坦区域在厚度方向上的宽度小于所述第二区域的所述透镜树脂膜在厚度方向上的宽度。
40、为了解决上述问题，本公开提供了一种包括摄像装置的车辆控制系统。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种光检测元件，其包括：
2.根据权利要求1所述的光检测元件，其中在所述第一区域的所述透镜树脂膜包括所述凹凸状结构的情况下，使所述第一区域的包括所述凹凸状结构的所述透镜树脂膜在厚度方向上的宽度小于所述第二区域的包括所述凹凸状结构的所述透镜树脂膜在厚度方向上的宽度。
3.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述凹凸状结构具有半球形结构。
4.根据权利要求3所述的光检测元件，其中所述半球形结构包括片上透镜。
5.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述凹凸状结构具有凹槽。
6.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述第一区域的所述透镜树脂膜包括所述平坦区域和所述凹凸状结构。
7.根据权利要求6所述的光检测元件，其中所述第一区域的所述透镜树脂膜包括形成在所述凹凸状结构的外边缘侧的所述平坦区域。
8.根据权利要求6所述的光检测元件，其中所述第一区域的所述透镜树脂膜包括形成在所述凹凸状结构的所述第二区域侧的所述平坦区域。
9.根据权利要求6所述的光检测元件，其中所述平坦区域和所述凹凸状结构形
10.根据权利要求9所述的光检测元件，其中在所述遮光结构上方，所述平坦区域形成在所述凹凸状结构的所述第二区域侧。
11.根据权利要求9所述的光检测元件，其中在所述遮光结构上方，所述平坦区域形成在所述凹凸状结构的外边缘侧。
12.根据权利要求1所述的光检测元件，其中在所述第一区域的所述透镜树脂膜包括所述平坦区域的情况下，使所述第一区域的所述透镜树脂膜中的所述平坦区域的平面宽度小于所述第二区域的所述透镜树脂膜的除了所述凹凸状结构的宽度之外的平面宽度。
13.根据权利要求1所述的光检测元件，其中使所述第一区域的所述透镜树脂膜在厚度方向上的宽度大于所述遮光结构在厚度方向上的宽度，并且使所述遮光结构在厚度方向上的宽度大于所述保护膜在厚度方向上的宽度。
14.根据权利要求1所述的光检测元件，
15.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述第一区域的所述透镜树脂膜的线性膨胀系数不同于所述保护膜的线性膨胀系数。
16.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述第二区域的像素包括不用于摄像的伪像素。
17.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述第一区域的像素包括用于获取关于暗电流的信息的像素。
18.根据权利要求2所述的光检测元件，其中在所述第一区域中，使与所述第二区域接触的区域的平面宽度小于外边缘侧的平面宽度。
19.一种摄像装置，其包括：
20.一种车辆控制系统，其包括根据权利要求19所述的摄像装置。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种光检测元件，其包括：
2.根据权利要求1所述的光检测元件，其中在所述第一区域的所述透镜树脂膜包括所述凹凸状结构的情况下，使所述第一区域的包括所述凹凸状结构的所述透镜树脂膜在厚度方向上的宽度小于所述第二区域的包括所述凹凸状结构的所述透镜树脂膜在厚度方向上的宽度。
3.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述凹凸状结构具有半球形结构。
4.根据权利要求3所述的光检测元件，其中所述半球形结构包括片上透镜。
5.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述凹凸状结构具有凹槽。
6.根据权利要求1所述的光检测元件，其中所述第一区域的所述透镜树脂膜包括所述平坦区域和所述凹凸状结构。
7.根据权利要求6所述的光检测元件，其中所述第一区域的所述透镜树脂膜包括形成在所述凹凸状结构的外边缘侧的所述平坦区域。
8.根据权利要求6所述的光检测元件，其中所述第一区域的所述透镜树脂膜包括形成在所述凹凸状结构的所述第二区域侧的所述平坦区域。
9.根据权利要求6所述的光检测元件，其中所述平坦区域和所述凹凸状结构形成在所述遮光结构上方。
10.根据权利要求9所述的光检测元件，其中在所述遮光结构上方，所述平坦区域形成在所述凹凸状结构的所述第二区域侧。
11.根据权利要求9所...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本敏晖，土本航也，大野诚，井上晃一，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：
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