【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆翻转，具体涉及一种晶圆翻转装置。
技术介绍
1、随着国内高端芯片制造技术的不断发展，芯片的材料不断迭代，对于芯片原材料——晶圆片的工艺要求也越来越高，在研究过程发现，晶圆背面的污染对表面的清洁度有重要的影响，此行业内开始对晶圆背面的污染也引起了更广泛的关注，晶圆背面清洗的需求也日益增加；现有的晶圆处理工艺中，每两步就要做一次背面清洗，因此需要使用到晶圆翻转装置，现有的翻转装置通常通过电机来驱动，但是晶圆翻转装置内通常湿度较大，容易造成电机的故障；
2、因此，提供一种能够提高翻转装置使用寿命的晶圆翻转装置是很有必要的。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种能够提高翻转装置使用寿命的晶圆翻转装置。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种晶圆翻转装置包括：支撑架，所述支撑架上转动设置有安装板，所述安装板的前端设置有被动柱，所述被动柱上套设有被动齿轮，所述安装板的后端设置有夹持组件，所述夹持组件包括一对夹持板，所述夹持板滑动设置在所述安装板的后端；所述支撑架的前端设置有支撑板，所述支撑板上滑动设置有主动齿条，所述主动齿条与所述被动齿轮啮合。
3、作为优选，所述安装板的前端开设有安装滑槽，并且所述安装滑槽的两侧设置有直线移动副，所述直线移动副上设置有一对移动块，所述夹持板的端部伸出所述安装滑槽，并且所述夹持板的伸出端分别连接至所述移动块。
4、作为优选，所述夹持板的伸出端设置有连接板，所述连接板的侧壁与所述移动块连接，并且
5、作为优选，所述支撑架的前端设置有一对引导座，所述引导座上开设有引导槽，所述引导槽内设置有一对引导轮，所述顶推块的侧壁贴合所述引导轮。
6、作为优选，所述引导座上铰接有引导杆，所述引导杆的两端开设有腰型槽；所述顶推块的侧壁转动设置有顶推滚轮，一端的所述腰型槽套设在所述顶推滚轮的外侧；所述支撑架的前端设置有顶推气缸，所述顶推气缸的活塞杆上转动设置有顶推滚轮，另一端的所述腰型槽套设在所述顶推气缸上的所述顶推滚轮的外侧。
7、作为优选，所述直线移动副的端部设置有复位弹簧，所述复位弹簧的另一端连接在所述移动块的侧壁，并且所述复位弹簧始终处于压缩状态。
8、作为优选，所述连接板上设置有检测片，所述检测片上设置有两个检测头；所述支撑架上设置有水平检测器和竖直检测器，所述竖直检测器设置在所述安装板的轴线的正上方，其中，当所述水平检测器检测到一个所述检测头时，允许顶推气缸工作，以使所述竖直检测器检测到另一个所述检测头。
9、作为优选，所述支撑板上设置有旋转气缸，所述旋转气缸的活塞杆连接在所述主动齿条上。
10、作为优选，所述支撑板上设置有阻尼器，所述阻尼器的固定端连接在所述支撑板上，所述阻尼器的活动端连接在所述旋转气缸的活塞杆上。
11、作为优选，所述支撑架的背侧设置有翘曲检测器和缺片检测器。
12、本技术的有益效果是：
13、1、通过在安装板上设置一对滑动的夹持板，能够对晶圆本体进行夹持；
14、2、通过将安装板转动设置在支撑架上，能够使夹持有晶圆本体的夹持板翻转，完成晶圆本体的翻转；
15、3、通过主动齿条和被动齿轮的啮合，能够完成被动齿轮的驱动，能够将直线运动转换成旋转运动，结构简单可靠。
16、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。
17、为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
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1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
5.如权利要求4所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
6.如权利要求5所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
7.如权利要求6所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
8.如权利要求7所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
9.如权利要求8所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
10.如权利要求9所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
5.如权利要求4所述的晶圆翻转装置，其特征在于，
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，蔡嘉雄，邱开宇，孙伟，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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