导向组件以及工艺腔体制造技术

提供一种导向组件以及工艺腔体。导向组件包括底座、支架以及多个滚动体：底座用于固定到腔体上；支架从底座向上延伸；多个滚动体环绕设置在支架上，多个滚动体成对径向对齐并间隔开并形成上下方向贯通的间隙，多个滚动体用于引导盖板组件的导向杆穿过间隙、滚动地夹持导向杆朝向腔体向下运动以导向杆固定到腔体上。工艺腔体包括盖板组件和腔体，盖板组件包括盖板以及导向杆，盖板用于向下盖在腔体的开口端；导向杆从盖板向下延伸；工艺腔体还包括前述的导向组件。在本公开的导向组件以及工艺腔体中，对位精度要求低、成本低，操作简单，对工人的安装技术要求低。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及镀膜领域，更具体地涉及一种导向组件以及工艺腔体。

技术介绍

1、在镀膜领域，特别是pvd、cvd等工艺腔体所涉及的阴极盖板组件中，目前市场上所有的盖板连接要么无定位装置或为插销式导向定位，并普遍存在以下问题：

2、若盖板组件无定位装置时，则安装效率低，操作困难，易磕碰，造成盖板组件中的下探到腔体中的零部件部分伤害，影响使用效果；

3、若采用插销式导向定位，则安装定位要求精度高，加工安装精度要求也高，导向不够灵活，操作有一定困难。

4、两种方式拆卸难度也大，对工人安装技术要求高。

技术实现思路

1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的目的在于提供一种导向组件以及工艺腔体，其对位精度要求低、成本低，操作简单，对工人的安装技术要求低。

2、由此，一种导向组件包括底座、支架以及多个滚动体：底座用于固定到腔体上；支架从底座向上延伸；多个滚动体环绕设置在支架上，多个滚动体成对径向对齐并间隔开并形成上下方向贯通的间隙，多个滚动体用于引导盖板组件的导向杆穿过间隙、滚动地夹持导向杆朝向腔体向下运动以导向杆固定到腔体上。

3、一种工艺腔体包括盖板组件和腔体，盖板组件包括盖板以及导向杆，盖板用于向下盖在腔体的开口端；导向杆从盖板向下延伸；工艺腔体还包括前述的导向组件。

4、本公开的有益效果如下。

5、在根据本公开的导向组件以及工艺腔体中，在盖板组件组装时，盖板组件的导向杆从上往下进入成对径向对齐并间隔开的滚动体之间的间隙中，如果盖板组件的导向杆未处于间隙的中心，则盖板组件的导向杆会先接触到成对径向对齐并间隔开的滚动体的一者，而被所接触的滚动体向对向的另一滚动体导向，从而实现盖板组件的导向杆被调整到间隙的中心，进而被成对的滚动体所夹持，从而在成对的滚动体的夹持下稳定地高精度地向下运动，最终导向杆固定到腔体上(即盖板组件固定到腔体上)；如果盖板组件的导向杆处于间隙的中心，则盖板组件的导向杆会同时接触到成对径向对齐并间隔开的滚动体的两者，进而在成对的滚动体的夹持下稳定地高精度地向下运动，最终导向杆固定到腔体上(即盖板组件固定到腔体上)。也就是说，只要盖板组件的导向杆从上往下进入成对径向对齐并间隔开的滚动体之间的间隙中，就能实现盖板组件的导向杆稳定地高精度地向下定位到腔体上，即相当于通过导向组件以盲插方式将盖板组件的导向杆定位到腔体上。由此，在根据本公开的导向组件以及工艺腔体中，对于盖板组件的导向杆的与导向组件的成对径向对齐并间隔开的滚动体之间的对位精度要求低、成本低，操作简单，对工人的安装技术要求低。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种导向组件，其特征在于，包括底座(1)、支架(2)以及多个滚动体(3)：

2.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的导向组件，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的导向组件，其特征在于，

6.根据权利要求3所述的导向组件，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的导向组件，其特征在于，

8.一种工艺腔体，包括盖板组件(100)和腔体(200)，

9.根据权利要求8所述的工艺腔体，其特征在于，

10.根据权利要求8所述的工艺腔体，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种导向组件，其特征在于，包括底座(1)、支架(2)以及多个滚动体(3)：

2.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的导向组件，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的导向组件，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的导向组件，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯长卫，袁铮，何坤鹏，
申请(专利权)人：江苏先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：