【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能薄膜制备，尤其是涉及一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备。
技术介绍
1、随着科技水平的不断创新发展，化合物薄膜制造技术不断提高，化合物薄膜的应用越来越广，也越来越来越重要。目前化合物薄膜的快速沉积生产技术主要采取热蒸发的方式，例如近距离升华法(css)、线性蒸发，主要采取干锅式手工填料，填料周期短，存在连续生产时间短等现象。
2、公开号cn118390002a的专利文件中公开了一种适用于先进化合物薄膜制备的蒸发源，公开了包括：真空腔体，真空腔体的底部设置有四个支撑腿，真空腔体的顶部设置有真空泵和真空管，真空管的一端与真空泵相连通，真空管的另一端与真空腔体相连通，真空腔体的顶部设置有汽压表，保证真空腔体处于真空状态；真空腔体的正面设置有控制器，真空腔体的两侧均设置有送料机构，两个送料机构上均连通有连通管。本专利技术通过推拉中空板方便进行固定，同时控制两个送料泵接通开关，并且控制密封的开关，方便进行加工控制，效率高。
3、但是上述专利文件在使用过程中，不便于对蒸气进行均匀分布，进而导致蒸发材料沉积分布不均，影响成膜的均匀性，为此我们提出了一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备用于解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在快速蒸发设备在使用过程中，不便于对蒸气进行均匀分布，进而导致蒸发材料沉积分布不均，影响成膜的均匀性的缺点，而提出的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备。
2、本申请提供的一种用于化合
3、一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，包括：
4、机箱；
5、支脚，支脚设置有四个，四个支脚均固定安装在机箱的底部，机箱上铰接有箱门，机箱的顶部固定安装有对称的两个支板；
6、真空罐，真空罐固定安装在两个支板上，真空罐上连接有密封盖，密封盖上开设有第一空槽和对称的两个第一滑槽，两个第一滑槽内设置有锁止机构；
7、支撑板，支撑板固定安装在真空罐内，支撑板上开设有第三滑槽和对称的两个第二滑槽，第三滑槽内滑动安装有活动板，活动板的顶部转动安装有加热台，活动板内开设有第二空槽，第二空槽内设置有旋转机构，旋转机构用于驱动加热台旋转；
8、蒸发机构，蒸发机构设置在真空罐内，蒸发机构包括外加热管，外加热管的顶部固定安装有对称的两个连接柱，两个连接柱均固定安装在真空罐的顶部内壁，外加热管内固定安装有内加热管，内加热管的外侧开设有多个出气嘴，外加热管的外侧开设有出气口，外加热管的外侧连接有保温层，出气口内设置有导流机构，导流机构用于对蒸气导流，外加热管上连接有两个第二加热电极，内加热管上连接有两个第一加热电极，内加热管内固定安装有两个拦截网，内加热管的两端均固定连通有输料管。
9、进一步地，所述锁止机构包括两个滑杆，两个滑杆分别滑动安装在两个第一滑槽内，两个滑杆的外侧均固定安装有卡块，两个第二滑槽的内壁均开设有卡槽，两个卡块分别与两个卡槽相配合，第一空槽的两侧内壁均开设有第二通孔，两个第二通孔分别与两个第一滑槽相通，两个第二通孔内转动安装有同一个第一双向丝杆，第一双向丝杆与两个滑杆螺纹连接，第一双向丝杆与蜗轮固定连接，蜗轮转动时，蜗轮带动第一双向丝杆转动，第一双向丝杆带动两个滑杆水平移动，两个滑杆分别带动两个卡块水平移动。
10、进一步地，所述旋转机构包括传动轴，传动轴转动安装在活动板的顶部，传动轴的一端与第一传动杆的外侧分别固定安装有第二伞齿轮和第一伞齿轮，第二伞齿轮和第一伞齿轮相啮合，传动轴的另一端与加热台的底部固定连接，当第一传动杆转动时，第一传动杆带动第一伞齿轮转动，第一伞齿轮带动第二伞齿轮转动，第二伞齿轮带动传动轴转动，传动轴带动加热台旋转。
11、进一步地，所述滑杆的一侧与第二滑槽的一侧内壁均开设有安装槽，两个安装槽内分别滑动安装有第一导电柱和第二导电柱，第一导电柱和第二导电柱的外侧均固定连接有压缩弹簧，两个压缩弹簧的一端分别与两个安装槽的一侧内壁固定连接，真空罐的外侧安装有电源，第一导电柱、电源、正反转电机和第二导电柱依次连接，当第一导电柱与第二导电柱接触时，可以自动开启正反转电机。
12、进一步地，所述导流机构包括两个导流板，出气口内转动安装有两个第三传动杆，两个第三传动杆分别与两个导流板固定连接，两个第三传动杆的外侧分别固定安装有第三链轮和第四链轮，第三链轮和第四链轮上啮合有同一个第二链条，当第三传动杆转动时，第三链轮和第四链轮通过第二链条传动。
13、进一步地，所述第二传动杆的一端固定安装有转轮，转轮上转动安装有旋转轴，旋转轴的一端固定连接有滑套，第三传动杆的外侧固定安装有导杆，导杆滑动安装在滑套内，当第二传动杆转动时，第二传动杆带动转轮转动，转轮带动旋转轴和滑套做圆周运动，滑套与导杆相配合可以带动其往复摆动。
14、进一步地，所述真空罐的一侧内壁转动安装有第二传动杆，矩形杆的外侧与第二传动杆的外侧分别固定安装有第一链轮和第二链轮，第一链轮和第二链轮上啮合有同一个第一链条，当矩形杆转动时，矩形杆带动第一链轮转动，第一链轮通过第一链条带动第二链轮转动。
15、进一步地，所述加热台的顶部开设有对称的两个第四滑槽，两个第四滑槽内均滑动安装有夹板，加热台的一侧开设有第四通孔，第四通孔内转动安装有第二双向丝杆，第二双向丝杆与两个夹板螺纹连接，第二双向丝杆的一端固定安装有手轮，当转动手轮时，手轮带动第二双向丝杆转动，第二双向丝杆带动两个夹板水平移动。
16、进一步地，所述真空罐的一侧开设有第三通孔，第三通孔内转动安装有矩形杆，真空罐的一侧固定安装有正反转电机，正反转电机的输出轴与矩形杆的一端固定连接，活动板上转动安装有第一传动杆，第一传动杆的一端开设有矩形槽，矩形杆滑动安装在矩形槽内，通过矩形杆与矩形槽相配合的设置，当开启正反转电机时，正反转电机带动矩形杆转动，矩形杆带动第一传动杆转动。
17、进一步地，所述密封盖上开设有第一通孔，第一通孔与第一空槽相通，第一通孔内转动安装有蜗杆，蜗杆的一端固定连接有把手，密封盖上开设有观察孔，观察孔内固定安装有玻璃面板，蜗杆啮合有蜗轮，机箱内安装有两个储料罐，两个储料罐的外侧均固定连通有第一连接管，两个第一连接管的一端均连接有料泵，两个储料罐的顶部均固定连通有第二连接管，两个第二连接管分别与两个输料管固定连通，当转动把手时，把手带动蜗杆转动，蜗杆带动蜗轮转动。
18、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
19、1.本方案当转动把手时，蜗杆带动蜗轮转动，蜗轮带动第一双向丝杆转动，第一双向丝杆带动两个滑杆相互靠近，两个滑杆分别带动两个卡块相互靠近，两个卡块分别与两个卡槽相配合，进而可以对密封盖和真空罐进行快速连接；
20、2.本方案当正反转电机开启时，正反转电机带动矩形杆转动，矩形杆与矩形槽相配合可以带动第一传动杆转动，第一传动杆带动第一伞齿轮转动，第本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述密封盖（6）上开设有第一通孔，第一通孔与第一空槽（26）相通，第一通孔内转动安装有蜗杆（31），蜗杆（31）的一端固定连接有把手（30），密封盖（6）上开设有观察孔（7），观察孔（7）内固定安装有玻璃面板（9），蜗杆（31）啮合有蜗轮（33），机箱（1）内安装有两个储料罐（10），两个储料罐（10）的外侧均固定连通有第一连接管（12），两个第一连接管（12）的一端均连接有料泵（11），两个储料罐（10）的顶部均固定连通有第二连接管（13），两个第二连接管（13）分别与两个输料管（14）固定连通。
3.根据权利要求2所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述锁止机构包括两个滑杆（28），两个滑杆（28）分别滑动安装在两个第一滑槽（27）内，两个滑杆（28）的外侧均固定安装有卡块（29），两个第二滑槽（41）的内壁均开设有卡槽，两个卡块（29）分别与两个卡槽相配合，第一空槽（26）的两侧内壁均开设有第二通
4.根据权利要求3所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述真空罐（5）的一侧开设有第三通孔，第三通孔内转动安装有矩形杆（39），真空罐（5）的一侧固定安装有正反转电机（38），正反转电机（38）的输出轴与矩形杆（39）的一端固定连接，活动板（24）上转动安装有第一传动杆（40），第一传动杆（40）的一端开设有矩形槽，矩形杆（39）滑动安装在矩形槽内。
5.根据权利要求4所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述旋转机构包括传动轴（45），传动轴（45）转动安装在活动板（24）的顶部，传动轴（45）的一端与第一传动杆（40）的外侧分别固定安装有第二伞齿轮（44）和第一伞齿轮（43），第二伞齿轮（44）和第一伞齿轮（43）相啮合，传动轴（45）的另一端与加热台（25）的底部固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述加热台（25）的顶部开设有对称的两个第四滑槽（48），两个第四滑槽（48）内均滑动安装有夹板（49），加热台（25）的一侧开设有第四通孔，第四通孔内转动安装有第二双向丝杆（47），第二双向丝杆（47）与两个夹板（49）螺纹连接，第二双向丝杆（47）的一端固定安装有手轮（46）。
7.根据权利要求6所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述滑杆（28）的一侧与第二滑槽（41）的一侧内壁均开设有安装槽（34），两个安装槽（34）内分别滑动安装有第一导电柱（36）和第二导电柱（37），第一导电柱（36）和第二导电柱（37）的外侧均固定连接有压缩弹簧（35），两个压缩弹簧（35）的一端分别与两个安装槽（34）的一侧内壁固定连接，真空罐（5）的外侧安装有电源（8），第一导电柱（36）、电源（8）、正反转电机（38）和第二导电柱（37）依次连接。
8.根据权利要求7所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述真空罐（5）的一侧内壁转动安装有第二传动杆（53），矩形杆（39）的外侧与第二传动杆（53）的外侧分别固定安装有第一链轮（50）和第二链轮（52），第一链轮（50）和第二链轮（52）上啮合有同一个第一链条（51）。
9.根据权利要求8所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述导流机构包括两个导流板（59），出气口（21）内转动安装有两个第三传动杆（58），两个第三传动杆（58）分别与两个导流板（59）固定连接，两个第三传动杆（58）的外侧分别固定安装有第三链轮（60）和第四链轮（62），第三链轮（60）和第四链轮（62）上啮合有同一个第二链条（61）。
10.根据权利要求9所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述第二传动杆（53）的一端固定安装有转轮（54），转轮（54）上转动安装有旋转轴（55），旋转轴（55）的一端固定连接有滑套（56），第三传动杆（58）的外侧固定安装有导杆（57），导杆（57）滑动安装在滑套（56）内。
...【技术特征摘要】
1.一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述密封盖（6）上开设有第一通孔，第一通孔与第一空槽（26）相通，第一通孔内转动安装有蜗杆（31），蜗杆（31）的一端固定连接有把手（30），密封盖（6）上开设有观察孔（7），观察孔（7）内固定安装有玻璃面板（9），蜗杆（31）啮合有蜗轮（33），机箱（1）内安装有两个储料罐（10），两个储料罐（10）的外侧均固定连通有第一连接管（12），两个第一连接管（12）的一端均连接有料泵（11），两个储料罐（10）的顶部均固定连通有第二连接管（13），两个第二连接管（13）分别与两个输料管（14）固定连通。
3.根据权利要求2所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述锁止机构包括两个滑杆（28），两个滑杆（28）分别滑动安装在两个第一滑槽（27）内，两个滑杆（28）的外侧均固定安装有卡块（29），两个第二滑槽（41）的内壁均开设有卡槽，两个卡块（29）分别与两个卡槽相配合，第一空槽（26）的两侧内壁均开设有第二通孔，两个第二通孔分别与两个第一滑槽（27）相通，两个第二通孔内转动安装有同一个第一双向丝杆（32），第一双向丝杆（32）与两个滑杆（28）螺纹连接，第一双向丝杆（32）与蜗轮（33）固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述真空罐（5）的一侧开设有第三通孔，第三通孔内转动安装有矩形杆（39），真空罐（5）的一侧固定安装有正反转电机（38），正反转电机（38）的输出轴与矩形杆（39）的一端固定连接，活动板（24）上转动安装有第一传动杆（40），第一传动杆（40）的一端开设有矩形槽，矩形杆（39）滑动安装在矩形槽内。
5.根据权利要求4所述的一种用于化合物薄膜制备的快速蒸发设备，其特征在于：所述旋转机构包括传动轴（45），传动轴（45）转动安装在活动板（24）的顶部，传动轴（45）的一端与第一传动杆（40）的外侧分别固定安装有第二伞齿轮（44）和第一伞齿轮（43），第二伞齿轮（44）和第一伞齿轮（43）相啮合，传动轴（45）...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭向东，
申请(专利权)人：浙江天牧光能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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