【技术实现步骤摘要】
本技术涉及离子液体镀装置，具体而言，涉及一种离子液体镀液进液及储液装置。
技术介绍
1、离子液体镀是一种全新的电镀技术，它采用非水的离子液体作为电解液，具有很多传统电镀技术无法比拟的优点，例如可以实现铝等无法从水溶液电沉积的活泼金属的电镀，无氢脆风险，适合易氧化金属的电镀，同时电镀过程绿色环保，因此具有广阔的应用前景。
2、现有离子液体镀，采用中国专利申请号：zl2017214277697所公开的设备，在初次建浴及镀液补加或设备维修时，镀液需要进出镀槽，然而在该设备使用时，存在的问题如下：1.镀液通过蠕动泵进行进出液，选用流量高的蠕动泵，则需要内径较大的衬氟管，蠕动泵价格较高。2.管路易机械破损，需要经常更换管路，操作复杂，成本较高。3.蠕动泵体积较大，进出入舱体较为困难，而且占用较多舱体内空间。4.蠕动泵流量较小，抽补液时间较长。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是提供一种离子液体镀液进液及储液装置，其能够方便地将镀液从储液罐中抽送到电沉积槽体中，以及能够方便地将镀液从电沉积槽体中抽回到储液罐中，此外，能够解决蠕动泵体积较大，出入舱体内较为困难的问题，以及能够解决管路易于破损，成本较高的问题。
2、本技术提供一种离子液体镀液进液及储液装置，包括储液罐、供液组件、导气组件、抽真空组件、电沉积槽体和封闭式的沉积舱舱体；电沉积槽体设置在沉积舱舱体的内部，储液罐的高度低于电沉积槽体，供液组件的进液端与储液罐的底部连通，供液组件的出液端与电沉积槽体连通，导气
3、本技术通过采用上述结构后，能够方便地将镀液从储液罐中抽送到电沉积槽体中，以及能够方便地将镀液从电沉积槽体中抽回到储液罐中，此外，能够解决蠕动泵体积较大，出入舱体内较为困难的问题，以及能够解决管路易于破损，成本较高的问题。
4、在一种可能的实施方式中，导气组件包括导气管和第一阀门；导气管的一端与储液罐的顶部连通，导气管的另一端与沉积舱舱体连通，第一阀门安装在导气管上；通过采用这种导气组件后，当第一阀门被打开时，导气组件即可处于导通状态，当第一阀门被关闭时，导气组件即可处于截止状态，该导气组件具有结构简单的优点。
5、在一种可能的实施方式中，抽真空组件包括抽气管和真空减压阀；抽气管的一端与储液罐的顶部连通，抽气管的另一端与真空泵的抽气端连接，真空减压阀安装在抽气管上；通过采用这种抽真空组件后，在真空泵工作时，真空泵即可对储液罐进行抽真空，且在真空减压阀的作用下，能够控制真空泵对储液罐的抽真空压力。
6、在一种可能的实施方式中，抽真空组件还包括第二阀门，第二阀门连接在位于真空减压阀与真空泵之间的抽气管上；通过第二阀门的设置，在真空泵停止工作时，可关闭第二阀门，以防止来自真空泵的空气倒流到储液罐中。
7、在一种可能的实施方式中，供液组件包括磁力泵、第一连接管和第二连接管；第一连接管的一端与储液罐的底部连通，第一连接管的另一端与磁力泵的进口端连接，第二连接管的一端与磁力泵的出口端连接，第二连接管的另一端由上至下伸入在电沉积槽体中并靠近电沉积槽体的内底部；通过采用这种供液组件后，当磁力泵工作时，储液罐中的镀液能够被磁力泵抽送到电沉积槽体中；当需要将电沉积槽体中的镀液抽回到储液罐中时，导气组件首先处于截止状态，此时，抽真空组件对储液罐抽真空以使储液罐中的负压达到一定值，随后，抽真空组件关闭且导气组件导通，电沉积槽体中的镀液经第二连接管、磁力泵和第一连接管被虹吸至储液罐中(因为磁力泵在不工作时，磁力泵是不密封的，从而能够使得镀液可经第二连接管、磁力泵和第一连接管被虹吸至储液罐中)。
8、在一种可能的实施方式中，供液组件还包括第三阀门和第四阀门，第三阀门和第四阀门分别设置在第一连接管和第二连接管上；通过第三阀门和第四阀门的设置，当磁力泵需要更换时，可关闭第三阀门和第四阀门，从而能够避免来自电沉积槽体的镀液以及来自储液罐的镀液的泄漏。
9、在一种可能的实施方式中，储液罐的底部为倒锥形状结构，第一连接管的一端位于储液罐底部的最低处；通过采用这种结构后，在供液组件抽取储液罐中的镀液时，镀液能够更可靠地汇聚到第一连接管的一端处，从而便于供液组件抽取储液罐中的镀液。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：包括储液罐(1)、供液组件、导气组件、抽真空组件、电沉积槽体(2)和封闭式的沉积舱舱体(3)；所述电沉积槽体(2)设置在所述沉积舱舱体(3)的内部，所述储液罐(1)的高度低于电沉积槽体(2)，所述供液组件的进液端与储液罐(1)的底部连通，所述供液组件的出液端与电沉积槽体(2)连通，所述导气组件的一端与储液罐(1)的顶部连通，所述导气组件的另一端与沉积舱舱体(3)连通，所述抽真空组件的抽气端与储液罐(1)的顶部连通；当需要将储液罐(1)中的镀液抽送到电沉积槽体(2)中时，导气组件处于导通状态，供液组件处于工作状态以将储液罐(1)中的镀液抽送到电沉积槽体(2)中；当需要将电沉积槽体(2)中的镀液抽回到储液罐(1)中时，导气组件首先处于截止状态，此时，抽真空组件对储液罐(1)抽真空以使储液罐(1)中的负压达到一定值，随后，抽真空组件关闭且导气组件导通，电沉积槽体(2)中的镀液经供液组件被虹吸至储液罐(1)中。
2.根据权利要求1所述的离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：所述导气组件包括导气管(41)和第一阀门(42)；所述
3.根据权利要求1所述的离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：所述抽真空组件包括抽气管(51)和真空减压阀(52)；所述抽气管(51)的一端与储液罐(1)的顶部连通，所述抽气管(51)的另一端与真空泵的抽气端连接，所述真空减压阀(52)安装在抽气管(51)上。
4.根据权利要求3所述的离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：所述抽真空组件还包括第二阀门(53)，所述第二阀门(53)连接在位于真空减压阀(52)与真空泵之间的抽气管(51)上。
5.根据权利要求1所述的离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：所述供液组件包括磁力泵(61)、第一连接管(62)和第二连接管(63)；所述第一连接管(62)的一端与储液罐(1)的底部连通，所述第一连接管(62)的另一端与磁力泵(61)的进口端连接，所述第二连接管(63)的一端与磁力泵(61)的出口端连接，所述第二连接管(63)的另一端由上至下伸入在电沉积槽体(2)中并靠近电沉积槽体(2)的内底部。
6.根据权利要求5所述的离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：所述供液组件还包括第三阀门(64)和第四阀门(65)，所述第三阀门(64)和第四阀门(65)分别设置在所述第一连接管(62)和所述第二连接管(63)上。
7.根据权利要求5所述的离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：所述储液罐(1)的底部为倒锥形状结构，所述第一连接管(62)的一端位于储液罐(1)底部的最低处。
...【技术特征摘要】
1.一种离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：包括储液罐(1)、供液组件、导气组件、抽真空组件、电沉积槽体(2)和封闭式的沉积舱舱体(3)；所述电沉积槽体(2)设置在所述沉积舱舱体(3)的内部，所述储液罐(1)的高度低于电沉积槽体(2)，所述供液组件的进液端与储液罐(1)的底部连通，所述供液组件的出液端与电沉积槽体(2)连通，所述导气组件的一端与储液罐(1)的顶部连通，所述导气组件的另一端与沉积舱舱体(3)连通，所述抽真空组件的抽气端与储液罐(1)的顶部连通；当需要将储液罐(1)中的镀液抽送到电沉积槽体(2)中时，导气组件处于导通状态，供液组件处于工作状态以将储液罐(1)中的镀液抽送到电沉积槽体(2)中；当需要将电沉积槽体(2)中的镀液抽回到储液罐(1)中时，导气组件首先处于截止状态，此时，抽真空组件对储液罐(1)抽真空以使储液罐(1)中的负压达到一定值，随后，抽真空组件关闭且导气组件导通，电沉积槽体(2)中的镀液经供液组件被虹吸至储液罐(1)中。
2.根据权利要求1所述的离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：所述导气组件包括导气管(41)和第一阀门(42)；所述导气管(41)的一端与储液罐(1)的顶部连通，所述导气管(41)的另一端与沉积舱舱体(3)连通，所述第一阀门(42)安装在导气管(41)上。
3.根据权利要求1所述的离子液体镀液进液及储液装置，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宾，凌国良，凌国平，
申请(专利权)人：三磊宁波新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。