【技术实现步骤摘要】
本申请涉及单晶炉制造，具体地说是一种单晶炉磁场升降机构。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体环境中，用坩埚将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、为了保证晶棒质量，单晶炉的炉室外周通常设置有磁场，磁场通过升降机构控制升降。现有的单晶炉磁场升降机构不具备防磁场坠落功能，磁场容易发生坠落，磁场意外坠落不仅会带来安全隐患，且会影响晶棒加工质量。
技术实现思路
1、针对传统的单晶炉磁场升降机构存在的上述技术问题，本申请提供了一种单晶炉磁场升降机构，其详细技术方案如下：
2、一种单晶炉磁场升降机构，包括：
3、安装支架；
4、丝杆驱动机构，丝杆驱动机构安装在安装支架上；
5、n根丝杆，n根丝杆沿周向排布，各丝杆均与丝杆驱动机构传动连接，各丝杆均转动连接在安装支架上，丝杆驱动机构用于驱动n根丝杆同步旋转；
6、磁场承载机构，磁场承载机构包括承载部及n个沿周向设置在承载部底部的连接部，n个连接部与丝杆一一对应，其中，承载部用于承载磁场，连接部通过螺母螺接在对应的丝杆上，丝杆旋转时带动对应的连接部升降；
7、m个磁场防坠落机构，每个磁场防坠落机构均用于对应锁紧一根丝杆以阻止丝杆旋转，磁场防坠落机构设置在安装支架及对应的丝杆上；
8、n≥3，m≤n。
9、本申请提供的单晶炉磁场升降机构，其设置有磁场防坠落机构，当丝杆驱动机构通过丝杆将磁场承载机构上的磁场调整至预定高度时，
10、在一些实施例中，磁场防坠落机构包括：限位法兰，限位法兰固定连接在对应的丝杆的上端，限位法兰沿周向设置有若干卡槽；限位组件，限位组件包括驱动件及限位销，其中，驱动件相对于安装支架固定安装，限位销连接在驱动件的驱动端上并指向限位法兰，驱动件用于驱动限位销朝向或远离限位法兰移动；驱动件驱动限位销朝向限位法兰移动时，限位销插入至卡槽内以锁紧丝杆；驱动件驱动限位销远离限位法兰移动时，限位销脱离卡槽。
11、提供了一种结构简单的磁场防坠落机构，其通过控制相对于安装支架固定安装的限位组件插入或脱离安装在丝杆上端的限位法兰，以实施对丝杆的锁紧或释放。
12、在一些实施例中，磁场防坠落机构还包括丝杆轴承座，丝杆轴承座设置在安装支架上，丝杆的上端经轴承转动连接在丝杆轴承座内；限位法兰位于丝杆轴承座内，丝杆轴承座朝向限位销的一侧设置有限位孔，限位销经限位孔插入至卡槽内。
13、通过设置丝杆轴承座，实现了对丝杆上端和限位法兰的转动安装及限位，防止丝杆上端及限位法兰在转动过程中窜动。而通过在丝杆轴承座上设置限位孔，则确保限位销能够穿入至丝杆轴承座，并插入至限位法兰的卡槽内以锁紧丝杆。
14、在一些实施例中，磁场防坠落机构还包括感应片和感应件，其中：感应片设置在限位销上，感应件相对于安装支架固定安装且与感应片相对设置，感应件与丝杆驱动机构信号连接；限位销插入至卡槽内时，感应片远离感应件；限位销脱离卡槽时，感应片靠近感应件或抵接在感应件上，感应件被感应片触发产生感应信号，并将感应信号传送给丝杆驱动机构。
15、通过感应片和感应件的配合，当限位组件解除对丝杆的锁紧时，感应件将感应信号传送给丝杆驱动机构。丝杆驱动机构在收到感应信号后可驱动丝杆升降，以实施对磁场的高度调节。
16、在一些实施例中，单晶炉磁场升降机构还包括n根与丝杆一一对应的导向杆，导向杆的上下端均固定连接在安装支架上，连接部滑动连接在对应的导向杆上且能沿导向杆上下滑动。
17、通过设置导向杆，实现了对承载部和磁场的升降导向，防止承载部和磁场在升降过程中走偏，损坏丝杠及螺母等组件。
18、在一些实施例中，连接部包括转接臂、安装座及直线轴承，其中：转接臂的上端连接在承载部的底部，安装座连接在转接臂的下端，螺母固定设置安装座上并螺接在丝杆上，直线轴承固定设置安装座上并套接在导向杆上；或者，连接部包括转接臂、安装座及衬套，其中：转接臂的上端连接在承载部的底部，安装座连接在所述转接臂的下端，螺母固定设置安装座上并螺接在丝杆上，衬套固定设置安装座上并套接在导向杆上
19、通过对连接部进行设置，一方面确保了连接部与承载部的连接强度，另一方面确保丝杆和导向杆可升降调节地穿接在连接部上。
20、在一些实施例中，安装座包括第一安装块、第二安装块及第三安装块，其中：第一安装块的第一端连接在转接臂的下端，第一安装块的第二端的底部设有安装缺口，第一安装块的第二端上还设置有第一安装孔，第一安装孔的下半段与安装缺口相接以形成第一半剖孔；第二安装块安装在安装缺口内，第二安装块朝向第一半剖孔的一侧设有与第一半剖孔对接的第二半剖孔，第二安装块远离第一半剖孔的一侧设有第三半剖孔；第三安装块连接在第一安装块的第二端的顶部并向外延伸出第一安装块，第三安装块上设置有与第一安装孔上下贯通的第二安装孔，第三安装块上还设置有与第三半剖孔上下贯通的第三安装孔；螺母穿设在第一安装孔内，丝杆自螺母以及第二安装孔内穿过，直线轴承或衬套穿设在第三安装孔内。
21、将安装座设置成由第一安装块、第二安装块及第三安装块构成的拆装分体式机构，方便了对螺母和直线轴承的维修及更换。
22、在一些实施例中，承载部包括与磁场底部形状相匹配的环形的安装法兰，磁场固定于安装法兰上。
23、通过设置安装法兰，方便了对磁场的拆装，且确保磁场的安装稳定度，防止磁场坠落或倾斜。
24、在一些实施例中，单晶炉磁场升降机构还包括设置在磁场承载机构下方的限位支撑机构；限位支撑机构包括沿周向设置的若干支撑座，支撑座一一对应的设置于连接部的下方，若干支撑座的上表面处于同一水平面上以构成限位支撑机构的支撑面，支撑座的上表面安装缓冲垫。
25、在实施对磁场的安装时，首先将磁场承载机构水平支撑在各支撑座上，从而确保安装至磁场承载机构上的磁场的水平度。此外，由于支撑座上设置有缓冲垫，因此，当磁场意外坠落时，支撑座可实施对磁场的缓冲支撑。
26、在一些实施例中，丝杆驱动机构包括电机及n个与丝杆一一对应的减速机，其中：n个减速机沿周向设置，且均与电机传动连接，丝杆的下端连接在对应的减速机的输出端上；电机经n个减速机同步地驱动n根丝杆同步旋转。
27、通过对丝杆驱动机构进行设置，使得丝杆驱动机构能够同步地驱动n根丝杆同步旋转，从而实现对磁场的升降驱动。
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1.一种单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述单晶炉磁场升降机构包括：
2.如权利要求1所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述磁场防坠落机构包括：
3.如权利要求2所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述磁场防坠落机构还包括丝杆轴承座，所述丝杆轴承座设置在所述安装支架上，所述丝杆的上端经轴承转动连接在所述丝杆轴承座内；
4.如权利要求2所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述磁场防坠落机构还包括感应片和感应件，其中：
5.如权利要求1所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述单晶炉磁场升降机构还包括n根与所述丝杆一一对应的导向杆，所述导向杆的上下端均固定连接在所述安装支架上，所述连接部滑动连接在对应的所述导向杆上且能沿所述导向杆上下滑动。
6.如权利要求5所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于：
7.如权利要求6所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述安装座包括第一安装块、第二安装块及第三安装块，其中：
8.如权利要求1所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述承载部包括与所述磁场底部形状相
9.如权利要求1所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述单晶炉磁场升降机构还包括设置在所述磁场承载机构下方的限位支撑机构；
10.如权利要求1所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述丝杆驱动机构包括电机及n个与所述丝杆一一对应的减速机，其中：
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述单晶炉磁场升降机构包括：
2.如权利要求1所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述磁场防坠落机构包括：
3.如权利要求2所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述磁场防坠落机构还包括丝杆轴承座，所述丝杆轴承座设置在所述安装支架上，所述丝杆的上端经轴承转动连接在所述丝杆轴承座内；
4.如权利要求2所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述磁场防坠落机构还包括感应片和感应件，其中：
5.如权利要求1所述的单晶炉磁场升降机构，其特征在于，所述单晶炉磁场升降机构还包括n根与所述丝杆一一对应的导向杆，所述导向杆的上下端均固定连接在所述安装支架上，所述连接部滑动连接在对...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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