【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆转运，尤其涉及一种立式扩散炉晶圆转运机器人。
技术介绍
1、立式扩散炉是一种应用于半导体领域的重要热处理设备，俗称立式炉，一般应用于直径为200mm和300mm的集成电路工艺中的批量式热处理。其结构特点是加热炉体、反应管及承载圆片的石英舟均垂直放置，晶圆呈水平放置。这种设计使得立式扩散炉具有片内均匀性好、系统性能稳定的特点，可以满足大规模集成电路生产线的需求。
2、为了保证产品热处理的质量及产品的一致性，立式扩散炉内的晶圆在热处理过程中要求均匀分布，到位性一致，因此对立式扩散炉晶圆的装炉过程提出了较高的要求。另外晶圆的加工和转运一般采用流水线作业，因此对立式扩散炉的装炉效率也提出了较高的要求。
3、目前常用的装炉方式为柔性工作线，需要人工配合自动化上料机完成，并结合装炉的检验工序，该方法一方面难以保证装炉的均匀性和一致性，容易造成产品质量问题；另一方面造成效率低下和人工成本的浪费。
技术实现思路
1、为了解决前述技术问题，本专利技术提供了一种立式扩散炉晶圆转运机器人，通过该转运机器人将流水线上的晶圆转运至立式扩散炉中，避免了柔性线操作的人工成本浪费和晶圆装炉均匀性、到位性差的问题，具体是通过以下技术方案实现的。
2、本专利技术一种立式扩散炉晶圆转运机器人，包括安装板，所述安装板固定安装在能够竖直位移的滑动机架上，所述安装板依次通过转动机构和平移机构安装有安装架，所述转动机构和平移机构用于实现安装架转动和伸缩位移。
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4、所述托盘两侧分别固定有限位条，所述限位条的内表面固定有导向条，所述导向条下表面倾斜设置。
5、所述安装架上安装有夹持部和推送部，所述推送部用于将晶圆向立式扩散炉中推送。
6、所述夹持部包括撬动杆，所述撬动杆中部通过安装轴铰链在安装架上，所述安装轴上套设有扭转弹簧，所述撬动杆通过扭转弹簧与安装架固定。
7、所述撬动杆第一端能够与电磁铁吸附，所述撬动杆第一端还与遮挡板固定，所述遮挡板能够触发第五传感器，所述撬动杆第一端顶部能够与压力传感器抵接，所述电磁铁、第五传感器、压力传感器均固定在安装架上，所述撬动杆第二端固定安装有按压板。
8、优选的，所述推送部包括开设在安装架上的导向通孔，所述导向通孔内配置有往复滑动的推杆，所述推杆第一端安装有推夹，所述推夹与晶圆的侧面搭接。
9、所述推杆上表面配置在第一槽轮内并与其内部抵接，所述第一槽轮与驱动电机的输出端同轴固定，所述驱动电机与安装架固定，所述推杆的下表面配置在第二槽轮内并与其内部抵接，所述第二槽轮转动安装在安装架上。
10、所述推杆能够触发第六传感器，所述第六传感器固定安装在安装架上。
11、优选的，所述平移机构包括固定板，所述固定板安装在所述转动机构底部，所述固定板上固定有第二电机，所述第二电机的输出端与第三带轮同轴固定，所述第三带轮通过第二皮带与第四带轮带传动，所述第四带轮转动安装在固定板上。
12、所述第二皮带与连接板固定，所述连接板与平移板固定，所述平移板与滑块固定，所述滑块滑动配置在导轨上，所述导轨与固定板固定。
13、所述平移板侧面固定有定位板，所述定位板能够触发第四传感器，所述第四传感器固定安装在固定板侧面。
14、优选的，所述转动机构包括第一电机，所述第一电机固定安装在安装板上，所述第一电机的输出端与第一带轮同轴固定，所述第一带轮通过第一皮带与第二带轮带传动，所述第二带轮与转轴同轴固定，所述转轴转动安装在安装板上，所述转轴底部同轴固定有安装盘，所述安装盘上安装有所述固定板。
15、所述固定板上安装有定位杆，所述定位杆能够分别触发第二传感器和第三传感器，所述第二传感器和第三传感器均固定安装在安装板底部。
16、优选的，所述托盘上表面开设有若干气槽，若干所述气槽与气孔连通，所述气孔贯穿托盘并与负压管固定连通。
17、优选的，所述导向条下表面沿着从靠近限位环到远离限位环，从上到下的方向倾斜。
18、优选的，所述限位环为弧形结构，且所述限位环内表面的直径与晶圆直径相等。
19、优选的，所述按压板上开设有避让槽。
20、优选的，所述第一槽轮内部固定安装有橡胶或乳胶材质的环形套。
21、优选的，所述第二电机、第三带轮、第二皮带、第四带轮、连接板、滑块、导轨、定位板和第四传感器组成的结构体，关于所述固定板的中心对称分布两组。
22、采用了上述技术方案后，本专利技术的有益效果是：
23、1、本专利技术通过托盘和夹持部对晶圆的稳定夹持，使得晶圆在转运过程中位置稳定，并且对晶圆在托盘的上料和下料过程进行监控，卡料时及时停机，避免造成晶圆的损坏。
24、2、通过推送部对位于托盘上的晶圆平稳推送至立式扩散炉中，该转运过程稳定高效，并且通过控制推送的行程，使得立式扩散炉中的晶圆装炉位置的一致性。
25、3、通过转动机构和平移机构实现放置在托盘上的晶圆的水平转运，能够满足一定角度和行程范围内的立式扩散炉的装炉需求，适配性更广，采用参数调节控制晶圆转运，精确度高，工作效率得到明显提升。
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1.一种立式扩散炉晶圆转运机器人，包括安装板（101），其特征在于：所述安装板（101）固定安装在能够竖直位移的滑动机架上，所述安装板（101）依次通过转动机构（200）和平移机构（300）安装有安装架（102），所述转动机构（200）和平移机构（300）用于实现安装架（102）转动和伸缩位移；
2.根据权利要求1所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
6.根据权利要求1所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
9.根据权利要求2所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
10.根据权利要求3所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种立式扩散炉晶圆转运机器人，包括安装板（101），其特征在于：所述安装板（101）固定安装在能够竖直位移的滑动机架上，所述安装板（101）依次通过转动机构（200）和平移机构（300）安装有安装架（102），所述转动机构（200）和平移机构（300）用于实现安装架（102）转动和伸缩位移；
2.根据权利要求1所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的立式扩散炉晶圆转运机器人，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的立式扩...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱滨泉，王秋玲，蔡宗捷，苏益兴，
申请(专利权)人：潍坊芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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