【技术实现步骤摘要】
本技术涉及特气系统，特别涉及一种vcr气体过滤垫片密封接合装置。
技术介绍
1、在众多的微电子行业会使用到一些特殊气体，使用设备有：有机化学气相沉积设备、镀膜设备，特殊气体有：硅烷、氨气等。这些特殊气体的性质为易燃易爆、毒腐，特殊气体一般储存在钢瓶容器内，通过一系列的安全有效的供气设备供应至使用设备，供气设备有：大流量供应设备、分流盘、吹扫盘等，在这些供气设备的内部为了有效的响应后期生产设备的扩充，会在供气设备加装扩充阀门预留口，该扩充阀门预留口，常生内漏现象，导致无法使用，在当前的众多的扩充口设计操作方案，不是设计不规范达不到预期效果，就是增加冗余措施导致增加造价,剧毒，有害特气的精细过滤垫片，工作压力最高达到400bar，这才是造成泄露的根本原因。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种vcr气体过滤垫片密封接合装置，以解决上述现有技术存在的问题。
2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
3、一种vcr气体过滤垫片密封接合装置，包括vcr外环、设置在vcr外环内部的vcr滤网和插接在vcr外环内的vcr接头，所述vcr滤网用于过滤从vcr外环流入至vcr接头内的气体，所述vcr外环与vcr接头连接的一端内侧壁设置有第一密封圈，所述vcr滤网的两端分别设置有第二密封圈和第三密封圈，所述第二密封圈远离vcr滤网的一侧与vcr外环的内壁紧密贴合，所述第三密封圈远离vcr滤网的一侧与vcr接头的侧壁紧密贴合。
4、通过采用上述技术方
5、在进一步的实施例中，所述vcr滤网通过限位装置设置在所述vcr外环的内部，所述限位装置包括第一套筒和第二套筒，所述第一套筒固定安装在所述vcr外环的内部，所述第二套筒将vcr滤网压紧在所述第一套筒的侧壁上，所述第一套筒和所述第二套筒用于压紧vcr滤网避免vcr滤网受冲击时形变。
6、通过采用上述技术方案，增加的第一套筒和第二套筒进一步地将vcr滤网的周缘压紧，避免了vcr滤网受到冲击时发生形变导致的vcr滤网边缘出现间隙导致泄漏的问题，该设置使得vcr滤网的安装更加牢固，不仅能达到高压下工作，并能保持该垫片原有的表面光洁度，以便保证其在半导体行业中使用要求，vcr滤网最高过滤精度可达到0.3微米。
7、在进一步的实施例中，所述第一套筒和所述第二套筒的外壁上均设置有用于安置密封环的环形槽，所述环形槽内设置有多个密封环，所述第一套筒和所述第二套筒的外壁上设置有台阶面，所述第一套筒和所述第二套筒上套设有第五密封圈，所述第五密封圈与第一套筒和第二套筒的台阶面紧密贴合。
8、在进一步的实施例中，所述vcr接头的外壁上设置有容置环和快接件，所述容置环内设置有第六密封圈。
9、在进一步的实施例中，所述vcr接头上套设有连接套筒，所述连接套筒的一端延伸至所述vcr外环的内部与vcr外环的内壁紧密贴合。
10、在进一步的实施例中，所述连接套筒上套设有第七密封圈。
11、综上所述，本技术具有以下有益效果：
12、1.通过第一密封圈、第二密封圈和第三密封圈与vcr接头和vcr外环的相互配合将vcr滤网压紧在接口连接处在不发生松动和vcr滤网破损的情况下，vcr滤网均不会脱离工作位置不会发生变形出现间隙，保障了vcr滤网在高强度下的工作寿命的效果；
13、2.通过增加的第一套筒和第二套筒进一步地将vcr滤网的周缘压紧，避免了vcr滤网受到冲击时发生形变导致的vcr滤网边缘出现间隙导致泄漏的问题，该设置使得vcr滤网的安装更加牢固，不仅能达到高压下工作，并能保持该垫片原有的表面光洁度，以便保证其在半导体行业中使用要求，vcr滤网最高过滤精度可达到0.3微米的效果。
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1.一种VCR气体过滤垫片密封接合装置，包括VCR外环(1)、设置在VCR外环(1)内部的VCR滤网(2)和插接在VCR外环(1)内的VCR接头(3)，所述VCR滤网(2)用于过滤从VCR外环(1)流入至VCR接头(3)内的气体，其特征在于：所述VCR外环(1)与VCR接头(3)连接的一端内侧壁设置有第一密封圈(4)，所述VCR滤网(2)的两端分别设置有第二密封圈(5)和第三密封圈(6)，所述第二密封圈(5)远离VCR滤网(2)的一侧与VCR外环(1)的内壁紧密贴合，所述第三密封圈(6)远离VCR滤网(2)的一侧与VCR接头(3)的侧壁紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的一种VCR气体过滤垫片密封接合装置，其特征在于：所述VCR滤网(2)通过限位装置设置在所述VCR外环(1)的内部，所述限位装置包括第一套筒(7)和第二套筒(8)，所述第一套筒(7)固定安装在所述VCR外环(1)的内部，所述第二套筒(8)将VCR滤网(2)压紧在所述第一套筒(7)的侧壁上，所述第一套筒(7)和所述第二套筒(8)用于压紧VCR滤网(2)避免VCR滤网(2)受冲击时形变。
3.根
4.根据权利要求1所述的一种VCR气体过滤垫片密封接合装置，其特征在于：所述VCR接头(3)的外壁上设置有容置环和快接件，所述容置环内设置有第六密封圈(11)。
5.根据权利要求1所述的一种VCR气体过滤垫片密封接合装置，其特征在于：所述VCR接头(3)上套设有连接套筒，所述连接套筒的一端延伸至所述VCR外环(1)的内部与VCR外环(1)的内壁紧密贴合。
6.根据权利要求5所述的一种VCR气体过滤垫片密封接合装置，其特征在于：所述连接套筒上套设有第七密封圈(12)。
...【技术特征摘要】
1.一种vcr气体过滤垫片密封接合装置，包括vcr外环(1)、设置在vcr外环(1)内部的vcr滤网(2)和插接在vcr外环(1)内的vcr接头(3)，所述vcr滤网(2)用于过滤从vcr外环(1)流入至vcr接头(3)内的气体，其特征在于：所述vcr外环(1)与vcr接头(3)连接的一端内侧壁设置有第一密封圈(4)，所述vcr滤网(2)的两端分别设置有第二密封圈(5)和第三密封圈(6)，所述第二密封圈(5)远离vcr滤网(2)的一侧与vcr外环(1)的内壁紧密贴合，所述第三密封圈(6)远离vcr滤网(2)的一侧与vcr接头(3)的侧壁紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的一种vcr气体过滤垫片密封接合装置，其特征在于：所述vcr滤网(2)通过限位装置设置在所述vcr外环(1)的内部，所述限位装置包括第一套筒(7)和第二套筒(8)，所述第一套筒(7)固定安装在所述vcr外环(1)的内部，所述第二套筒(8)将vcr滤网(2)压紧在所述第一套筒(7)的侧壁上，所述第一套筒(7)和所述第二套筒(8)用于压紧vcr滤网(2)避免...
【专利技术属性】
技术研发人员：李平，张华生，张琳，
申请(专利权)人：上海界宏机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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