【技术实现步骤摘要】
本申请涉及显微测量仪器，具体涉及一种显微测量仪器及其吸附定位装置。
技术介绍
1、使用显微镜测量样品的时候，为了固定样品(例如片状样品)的位置，会使用吸附平台，一般情况下，吸附平台会安装于运动平台上，并且能够在运动平台的控制下水平移动。测量之前，需要对样品进行定位以实现对齐，例如，针对矩形样品，对齐可以是指矩形样品相邻的两个边缘分别与运动平台的x轴和y轴平行，有利于我们测量的时候沿着特定的方向移动样品。然而，目前的大部分吸附平台只有吸附功能，无法对样品的位置和姿态进行限定，会发生样品摆放不平或者检测过程中移位的现象，从而影响检测结果的准确性。特别是针对显微测量仪器这种高精度的测量设备，更是需要降低这部分带来的影响。
技术实现思路
1、本申请提供一种显微测量仪器及其吸附定位装置，便于对样品的位置进行限定和固定，有助于保证检测结果的准确性。
2、根据本申请的一方面，一种实施例中提供一种显微测量仪器的吸附定位装置，包括：
3、支撑组件，所述支撑组件用于放置样品；所述支撑组件设置于运动平台上，所述支撑组件能够跟随所述运动平台沿第一方向和/或第二方向运动；以及
4、多个定位件，多个所述定位件设置于所述支撑组件上，用于固定所述样品；至少三个所述定位件不共线设置，以使至少两个所述定位件沿所述第一方向间隔设置，用于限定所述样品在所述第二方向上的位置，至少一个所述定位件用于限定所述样品在所述第一方向上的位置；
5、其中，至少一个所述定位件可相对所述支撑
6、在可选的实施例中，所述显微测量仪器还包括调节组件，所述调节组件设置于所述支撑组件上，所述调节组件用于调节所述定位件的位置；所述调节组件包括转轴和活动件，所述转轴设置于所述支撑组件上，且沿第三方向延伸，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直；所述定位件固定设置于所述活动件的一端，所述活动件能够绕所述转轴相对所述支撑组件转动，以同步带动所述定位件绕所述转轴相对所述支撑组件转动。
7、在可选的实施例中，所述调节组件还包括限位件和弹性件，所述活动件上设有贯通槽，所述限位件穿过所述贯通槽和所述支撑组件连接，且所述活动件能够相对所述限位件活动，所述弹性件设置于所述活动件和所述支撑组件之间。
8、在可选的实施例中，所述支撑组件上设有活动凹槽，所述活动凹槽包括相互连通的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二凹槽沿所述第三方向延伸，所述转轴设置于所述第一凹槽内，所述活动件具有连接部和固定部，所述固定部活动设置于所述第二凹槽内，所述定位件设置于所述固定部的一端，所述连接部的一端与所述转轴活动连接，另一端从所述第一凹槽延伸至所述第二凹槽并与所述固定部连接。
9、在可选的实施例中，所述调节组件还包括摩擦片、第一固定件和第二固定件，所述摩擦片设置于所述活动件上，且与所述定位件设置于所述活动件相对的两个端面上，所述第一固定件用于将所述摩擦片固定于所述支撑组件，所述第二固定件用于将所述摩擦片固定于所述活动件；所述摩擦片上设有活动槽，所述活动槽具有一开口，所述第二固定件活动穿设于所述活动槽内。
10、在可选的实施例中，所述支撑组件内设有吸附通道，所述支撑组件上设有吸附结构，所述吸附结构用于吸附固定所述样品，所述吸附结构通过所述吸附通道与真空吸附装置连通。
11、在可选的实施例中，所述吸附结构和所述吸附通道均设有至少一个，所述吸附结构和所述吸附通道一一对应地连通；所述支撑组件上还设有切换按钮，所述切换按钮用于控制所述吸附通道的通断。
12、在可选的实施例中，所述吸附结构包括至少一个吸附孔和至少一个吸附槽，所述吸附槽环绕所述吸附孔设置，并与所述吸附孔连通。
13、在可选的实施例中，所述支撑组件包括承载台和支撑座，所述支撑座设置于所述运动平台上，所述承载台设置于所述支撑座上，所述定位件设置于所述承载台；所述支撑座包括第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板、第三固定件和第四固定件，所述第一侧板和所述第三侧板相对设置，且均沿所述第一方向延伸，所述第二侧板和所述第四侧板相对设置，且均沿所述第二方向延伸，所述第一侧板和所述第三侧板的两端均沿第三方向凹陷以形成第一装配面，所述第三方向和所述第一方向和所述第二方向相互垂直，所述第二侧板和第四侧板的两端均沿所述第二方向凸出以形成第二装配面，所述第一装配面和所述第二装配面抵接，所述第三固定件沿所述第一方向延伸，所述第四固定件沿所述第三方向延伸，用于固定所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板和所述第四侧板。
14、根据本申请的一方面，一种实施例中提供一种显微测量仪器，包括运动平台以及如上所述的吸附定位装置，所述吸附定位装置设置于所述运动平台上，且能够跟随所述运动平台在第一方向和/或第二方向上运动。
15、依据上述实施例的显微测量仪器的吸附定位装置，该吸附定位装置包括支撑组件和多个定位件，支撑组件能够跟随运动平台运动，至少三个定位件不共线设置，以使至少两个定位件沿第一方向间隔设置，用于限定样品在第二方向上的位置，至少一个定位件用于限定样品在第一方向上的位置。通过多个定位件对样品进行全方位的限位和固定，使得样品安装精准，也能够避免样品在检测过程中移位，从而提升了检测结果的准确性。由于至少一个定位件可以相对支撑组件转动，能够规避上述加工误差或者装配误差对样品运动轨迹的影响，使得样品能够精准的移动到位，以提升检测结果的准确性。
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1.一种显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述显微测量仪器还包括调节组件，所述调节组件设置于所述支撑组件上，所述调节组件用于调节所述定位件的位置；所述调节组件包括转轴和活动件，所述转轴设置于所述支撑组件上，且沿第三方向延伸，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直；所述定位件固定设置于所述活动件的一端，所述活动件能够绕所述转轴相对所述支撑组件转动，以同步带动所述定位件绕所述转轴相对所述支撑组件转动。
3.根据权利要求2所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述调节组件还包括限位件和弹性件，所述活动件上设有贯通槽，所述限位件穿过所述贯通槽和所述支撑组件连接，且所述活动件能够相对所述限位件活动，所述弹性件设置于所述活动件和所述支撑组件之间。
4.根据权利要求2所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述支撑组件上设有活动凹槽，所述活动凹槽包括相互连通的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二凹槽沿所述第三方向延伸，所述
5.根据权利要求2所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述调节组件还包括摩擦片、第一固定件和第二固定件，所述摩擦片设置于所述活动件上，且与所述定位件设置于所述活动件相对的两个端面上，所述第一固定件用于将所述摩擦片固定于所述支撑组件，所述第二固定件用于将所述摩擦片固定于所述活动件；所述摩擦片上设有活动槽，所述活动槽具有一开口，所述第二固定件活动穿设于所述活动槽内。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述支撑组件内设有吸附通道，所述支撑组件上设有吸附结构，所述吸附结构用于吸附固定所述样品，所述吸附结构通过所述吸附通道与真空吸附装置连通。
7.根据权利要求6所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述吸附结构和所述吸附通道均设有至少一个，所述吸附结构和所述吸附通道一一对应地连通；所述支撑组件上还设有切换按钮，所述切换按钮用于控制所述吸附通道的通断。
8.根据权利要求7所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述吸附结构包括至少一个吸附孔和至少一个吸附槽，所述吸附槽环绕所述吸附孔设置，并与所述吸附孔连通。
9.根据权利要求1所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述支撑组件包括承载台和支撑座，所述支撑座设置于所述运动平台上，所述承载台设置于所述支撑座上，所述定位件设置于所述承载台；所述支撑座包括第一侧板、第二侧板、第三侧板、第四侧板、第三固定件和第四固定件，所述第一侧板和所述第三侧板相对设置，且均沿所述第一方向延伸，所述第二侧板和所述第四侧板相对设置，且均沿所述第二方向延伸，所述第一侧板和所述第三侧板的两端均沿第三方向凹陷以形成第一装配面，所述第三方向和所述第一方向和所述第二方向相互垂直，所述第二侧板和第四侧板的两端均沿所述第二方向凸出以形成第二装配面，所述第一装配面和所述第二装配面抵接，所述第三固定件沿所述第一方向延伸，所述第四固定件沿所述第三方向延伸，用于固定所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板和所述第四侧板。
10.一种显微测量仪器，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述显微测量仪器还包括调节组件，所述调节组件设置于所述支撑组件上，所述调节组件用于调节所述定位件的位置；所述调节组件包括转轴和活动件，所述转轴设置于所述支撑组件上，且沿第三方向延伸，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直；所述定位件固定设置于所述活动件的一端，所述活动件能够绕所述转轴相对所述支撑组件转动，以同步带动所述定位件绕所述转轴相对所述支撑组件转动。
3.根据权利要求2所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述调节组件还包括限位件和弹性件，所述活动件上设有贯通槽，所述限位件穿过所述贯通槽和所述支撑组件连接，且所述活动件能够相对所述限位件活动，所述弹性件设置于所述活动件和所述支撑组件之间。
4.根据权利要求2所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述支撑组件上设有活动凹槽，所述活动凹槽包括相互连通的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二凹槽沿所述第三方向延伸，所述转轴设置于所述第一凹槽内，所述活动件具有连接部和固定部，所述固定部活动设置于所述第二凹槽内，所述定位件设置于所述固定部的一端，所述连接部的一端与所述转轴活动连接，另一端从所述第一凹槽延伸至所述第二凹槽并与所述固定部连接。
5.根据权利要求2所述的显微测量仪器的吸附定位装置，其特征在于，所述调节组件还包括摩擦片、第一固定件和第二固定件，所述摩擦片设置于所述活动件上，且与所述定位件设置于所述活动件相对的两个端面上，所述第一固定件用于将所述摩擦片固定于所述支撑组件，所述第二固定件用于将所述摩擦片固定于所述活动件；所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟上贵，张琥杰，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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