【技术实现步骤摘要】
本申请涉及多晶硅，特别是涉及一种多晶还原启动装置和微波电源加热系统。
技术介绍
1、现有技术中多晶还原启动主要有两种方式：一种采用高压电对硅芯进行击穿启动；另一种采用电阻先将硅芯进行加热，然后采用相对低的电压对硅芯进行击穿启动。采用高压启动，过高的电压很容易在还原炉内出现放电打火现象，并且，过高的电压会将硅芯底部电极外侧的绝缘件击穿，影响设备的安全运行；采用电阻加热低压启动，加热的过程中，电辐射加热器自身的材料或附带的杂质等会挥发到还原炉中，影响生成的多晶硅的纯度，并且，多晶硅会附着在加热器上，影响加热器的使用寿命，提高设备运行成本。
2、因此，如何保证设备的运行安全，避免影响生成的多晶硅的纯度是本领域技术人员所需要解决的问题。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种多晶还原启动装置和微波电源加热系统，用于解决以下问题：过高的电压会将硅芯底部电极外侧的绝缘件击穿，影响设备的安全运行；采用电阻加热低压启动，加热的过程中，电辐射加热器自身的材料或附带的杂质等会挥发到还原炉中，影响生成的多晶硅的纯度。
2、为解决上述技术问题，本申请提供一种多晶还原启动装置，应用于多晶还原炉，所述多晶还原炉包括可拆卸连接的还原炉底座和钟罩，多晶还原启动装置包括：微波传输装置和至少一个微波馈能装置，所述微波馈能装置的尾部与所述微波传输装置连接，所述微波传输装置用于连接微波发射装置，所述微波馈能装置安装于所述钟罩的表面，所述微波馈能装置用于将微波能量导入所述多晶还原炉内部给硅芯加热。
3、可选的，所述钟罩由内到外依次包括内层和保温层，所述微波馈能装置的头部与所述内层焊接。
4、可选的，所述微波馈能装置的个数为一个，一个所述微波馈能装置位于所述硅芯的高度方向的中部。
5、可选的，所述微波馈能装置的个数为多个，多个所述微波馈能装置围绕所述钟罩的周面间隔设置。
6、可选的，多个所述微波馈能装置沿所述钟罩的高度方向间隔设置。
7、可选的，多个所述微波馈能装置在所述硅芯的高度方向上均匀分布。
8、可选的，多对硅芯围绕所述还原炉底座的中心呈圆周排布。
9、可选的，还包括多晶硅还原电源，所述多晶硅还原电源与所述还原炉底座上设置的电极连接，所述多晶硅还原电源用于为所述硅芯提供电压，以对所述硅芯进行击穿启动。
10、本申请还提供一种微波电源加热系统，包括：上述的多晶还原启动装置、微波电源装置和微波发射装置；
11、所述多晶还原启动装置包括微波传输装置和至少一个微波馈能装置，所述微波传输装置分别连接所述微波馈能装置和所述微波发射装置，所述微波电源装置和所述微波发射装置连接。
12、可选的，多晶还原炉和所述微波馈能装置设于还原大厅，所述微波电源装置和所述微波发射装置设于还原配电大厅。
13、本申请所提供的一种多晶还原启动装置，应用于多晶还原炉，多晶还原炉包括可拆卸连接的还原炉底座和钟罩，多晶还原启动装置包括：微波传输装置和至少一个微波馈能装置，微波馈能装置的尾部与微波传输装置连接，微波传输装置用于连接微波发射装置，微波馈能装置安装于钟罩的表面，微波馈能装置用于将微波能量导入多晶还原炉内部给硅芯加热。通过微波馈能装置将微波能量导入还原炉内部给硅芯加热，能够降低硅芯的阻值，后续采用较低电压便可对硅芯进行击穿启动，微波加热可以低压启动，不会在还原炉内出现放电打火现象，避免破坏还原炉底部的绝缘件，能够保证设备的安全运行；且微波加热不会有其他材料或杂质进入还原炉内部，避免污染还原炉环境和避免降低生成的多晶硅的纯度。
14、此外，将微波馈能装置安装于钟罩的表面，而不是安装在还原炉底座，主要是考虑到若将微波馈能装置安装在还原炉底座上，钟罩内的粉尘沉积至钟罩底部，会对微波馈能装置的微波加热产生影响。
15、本申请所提供的一种微波电源加热系统，包括上述的多晶还原启动装置，效果如上。
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1.一种多晶还原启动装置，应用于多晶还原炉，所述多晶还原炉包括可拆卸连接的还原炉底座（1）和钟罩（2），其特征在于，包括：微波传输装置（4）和至少一个微波馈能装置（3），所述微波馈能装置（3）的尾部与所述微波传输装置（4）连接，所述微波传输装置（4）用于连接微波发射装置（6），所述微波馈能装置（3）安装于所述钟罩（2）的表面，所述微波馈能装置（3）用于将微波能量导入所述多晶还原炉内部给硅芯（5）加热。
2.根据权利要求1所述的多晶还原启动装置，其特征在于，所述钟罩（2）由内到外依次包括内层和保温层，所述微波馈能装置（3）的头部与所述内层焊接。
3.根据权利要求2所述的多晶还原启动装置，其特征在于，所述微波馈能装置（3）的个数为一个，一个所述微波馈能装置（3）位于所述硅芯（5）的高度方向的中部。
4.根据权利要求2所述的多晶还原启动装置，其特征在于，所述微波馈能装置（3）的个数为多个，多个所述微波馈能装置（3）围绕所述钟罩（2）的周面间隔设置。
5.根据权利要求4所述的多晶还原启动装置，其特征在于，多个所述微波馈能装置（3）沿所述钟罩
6.根据权利要求5所述的多晶还原启动装置，其特征在于，多个所述微波馈能装置（3）在所述硅芯（5）的高度方向上均匀分布。
7.根据权利要求1所述的多晶还原启动装置，其特征在于，多对硅芯（5）围绕所述还原炉底座（1）的中心呈圆周排布。
8.根据权利要求1至7任一项所述的多晶还原启动装置，其特征在于，还包括多晶硅还原电源，所述多晶硅还原电源与所述还原炉底座（1）上设置的电极连接，所述多晶硅还原电源用于为所述硅芯（5）提供电压，以对所述硅芯（5）进行击穿启动。
9.一种微波电源加热系统，其特征在于，包括：权利要求1至8任一所述的多晶还原启动装置、微波电源装置（7）和微波发射装置（6）；
10.根据权利要求9所述的微波电源加热系统，其特征在于，多晶还原炉和所述微波馈能装置（3）设于还原大厅，所述微波电源装置（7）和所述微波发射装置（6）设于还原配电大厅。
...【技术特征摘要】
1.一种多晶还原启动装置，应用于多晶还原炉，所述多晶还原炉包括可拆卸连接的还原炉底座（1）和钟罩（2），其特征在于，包括：微波传输装置（4）和至少一个微波馈能装置（3），所述微波馈能装置（3）的尾部与所述微波传输装置（4）连接，所述微波传输装置（4）用于连接微波发射装置（6），所述微波馈能装置（3）安装于所述钟罩（2）的表面，所述微波馈能装置（3）用于将微波能量导入所述多晶还原炉内部给硅芯（5）加热。
2.根据权利要求1所述的多晶还原启动装置，其特征在于，所述钟罩（2）由内到外依次包括内层和保温层，所述微波馈能装置（3）的头部与所述内层焊接。
3.根据权利要求2所述的多晶还原启动装置，其特征在于，所述微波馈能装置（3）的个数为一个，一个所述微波馈能装置（3）位于所述硅芯（5）的高度方向的中部。
4.根据权利要求2所述的多晶还原启动装置，其特征在于，所述微波馈能装置（3）的个数为多个，多个所述微波馈能装置（3）围绕所述钟罩（2）的周面间隔设置。
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘华友，
申请(专利权)人：重庆大全泰来电气有限公司，
类型：新型
国别省市：
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