【技术实现步骤摘要】
本申请涉及单晶炉领域，具体而言，涉及一种单晶炉循环水冷装置。
技术介绍
1、单晶炉是将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉的使用，涉及到对物料进行冷却的循环水冷装置，单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、现有的单晶炉水冷装置，水冷装置的整体高度大多固定，调整起来较为不便，单晶炉中水冷装置的使用，随着坩埚中液位面的浮动，为保证更好的冷却效果，需要对水冷装置的高度进行调节，如何根据液位面的整体高度来实现水冷装置的快速调整成了亟待解决的问题，因此需要一种单晶炉循环水冷装置来辅助解决这一问题。
技术实现思路
1、本申请的内容部分用于以简要的形式介绍构思，这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本申请的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。
2、为了解决以上
技术介绍
部分提到的技术问题，本申请的一些实施例提供了一种单晶炉循环水冷装置，包括基座，所述基座顶部处承接安装有单晶炉本体，所述单晶炉本体内部开设有加工腔，所述加工腔内转动设置有承接台，所述承接台顶部处承接安装有坩埚，所述基座上安装有带动承接台转动的转动电机，所述单晶炉本体的顶部处设置有延伸炉，所述延伸炉顶部处搭接安装有上炉膛，所述延伸炉内部开设有空腔，空腔内安装有冷却水圈，所述延伸炉的空腔内壁上对称开设有调节腔，调节腔内安装有辅助冷却水圈
3、所述调高组件包括垂直转动设置在调节腔内的丝杆，所述丝杆的顶部处突出设置有第一锥齿轮，所述延伸炉的外侧边上安装有带动丝杆转动的调高电机，所述调高电机的机轴前端安装有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮之间啮合传动，所述冷却水圈的外侧边上突出设置有突出块，所述突出块套设安装在所述丝杆上，所述丝杆与突出块之间螺纹配合。
4、进一步地，所述上炉膛底部外缘处突出设置有啮合齿轮，所述啮合齿轮上对称突出设置有卡接块，所述延伸炉顶部处开设有供上炉膛承接的承接槽。
5、进一步地，所述承接槽内对称开设有穿设槽，所述承接槽的内侧边上开设有弧形的压覆槽，所述穿设槽与所述压覆槽连通，所述卡接块与所述穿设槽和压覆槽卡接。
6、进一步地，所述延伸炉的外侧边上突出设置有突出板，所述突出板处安装有辅助啮合齿轮转动的定位组件。
7、进一步地，所述定位组件包括安装在突出板顶部处的定位电机，所述定位电机的机轴前端安装有第一传动齿轮，所述突出板内部转动设置有第二传动齿轮，所述第二传动齿轮与所述第一传动齿轮之间啮合传动，所述第二传动齿轮与所述啮合齿轮之间配合卡接。
8、进一步地，所述基座顶部处安装有辅助单晶硅拉起的升降组件，所述升降组件包括转动嵌设安装在所述上炉膛内部的蜗轮，所述蜗轮的中段处套设固定有调节套筒，所述调节套筒上穿设安装有升降杆，所述调节套筒与所述升降杆之间螺纹配合，所述上炉膛的外侧边上安装有升降电机，所述升降电机的机轴前端安装有蜗杆，所述蜗杆与所述蜗轮之间配合传动。
9、进一步地，所述升降杆的外侧边自上而下垂直开设限位槽，所述上炉膛内部突出设置有限位块，所述限位槽与所述限位块之间配合卡接。
10、进一步地，所述单晶炉本体安装有进料管，所述进料管的出料口位于所述坩埚的正上方。
11、本申请的有益效果在于：提供了一种单晶炉循环水冷装置，通过设置的调高组件，第一锥齿轮与第二锥齿轮之间啮合传动，从而使第一锥齿轮整体转动，并带动丝杆整体转动，丝杆与突出块之间螺纹配合，从而使突出块的位置进行调整，进而对冷却水圈的整体高度进行调整，从而在工作过程中能根据熔融状态液位面的整体高度不同将冷却水圈快速调整到对应的位置处，尽量避免出现冷却水圈整体调整不便等情况；
12、通过设置的穿设槽、压覆槽、定位组件以及卡接块和啮合齿轮等之间的配合，启动定位电机，定位电机带动第一传动齿轮整体转动，第一传动齿轮与第二传动齿轮之间啮合传动，第二传动齿轮与啮合齿轮之间啮合传动，从而使上炉膛整体转动，可以在工作时能快速实现上炉膛的整体拆卸以及后续的吊装处理，尽量避免出现上炉膛与延伸炉之间拆卸不便等问题，保证后续工作顺利进行。
13、通过设置的升降组件，升降电机带动蜗杆整体转动，蜗杆与蜗轮之间配合传动，从而使蜗轮转动，进而带动调节套筒整体转动，调节套筒与升降杆之间螺纹配合，从而使升降杆的整体高度进行调整，在升降杆升降的过程中带动单晶硅整体上升，保证单晶硅柱整体能稳定上升。
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1.一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：包括基座(1)，所述基座(1)顶部处承接安装有单晶炉本体(3)，所述单晶炉本体(3)内部开设有加工腔，所述加工腔内转动设置有承接台(17)，
2.根据权利要求1所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述调高组件(12)包括垂直转动设置在调节腔内的丝杆(13)，所述丝杆(13)的顶部处突出设置有第一锥齿轮(131)，所述延伸炉(4)的外侧边上安装有带动丝杆(13)转动的调高电机(14)，所述调高电机(14)的机轴前端安装有第二锥齿轮(141)，所述第一锥齿轮(131)与所述第二锥齿轮(141)之间啮合传动，所述冷却水圈(15)的外侧边上突出设置有突出块，所述突出块套设安装在所述丝杆(13)上，所述丝杆(13)与突出块之间螺纹配合；
3.根据权利要求2所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述承接槽内对称开设有穿设槽(41)，所述承接槽的内侧边上开设有弧形的压覆槽(42)，所述穿设槽(41)与所述压覆槽(42)连通，所述卡接块(51)与所述穿设槽(41)和压覆槽(42)卡接。
4.根据权利要求3所述的单晶炉循
5.根据权利要求4所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述定位组件(44)包括安装在突出板(43)顶部处的定位电机(441)，所述定位电机(441)的机轴前端安装有第一传动齿轮(442)，所述突出板(43)内部转动设置有第二传动齿轮(443)，所述第二传动齿轮(443)与所述第一传动齿轮(442)之间啮合传动，所述第二传动齿轮(443)与所述啮合齿轮(52)之间配合卡接。
6.根据权利要求1所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述基座(1)顶部处安装有辅助单晶硅拉起的升降组件(6)，所述升降组件(6)包括转动嵌设安装在所述上炉膛(5)内部的蜗轮(9)，所述蜗轮(9)的中段处套设固定有调节套筒(10)，所述调节套筒(10)上穿设安装有升降杆(11)，所述调节套筒(10)与所述升降杆(11)之间螺纹配合，所述上炉膛(5)的外侧边上安装有升降电机(7)，所述升降电机(7)的机轴前端安装有蜗杆(8)，所述蜗杆(8)与所述蜗轮(9)之间配合传动。
7.根据权利要求6所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述升降杆(11)的外侧边自上而下垂直开设限位槽(111)，所述上炉膛(5)内部突出设置有限位块(112)，所述限位槽(111)与所述限位块(112)之间配合卡接。
8.根据权利要求1所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述单晶炉本体(3)安装有进料管(151)，所述进料管(151)的出料口位于所述坩埚(16)的正上方。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉循环水冷装置，其特征在于：包括基座(1)，所述基座(1)顶部处承接安装有单晶炉本体(3)，所述单晶炉本体(3)内部开设有加工腔，所述加工腔内转动设置有承接台(17)，
2.根据权利要求1所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述调高组件(12)包括垂直转动设置在调节腔内的丝杆(13)，所述丝杆(13)的顶部处突出设置有第一锥齿轮(131)，所述延伸炉(4)的外侧边上安装有带动丝杆(13)转动的调高电机(14)，所述调高电机(14)的机轴前端安装有第二锥齿轮(141)，所述第一锥齿轮(131)与所述第二锥齿轮(141)之间啮合传动，所述冷却水圈(15)的外侧边上突出设置有突出块，所述突出块套设安装在所述丝杆(13)上，所述丝杆(13)与突出块之间螺纹配合；
3.根据权利要求2所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述承接槽内对称开设有穿设槽(41)，所述承接槽的内侧边上开设有弧形的压覆槽(42)，所述穿设槽(41)与所述压覆槽(42)连通，所述卡接块(51)与所述穿设槽(41)和压覆槽(42)卡接。
4.根据权利要求3所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所
5.根据权利要求4所述的单晶炉循环水冷装置，其特征在于：所述定位组件(44)包括安装在突出板(43)顶部处的定位电机(...
【专利技术属性】
技术研发人员：颜永波，郑春兰，
申请(专利权)人：杭州蓬博精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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