一种半导体行业用PFA静电耗散管制造技术

本技术属于半导体技术领域，具体公开了一种半导体行业用PFA静电耗散管，包括PFA管和导电PFA条带，所述导电PFA条带沿PFA管轴向以单股或多股弹簧式螺旋缠绕在PFA管的外壁或以双股相向交叉式螺旋缠绕在PFA管的外壁。本技术的PFA静电耗散管，导电PFA条带的存在使静电可以及时消除，避免了静电的积聚及其在半导体制程中的危害；导电PFA条带沿PFA管轴向以单股或多股弹簧式螺旋缠绕或双股相向交叉式螺旋缠绕在PFA管外壁，有利于提高导电PFA条带与管壁的分离难度，从而不易失效。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体，具体涉及一种半导体行业用pfa静电耗散管。

技术介绍

1、超净高纯试剂是半导体行业中常用的化学试剂，是集成电路(ic)和超大规模集成电路(vlsi)制造过程中的关键性基础化工材料之一，其主要包括盐酸、丙酮、超纯水、异丙醇等，其主体成分纯度一般大于99.99％。在半导体生产过程中，超净高纯化学试剂广泛用于清洗、氧化、腐蚀等工序，其纯净度对半导体元器件和集成电路的成品率、电性能和可靠性等起着举足轻重的作用。

2、超净高纯试剂的储运输送一直是半导体行业的痛点。为维持超净高纯试剂的高纯净度，要求储运器件材料具备相当的化学惰性和低化学离子含量。热塑性氟塑料以其优异的耐热性、耐化学药品性、耐候性、不黏性、低摩擦因数、电气特性和易加工性被广泛应用于电子半导体领域。其中，pfa(可溶性聚四氟乙烯)具有惰性、低离子含量和耐高温性等特性，被广泛应用于半导体行业超净高纯试剂的输送，以保证产品质量和生产效率。pfa管可以承受许多高粘度、高纯度的化学试剂，不易受其影响而产生反应、溶解或污染，从而保持试剂本身的优质性质和稳定性。同时，pfa管材质的热膨胀系数也适中，可以抵抗温度变化和压力波动等外在因素，从而保证输送的稳定性和安全性。由于pfa管具有惰性、低离子含量和耐高温性等特性，被广泛应用于半导体行业超净高纯试剂的输送，以保证产品质量和生产效率。然而，进一步的研究发现，超净高纯试剂在储运输送过程中极易产生静电，即使采用现有的pfa管，这一现象也无法消除。

3、为避免静电对半导体制程过程产生损害，非常有必要开发一种可以消除静电的半导体行业用pfa静电耗散管。

技术实现思路

1、本技术的目的在于克服现有技术存在的不足之处，提供一种半导体行业用pfa静电耗散管。

2、为实现以上目的，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种半导体行业用pfa静电耗散管，包括pfa管和导电pfa条带，所述导电pfa条带沿pfa管轴向以单股或多股弹簧式螺旋缠绕在pfa管的外壁或以双股相向交叉式螺旋缠绕在pfa管的外壁。

4、在本技术的一个优选实施方案中，所述导电pfa条带的外表面与pfa管的外壁相齐。

5、在本技术的一个优选实施方案中，所述弹簧式缠绕或者双股相向交叉式缠绕的螺旋升角为30°-60°，优选为45°。

6、在本技术的一个优选实施方案中，所述pfa管的外径为1/8～1英寸，管壁厚度为1.1～1.7mm。

7、在本技术的一个优选实施方案中，所述导电pfa条带的宽度为0.5-5mm，厚度为pfa管壁厚度的1/6～1/2。

8、在本技术的一个优选实施方案中，所述导电pfa条带为填充了导电炭黑的pfa树脂。

9、在本技术的一个优选实施方案中，所述pfa管和导电pfa条带共挤出一体成型。

10、本技术方案与
技术介绍
相比，它具有如下优点：

11、1.本技术的pfa静电耗散管，导电pfa条带的存在使静电可以及时消除，避免了静电的积聚及其在半导体制程中的危害；

12、2.本技术的导电pfa条带沿pfa管轴向以单股或多股弹簧式螺旋缠绕或双股相向交叉式螺旋缠绕在pfa管外壁，有利于提高导电pfa条带与管壁的分离难度，从而不易失效。

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【技术保护点】

1.一种半导体行业用PFA静电耗散管，其特征在于，包括PFA管和导电PFA条带，所述导电PFA条带沿PFA管轴向以单股或多股弹簧式螺旋缠绕在PFA管的外壁或以双股相向交叉式螺旋缠绕在PFA管的外壁。

2.如权利要求1所述的PFA静电耗散管，其特征在于，所述导电PFA条带的外表面与PFA管的外壁相齐。

3.如权利要求1所述的PFA静电耗散管，其特征在于，所述弹簧式缠绕或者双股相向交叉式缠绕的螺旋升角为30°-60°。

4.如权利要求1所述的PFA静电耗散管，其特征在于，所述PFA管的外径为1/8～1英寸，管壁厚度为1.1～1.7mm。

5.如权利要求1所述的PFA静电耗散管，其特征在于，所述导电PFA条带的宽度为0.5-5mm，厚度为PFA管壁厚度的1/6～1/2。

6.如权利要求1所述的PFA静电耗散管，其特征在于，所述导电PFA条带为填充了导电炭黑的PFA树脂。

7.如权利要求1所述的PFA静电耗散管，其特征在于，所述PFA管和导电PFA条带共挤出一体成型。

【技术特征摘要】

1.一种半导体行业用pfa静电耗散管，其特征在于，包括pfa管和导电pfa条带，所述导电pfa条带沿pfa管轴向以单股或多股弹簧式螺旋缠绕在pfa管的外壁或以双股相向交叉式螺旋缠绕在pfa管的外壁。

2.如权利要求1所述的pfa静电耗散管，其特征在于，所述导电pfa条带的外表面与pfa管的外壁相齐。

3.如权利要求1所述的pfa静电耗散管，其特征在于，所述弹簧式缠绕或者双股相向交叉式缠绕的螺旋升角为30°-60°。

4.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：马传顺，赵国璋，邓华清，
申请(专利权)人：保视丽上海新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：