本申请公开了一种EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，包括：镀膜夹具、阴极挂架、安装夹具、管壳支承座；阴极窗安装于镀膜夹具内进行镀膜；阴极挂架通过安装夹具与阴极窗定位连接；阴极挂架及阴极窗再通过管壳支撑座上的Y型槽、内孔等与EBAPS管壳定位连接。采用该组夹具对齐定位后封接的EBAPS器件，能充分利用CMOS芯片的有效面积，光电阴极有效面完全覆盖CMOS芯片有效成像面。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及新型微光夜视成像，特别是一种ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具。
技术介绍
1、ebaps即电子轰击cmos芯片，是一种微光真空器件和半导体器件相结合的新型微光夜视成像器件。该器件用cmos芯片取代像增强管中的荧光屏，在高真空条件下通过外光电效用，利用光电阴极产生的光电子通过加速电场轰击cmos芯片表面产生电子空穴对，cmos芯片通过引线与ebaps外部的引脚相连，机芯再和ebaps引脚相连，通过读出电路获得低噪声、高分辨力的目标图像。
2、一般的，cmos芯片的有效成像面处于cmos芯片中间位置，小于cmos芯片表面，但cmos芯片的有效成像面中心与cmos芯片几何中心是不重合的，而cmos芯片几何中心与ebaps管壳的几何中心重合，即芯片的有效成像面中心与管壳几何中心不重合，两中心点在同一水平面上x、y方向均偏移一定距离。
3、为了尽可能提高ebaps的分辨力，需要减小光电阴极到cmos芯片表面的距离，一般将阴极窗结构设计为台阶结构，多碱光电阴极通过蒸镀方法生长在阴极窗小台阶面上，台阶面尺寸与cmos有效成像面尺寸基本相当或略小于cmos有效成像面尺寸。为了操作方便，目前比较常见的一种做法是损失一部分cmos有效像素区，将阴极有效区做成圆形，该圆内切于cmos芯片有效成像区。
4、众所周知，在外光电效应下和阴极高压的加速作用下，ebaps光电阴极产生的光电子轰击cmos芯片有效区产生电子空穴对成像，其中光电阴极有效区和芯片有效成像区重叠的部分为ebaps的成像区域。</p>5、所以，现有圆形阴极有效区方案不能充分利用cmos芯片的有效成像区域，ebaps器件成像时，只是在中心圆形内有输出图像，在cmos芯片有效成像区四周，由于没有电子轰击在该区域，没有输出图像，该四周形成黑框，极大影响成像质量和成像效果。
6、相反的，如图1所示，如果适当加大光电阴极3’的有效面，使光电阴极3’有效区的圆外接于设置于cmos芯片陶瓷基座4’内的cmos芯片的有效成像区，即光电阴极3’有效面完全覆盖cmos芯片有效面，由于cmos芯片通过金线与芯片陶瓷上的焊盘进行互联。
7、而金线最高点高于芯片表面约0.05~0.2mm，光电阴极有效面到金线的距离将小于光电阴极有效面到芯片表面的距离，这就导致ebaps工作时光电阴极和金线之间极易发生短路或放电，加大器件放电的风险。
8、此外，在其他条件不变的前提下，光电阴极有效面越大，阴极自身热发射产生的热噪声也越大，最终将影响ebaps器件的成像效果；而且如果光电阴极和cmos芯片的距离过近，光电阴极有效面过大，则阴极窗和芯片陶瓷基座有干涉的风险。
9、现有技术中缺乏制造ebaps时减少ebaps成像黑边区域面积的相关夹具。
10、公开于
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域普通技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
1、本申请针对上述技术问题提供了一种ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，
2、本申请提供了一种ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，包括：镀膜夹具、阴极挂架、安装夹具、管壳支承座；
3、光电阴极的阴极窗安装于镀膜夹具内；
4、阴极挂架通过安装夹具与阴极窗定位连接；阴极挂架及阴极窗再通过管壳支撑座上的y型槽、内孔等与ebaps管壳定位连接。
5、优选地，镀膜夹具包括：镀膜盘、盲孔、镀膜挡板、限位凸台；镀膜盘上间隔开设多个盲孔；盲孔下方设置镀膜挡板；镀膜挡板的底部通过连接杆与镀膜盘底部相连接；阴极窗容纳设置于盲孔内；限位凸台设置于镀膜挡板的一侧。
6、优选地，限位凸台成对设置。
7、优选地，阴极挂架包括：大孔、挂架座、挂钩、片簧、螺钉；挂架座顶面上设置大孔；挂架座圆柱面上的光孔与挂钩一端相连接；挂钩另一端与机械手拆卸连接；挂架座圆柱面上间隔设置多个螺纹孔；片簧、螺钉。
8、优选地，阴极挂架包括：多个片簧、多个螺钉；各螺纹孔上通过片簧、螺钉制紧容纳设置于挂架座内的阴极窗。
9、优选地，阴极挂架包括：挂架凸台；挂架凸台设置于挂架座外侧，阴极挂架和安装夹具通过挂架凸台定位。
10、优选地，安装夹具包括：圆柱块、内孔、矩形通槽、y型槽；圆柱块顶面上开设内孔；内孔中心区域凹陷设置矩形通槽；内孔侧壁上设置y型槽；阴极窗配合设置于内孔内；阴极窗矩形台阶定位容纳设置于矩形通槽内；y型槽与挂架凸台的定位连接。
11、优选地，管壳支承座包括：圆柱块、较大内孔、较小内孔、管壳凸台、缺口；圆柱块顶面上开设较大内孔、较小内孔；圆柱块顶面上间设置多个管壳凸台组，相邻管壳凸台组之间设置缺口；圆柱块中部凹陷设置竖直定位面；管壳凸台组内凸台间设置y型槽。
12、优选地，较大内孔与阴极挂架外圆配合定位；较小内孔与ebaps管壳阴极环配合定位。
13、本申请能产生的有益效果包括：
14、1）本申请所提供的ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，采用该组夹具所制ebaps器件，能充分利用cmos芯片的有效面积，光电阴极有效面完全覆盖cmos芯片有效成像面面，光电阴极有效面比cmos芯片有效成像面大约0.1mm~0.4mm，避免cmos芯片有效成像面部分区域出现“黑框”现象，完全利用cmos芯片有效面，同时减少光电阴极的有效面，有效降低ebaps工作时光电阴极和金线短路或放电的几率，同时降低ebaps器件的暗背景噪声。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，包括：镀膜夹具、阴极挂架、安装夹具、管壳支承座；
2.根据权利要求1所述的EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，镀膜夹具包括：镀膜盘、盲孔、镀膜挡板、限位凸台；镀膜盘上间隔开设多个盲孔；盲孔下方设置镀膜挡板；镀膜挡板的底部通过连接杆与镀膜盘底部相连接；阴极窗容纳设置于盲孔内；限位凸台设置于镀膜挡板的一侧。
3.根据权利要求2所述的EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，限位凸台成对设置。
4.根据权利要求1所述的EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，阴极挂架包括：大孔、挂架座、挂钩、片簧、螺钉；挂架座顶面上设置大孔；挂架座圆柱面上的光孔与挂钩一端相连接；挂钩另一端与机械手连接；挂架座圆柱面上间隔设置多个螺纹孔、片簧、螺钉。
5.根据权利要求4所述的EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，阴极挂架包括：多个片簧、多个螺钉；各螺纹孔上通过片簧、螺钉制紧容纳设置于挂架座内的阴极窗。
6.根据权利要求4所述的EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，阴极挂架包括：挂架凸台；挂架凸台设置于挂架座外侧，阴极挂架和安装夹具通过挂架凸台定位。
7.根据权利要求4所述的EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，安装夹具包括：圆柱块、内孔、矩形通槽、Y型槽；圆柱块顶面上开设内孔；内孔中心区域凹陷设置矩形通槽；内孔侧壁上设置Y型槽；阴极窗配合设置于内孔内；阴极窗矩形台阶定位容纳设置于矩形通槽内；Y型槽与挂架凸台的定位连接。
8.根据权利要求1所述的EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，管壳支承座包括：圆柱块、较大内孔、较小内孔、管壳凸台、缺口；圆柱块顶面上开设较大内孔、较小内孔；圆柱块顶面上间设置多个管壳凸台组，相邻管壳凸台组之间设置缺口；圆柱块中部凹陷设置竖直定位面；管壳凸台组内凸台间设置Y型槽。
9.根据权利要求8所述的EBAPS非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，较大内孔与阴极挂架外圆配合定位；较小内孔与EBAPS管壳阴极环配合定位。
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【技术特征摘要】
1.一种ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，包括：镀膜夹具、阴极挂架、安装夹具、管壳支承座；
2.根据权利要求1所述的ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，镀膜夹具包括：镀膜盘、盲孔、镀膜挡板、限位凸台；镀膜盘上间隔开设多个盲孔；盲孔下方设置镀膜挡板；镀膜挡板的底部通过连接杆与镀膜盘底部相连接；阴极窗容纳设置于盲孔内；限位凸台设置于镀膜挡板的一侧。
3.根据权利要求2所述的ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，限位凸台成对设置。
4.根据权利要求1所述的ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，阴极挂架包括：大孔、挂架座、挂钩、片簧、螺钉；挂架座顶面上设置大孔；挂架座圆柱面上的光孔与挂钩一端相连接；挂钩另一端与机械手连接；挂架座圆柱面上间隔设置多个螺纹孔、片簧、螺钉。
5.根据权利要求4所述的ebaps非对称矩形台阶阴极窗对齐定位装架夹具，其特征在于，阴极挂架包括：多个片簧、多个螺钉；各螺纹孔上通过片簧、螺钉制紧容纳设置于挂架座内的阴极窗...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓华兵，谭远航，胡栋文，刀丽纯，杨振，朱荣胜，孙菡敏，田莲娟，薛明海，宋林伟，周善堃，范怀云，董永发，阮健明，张俊，李清，
申请(专利权)人：北方夜视技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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