【技术实现步骤摘要】
本申请涉及深紫外光学领域，尤其涉及一种具有偏振选择功能的偏振分束装置。
技术介绍
1、在光学元件的微小颗粒检测或缺陷检测领域中，由于光学元件表面的散射特性是缺陷产生危害的根本原因，而光学元件表面的散射特性与光的偏振相关，因此光学元件的特定方向的偏振光会包含更多的信号特征，其中信号特征可以用于实现光学元件的微小颗粒检测或缺陷检测。
2、目前，通常采用波片和偏振分束镜构成的分离式结构来提取特定方向的偏振光。其中，波片间隔放置于偏振分束镜的入射端面，该波片用于对入射光进行偏振调制，从而在偏振分束镜的透射方向和反射方向提取特定方向的偏振光，显著提高了微小颗粒检测或缺陷检测的信噪比。然而，该分离式结构中的波片与偏振分束镜之间具有空气间隙，难以实现波片的快轴方向与偏振分束镜之间的严格对准，分离式结构的可靠性低。
技术实现思路
1、本申请提供一种具有偏振选择功能的偏振分束装置，可实现波片的快轴方向与偏振分束镜之间的严格对准，从而提高了波片与偏振分束镜之间的对准精度，偏振分束装置的稳定性和可靠性更高。
2、第一方面，本申请实施例提供一种具有偏振选择功能的偏振分束装置，该偏振分束装置包括波片和偏振分束镜，波片的出射端面与偏振分束镜的入射端面胶合，此时波片与偏振分束镜之间没有间隙。其中，波片用于对入射光的偏振方向进行调整，并向偏振分束镜输出线偏振光。进一步地，偏振分束镜用于对线偏振光进行分束，输出透射光和反射光。实施本申请实施例，当波片的出射端面与偏振分束镜的入射端面胶合时，波
3、在一种可能的实施方式中，上述波片的出射端面通过光胶工艺与偏振分束镜的入射端面胶合。实施本申请实施例，通过光胶工艺使波片和偏振分束镜胶合为一体式结构，可提高整个偏振分束装置的可靠性和组装精度，适用性更强。
4、可选的，上述波片的出射端面还可通过光学胶与偏振分束镜的入射端面胶合。
5、在一种可能的实施方式中，上述波片的数量为多个，其中，多个波片中的任意两个波片的快轴方向不同。实施本申请实施例，可通过调整偏振分束装置或提供入射光的光源的位置，来实现多个波片中的不同快轴方向的波片位于入射光所在的光路上，从而使得不同快轴方向的波片对入射光进行不同方向的偏振调制，进而在偏振分束镜的透射光出射方向和反射光出射方向选择不同偏振方向的光信号，偏振方向选择更具有多样性，适用性更强。
6、在一种可能的实施方式中，当波片的快轴方向与偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为预设角度时，透射光的偏振方向与偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为90°与两倍的预设角度之间的差值。
7、在一种可能的实施方式中，当波片的快轴方向与偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为预设角度时，反射光的偏振方向与偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为两倍的预设角度的负数。
8、实施本申请实施例，可通过波片对入射光进行特定方向的偏振调制，从而在偏振分束镜的透射光出射方向选取特定偏振方向的透射光，以及在偏振分束镜的反射光出射方向选取特定偏振方向的反射光，进而实现偏振分束装置的偏振选择功能。
9、在一种可能的实施方式中，上述预设角度大于或等于-90°且小于或等于90°。
10、在一种可能的实施方式中，上述波片的结构为真零级波片或者胶合零级波片。
11、可选的，波片的结构还可以是多级波片。
12、在一种可能的实施方式中，上述波片的材料为单轴晶体。
13、在一种可能的实施方式中，上述波片的相位延迟量为nπ或者nπ/2，n为奇数。
14、在一种可能的实施方式中，上述偏振分束镜为介质膜偏振分束镜、金属线栅偏振分束镜以及双折射晶体偏振分束镜中的一种。
15、可选的，偏振分束镜还可以为平板分束镜、立方分束镜、布儒斯特窗口片以及楔形板分束镜中的一种。
16、应理解的是，本申请上述多个方面的实现和有益效果可互相参考。
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1.一种具有偏振选择功能的偏振分束装置，其特征在于，所述偏振分束装置包括波片和偏振分束镜，所述波片的出射端面与所述偏振分束镜的入射端面胶合；
2.根据权利要求1所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的出射端面通过光胶工艺与所述偏振分束镜的入射端面胶合。
3.根据权利要求1或2所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的数量为多个，多个所述波片中的任意两个所述波片的快轴方向不同。
4.根据权利要求1-3任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的快轴方向与所述偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为预设角度；
5.根据权利要求1-4任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的快轴方向与所述偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为预设角度；
6.根据权利要求4或5所述的偏振分束装置，其特征在于，所述预设角度大于或等于-90°且小于或等于90°。
7.根据权利要求1-6任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的结构为真零级波片或者胶合零级波片。
8.根据权利要求1-7任一项所述的偏振分束装置，
9.根据权利要求1-8任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的相位延迟量为nπ或者nπ/2，所述n为奇数。
10.根据权利要求1-9任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述偏振分束镜为介质膜偏振分束镜、金属线栅偏振分束镜以及双折射晶体偏振分束镜中的一种。
...【技术特征摘要】
1.一种具有偏振选择功能的偏振分束装置，其特征在于，所述偏振分束装置包括波片和偏振分束镜，所述波片的出射端面与所述偏振分束镜的入射端面胶合；
2.根据权利要求1所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的出射端面通过光胶工艺与所述偏振分束镜的入射端面胶合。
3.根据权利要求1或2所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的数量为多个，多个所述波片中的任意两个所述波片的快轴方向不同。
4.根据权利要求1-3任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的快轴方向与所述偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为预设角度；
5.根据权利要求1-4任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的快轴方向与所述偏振分束镜的反...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴巨帅，杨伟锋，李立波，
申请(专利权)人：深圳市新凯来工业机器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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