【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅生产相关，具体为一种多晶硅生产尾气处理装置。
技术介绍
1、单晶硅是指通过特定的生产方法，将硅熔体中的硅原子有序排列成晶体结构的硅材料，具有高纯度、高稳定性和优异的电学性能，被广泛应用于半导体、太阳能电池等领域。
2、目前多晶硅生产中大多数的企业尾气处理过程都是先进行深度冷却冷凝，气液分离，再经过氢气压缩，再次进行深度冷却冷凝，以达到将尾气中的氢气和氯硅烷进行分离的目的；现有技术中多晶硅生产企业尾气处理过程都是先在氢压机进口之前进行深度冷却冷凝，实现大部分气液分离；但是氢压机进口之前的压力较低，冷却冷凝较不容易，虽然已经将能量已经比较充分的回收和利用，但仍会耗用更多的冷量。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本技术提供了一种多晶硅生产尾气处理装置，先经过换热器一进行浅度的冷却，然后进行氢压机氢气压缩，再通过换热器二进行深度冷却冷凝，具备更加节能的优点，解决了传统多晶硅尾气处理回收时冷量消耗过多的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种多晶硅生产尾气处理装置，包括冷凝组件；冷凝组件包括：换热器一,出料口设置有储罐一；氢压机，储罐一出料口与氢压机进料口相连接；换热器二，氢压机出料口与换热器二进料口相连接；储罐三，换热器二出料口与储罐三进料口相连接；管道，换热器一、储罐一、氢压机、换热器二、储罐三均通过管道依次相连通。
5、在一些实施例中，冷凝组件
6、在一些实施例中，冷凝组件还包括：回流管两端分别连接于与氢压机两端相连的管道上。
7、在一些实施例中，冷凝组件还包括：回流阀设置于回流管上。
8、在一些实施例中，冷凝组件还包括：单向阀设置于与氢压机入口端相连的管道上。
9、在一些实施例中，换热器一功率小于换热器二功率。
10、在一些实施例中，与氢压机出口端相连的管道壁均加厚设置。
11、在一些实施例中，冷凝组件还包括：吸附塔通过管道与储罐三出口端相连。
12、(三)有益效果
13、与现有技术相比，本技术提供了一种多晶硅生产尾气处理装置，具备以下有益效果：
14、该技术是先经过换热器一进行浅度的冷却，换热器一功率稍低，但足以使得多晶硅生产过程中的氯硅烷冷却到储罐一中，没有冷凝的气体进入氢压机压缩，再通过换热器二进行深度冷却冷凝，换热器二功率偏大，可将残留的氯硅烷进一步进行冷凝，储存于储罐二中，最终以达到气液分离，节能降耗的目的；并且是产量越大，节能也越大，解决了传统多晶硅尾气处理回收时冷量消耗过多的问题。
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1.一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：包括冷凝组件(1)；所述冷凝组件(1)包括：
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝组件(1)还包括：
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝组件(1)还包括：
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝组件(1)还包括：
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝组件(1)还包括：
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述换热器一(11)功率小于所述换热器二(15)功率。
7.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：与所述氢压机(14)出口端相连的所述管道(18)管壁加厚设置。
8.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝组件(1)还包括：
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：包括冷凝组件(1)；所述冷凝组件(1)包括：
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝组件(1)还包括：
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝组件(1)还包括：
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅生产尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝组件(1)还包括：
5.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：张新，牟平，陈文吉，罗佳林，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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