【技术实现步骤摘要】
本技术涉及离子注入设备，尤其涉及一种用于离子源装置的弹性压定机构。
技术介绍
1、专利文献cn219575557u公开一种离子注入机的离子源装置，其适用于离子注入机的离子源，离子注入机的离子源包括灯丝组件、阴极组件、半圆筒型起弧腔室组件、工艺气体通入组件、反射极组件，半圆筒型起弧腔室组件采用半圆筒型腔室设计，反射极组件采用悬空的反射极设计，该起弧腔室结构为半圆筒型起弧腔室，简化了离子源的组装和保养流程，可有效地延长离子源的使用寿命，提高离子注入机的产能。然而，这种离子源装置的压定机构采用侧向拉伸结构，容易在离子源装置外壁产生向外的拉力，影响离子源装置的结构稳定性，并且其位置固定，难以进行位置调节，容易干扰起弧腔的清理操作过程。因此，有必要对这种压定机构进行结构优化，以克服上述缺陷。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种用于离子源装置的弹性压定机构，以提升其结构稳定性，并便于进行清理操作。
2、本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种用于离子源装置的弹性压定机构，包括：
4、支承装配组件，该支承装配组件采用连接件安装于离子注入机的机架中，其内部具有装配空间，离子源装置的起弧腔可安装于支承装配组件中；
5、配接密封组件，该配接密封组件安装于支承装配组件中，并与机架配合，可对支承装配组件与机架的配接部位进行密封；
6、承载定位组件，该承载定位组件通过连接件安装于支承装配组件中，其内部具有定位空间；
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8、弹性拉伸组件，该弹性拉伸组件通过偏转结构安装于容纳罩护组件中，可在容纳罩护组件中进行拉伸动作，由容纳罩护组件对弹性拉伸组件进行遮罩防护，避免弹性拉伸组件做拉伸动作时与外界设备形成干涉；
9、转接延伸组件，该转接延伸组件通过偏转结构安装于弹性拉伸组件中，可通过转接延伸组件对弹性拉伸组件进行拉伸操作；
10、压合定位组件，该压合定位组件安装于转接延伸组件中，并与离子源装置的起弧腔配合，可对起弧腔进行压合定位。
11、具体地，支承装配组件包括：
12、支承座板，该支承座板采用圆形板件制作，并与机架的配接部位形状适配，其边缘通过连接螺栓与机架连接；
13、装配芯柱，该装配芯柱采用圆柱形柱体制作，其形成于支承座板内壁，并向支承座板内侧凸出，起弧腔可安装于装配芯柱内端。
14、在本技术的一个实施例中，装配芯柱外壁开设有装配平面，起弧腔的进电结构可安装于装配平面上。
15、配接密封组件包括：
16、密封环圈，该密封环圈位于支承座板内侧，支承座板内壁开设有嵌定环槽，该嵌定环槽沿支承座板的周向延伸，并沿轴向向支承座板内部凹陷，密封环圈嵌设于嵌定环槽中，并向支承座板外部凸出，可对支承座板与机架的配接部位进行密封。
17、承载定位组件包括：
18、承载座体，该承载座体设有一组，各承载座体分别通过连接螺栓安装于支承座板内壁，并沿支承座板的周向顺次排布；
19、定位拉环，该定位拉环设有一组，各定位拉环分别形成于承载座体上，并向承载座体外部凸出。
20、容纳罩护组件包括：
21、罩护筒壳，该罩护筒壳设有一组，各容纳筒壳分别与承载座体位置对应，其采用圆柱形管件制作，并内端开口，外端封闭，在容纳筒壳内部形成容纳空间，罩护筒壳的外端与定位拉环接合，可在定位拉环上偏转。
22、弹性拉伸组件包括：
23、拉伸弹簧，该拉伸弹簧设有一组，各拉伸弹簧分别位于罩护筒壳中，其轴线与罩护筒壳的轴线重合，可在罩护筒壳中进行拉伸动作；
24、拉伸端板，该拉伸端板设有一组，各拉伸端板分别位于罩护筒壳中，拉伸弹簧一端与罩护筒壳外端接合，另一端与拉伸端板接合，可随拉伸弹簧的拉伸动作一同移动，各拉伸端板边缘分别设有一对导向凸缘，各导向凸缘沿拉伸端板的径向向外部凸出，各罩护筒壳侧壁分别开设有一对与导向凸缘形状适配的导向槽口，导向槽口沿罩护筒壳的轴向延伸，导向凸缘伸入导向槽口内，可对拉伸端板的移动过程进行导向。
25、转接延伸组件包括：
26、转接拉杆，该转接拉杆设有一组，各转接拉杆外端分别伸入罩护筒壳内部，并通过偏转结构与拉伸端板连接，其外端向罩护筒壳外部露出，并延伸至起弧腔处，并向起弧腔内侧弯折。
27、压合定位组件包括：
28、压合端柱，该压合端柱设有一组，各压合端柱分别接合于转接拉杆外端，其形状与起弧腔中的定位凹口适配，压合端柱伸入定位凹口中，通过拉伸弹簧的弹力对起弧腔进行压合定位。
29、在本技术的一个实施例中，压合端柱内部开设有定位通口，可通过与之适配的锁紧螺栓对压合端柱与起弧腔进行固定连接。
30、本技术的优点在于：
31、该压定机构的支承装配组件、承载定位组件和容纳罩护组件等，共同为起弧腔提供了一个精确的装配和定位环境，装配芯柱、定位拉环等结构确保了起弧腔在机构中的准确位置，从而减少了因位置偏移或不稳定造成的性能波动，容纳罩护组件和弹性拉伸组件的设计，使得弹性拉伸组件在进行拉伸动作时，得到了有效的遮罩防护，避免了与外界设备的干涉，从而提高机构的整体稳定性，压合定位组件通过弹性拉伸组件和转接延伸组件与起弧腔连接，利用拉伸弹簧的弹力对起弧腔进行压合定位，受力方向不易偏离，使得起弧腔在受到压力时，能够得到适当的缓冲和调节，从而减少因硬性连接产生的应力集中和不稳定因素，在对起弧腔进行清理时，还可将罩护筒壳向外偏转，使转接拉杆及压合端柱远离起弧腔，避免对清理过程造成干涉，整个机构的设计考虑了结构强度和稳定性，通过合理的结构布局和连接方式，使得机构在承受外力或振动时，能够保持较好的稳定性和可靠性。
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1.一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，支承装配组件包括：
3.根据权利要求2所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，配接密封组件包括：
4.根据权利要求2所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，承载定位组件包括：
5.根据权利要求4所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，容纳罩护组件包括：
6.根据权利要求5所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，弹性拉伸组件包括：
7.根据权利要求6所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，转接延伸组件包括：
8.根据权利要求7所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，压合定位组件包括：
【技术特征摘要】
1.一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，支承装配组件包括：
3.根据权利要求2所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，配接密封组件包括：
4.根据权利要求2所述的一种用于离子源装置的弹性压定机构，其特征在于，承载定位组件包括：
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘青隆，张翰林，张佳睿，
申请(专利权)人：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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