【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
1、在x射线范围中，粗糙度大小与波长相当。
2、图1示出了典型的线11，其边缘12和13是粗糙的并且具有临界尺寸(边缘12和13之间的距离)15-在这种情况下是该线的长度。
3、图2示出了具有x射线源21和光学器件的x射线系统，光学器件通常经由在图中象征性地表示为透镜22的反射镜将x射线束31聚焦到样品100上的小点33上。从样品反射的x射线32由位于远场区的ccd相机23检测。图2还示出了照射角41和收集角32。
4、照射锥可以不同于收集锥，后者通常大于引物以允许检测“散射的”x射线。这些是从样品衍射的射线不进入镜面方向。
5、在该方案中，通过照射在ccd相机的不同像素上，同时收集几个散射方向，因此减少了扫描样品/检测器取向的源/样品或两者的需要。
6、然而，这意味着从一个入射方向产生的散射射线可能在检测器处与从另一个入射方向产生的那些散射射线发生干涉。
7、当粗糙度大小与波长相当时，粗糙度对检测到的信号的影响是显著的，并且应该被考虑-特别是当使用基于模型的方法来解释检测到的信号时。
技术实现思路
1、可以提供一种存储用于评估来自扰动对象的x射线信号的指令的系统、方法和非瞬态计算机可读介质。
2、可以提供一种用于评估由于扰动对象的照射而从扰动对象接收的非漫射x射线信号的方法，该方法可以包括：为多个非扰动对象中的每一个计算估计场，多个非扰动对象表示扰动对象的扰动；扰动具有非漫射x射线信号
3、可以提供一种用于评估x射线信号的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。该方法可以包括估计由扰动对象的扰动产生的场，该扰动具有x射线信号的波长的阶，其中，该估计包括计算响应于扰动对象的扰动的单个扰动所贡献的场的一般函数，该一般函数可应用于任意形状的扰动对象；以及基于场和扰动的一个或多个统计特性来评估x射线信号。
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1.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述扰动对象和所述多个非扰动对象中的每一个具有均匀介电常数。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述扰动对象的扰动遵循扰动分布函数，其中，基于所述扰动分布函数来计算所述多个非扰动对象。
4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述扰动分布函数是所述扰动对象的扰动的高度参数的概率函数。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，与所述扰动对象的界面相关的给定突起的高度参数是所述突起与所述扰动对象的界面之间的距离，其中，所述给定突起属于所述扰动。
6.根据权利要求4所述的方法，其中，所述扰动对象具有单个粗糙界面，其中，所述多个非扰动对象具有对应的非扰动界面，所述多个非扰动对象中的每一个具有一个对应的非扰动界面，其中，所述单个粗糙界面的扰动的高度参数的扰动分布函数基本上等于对应的给定非扰动界面的高度参数的扰动分布函数。
7.根据权利要求4所述的方法，其中，所述扰动对象具有多个粗糙界面，并且所述
8.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的非瞬态计算机可读介质，所述非瞬态计算机可读介质存储用于以下的指令：
9.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的系统，所述系统包括处理器，所述处理器被配置为：
10.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的方法，所述方法包括：计算表示所述扰动对象的非扰动对象，其中，所述非扰动对象包括表示均匀介电常数的一个或多个扰动对象区域的可变介电常数的一个或多个区域；计算所述非扰动对象的估计场；以及基于所述非扰动对象的估计场来评估所述非漫射x射线信号。
11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述扰动对象的扰动遵循扰动分布函数，其中，基于所述扰动分布函数来计算一个或多个区域的可变介电常数。
12.根据权利要求10所述的方法，其中，可变介电常数的一个或多个区域具有阶跃介电常数。
13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述可变介电常数的一个或多个区域具有阶跃分级介电常数。
14.根据权利要求10所述的方法，其中，所述非扰动对象的计算包括通过介电常数彼此不同的多个非扰动对象子区域来代替扰动对象区域。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述多个非扰动对象子区域是多个层。
16.根据权利要求14所述的方法，其中，所述多个非扰动对象子区域包括(a)位于所述扰动对象区域的标称表面上方的上扰动子区域，以及(b)位于所述扰动对象区域的标称表面下方的下扰动子区域。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述上扰动子区域和所述下扰动子区域具有等于系数乘以所述扰动对象的扰动的扰动分布函数的标准偏差的厚度。
18.根据权利要求17所述的方法，其中，所述上扰动子区域的介电常数不同于所述下扰动子区域的介电常数，并且其中，所述上扰动子区域的介电常数和所述下扰动子区域的介电常数是(a)所述扰动对象区域的介电常数(εup)和(b)与所述扰动对象区域连接的另一区域的介电常数(εdown)的加权和。
19.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的非瞬态计算机可读介质，所述非瞬态计算机可读介质存储用于以下的指令：计算表示所述扰动对象的非扰动对象，其中，所述非扰动对象包括表示均匀介电常数的一个或多个扰动对象区域的可变介电常数的一个或多个区域；计算所述非扰动对象的估计场；以及基于所述非扰动对象的估计场来评估所述非漫射x射线信号。
20.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的系统，所述系统包括处理器，所述处理器被配置为：计算表示所述扰动对象的非扰动对象，其中，所述非扰动对象包括表示均匀介电常数的一个或多个扰动对象区域的可变介电常数的一个或多个区域；计算所述非扰动对象的估计场；以及基于所述非扰动对象的估计场来评估所述非漫射x射线信号。
21.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的x射线信号的方法，所述方法包括：
22.根据权利要求21所述的方法，其中，所述一般函数的计算适用于任意形状的扰动对象。
23.根据权利要求21所述的方法，其中，所述一般函数的计算包括对与所述扰动对象的形状无关的第一可积函数进行积分。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述扰动对象和所述多个非扰动对象中的每一个具有均匀介电常数。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述扰动对象的扰动遵循扰动分布函数，其中，基于所述扰动分布函数来计算所述多个非扰动对象。
4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述扰动分布函数是所述扰动对象的扰动的高度参数的概率函数。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，与所述扰动对象的界面相关的给定突起的高度参数是所述突起与所述扰动对象的界面之间的距离，其中，所述给定突起属于所述扰动。
6.根据权利要求4所述的方法，其中，所述扰动对象具有单个粗糙界面，其中，所述多个非扰动对象具有对应的非扰动界面，所述多个非扰动对象中的每一个具有一个对应的非扰动界面，其中，所述单个粗糙界面的扰动的高度参数的扰动分布函数基本上等于对应的给定非扰动界面的高度参数的扰动分布函数。
7.根据权利要求4所述的方法，其中，所述扰动对象具有多个粗糙界面，并且所述多个非扰动对象具有对应的非扰动界面，所述多个非扰动对象中的每一个具有多个对应的非扰动界面。
8.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的非瞬态计算机可读介质，所述非瞬态计算机可读介质存储用于以下的指令：
9.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的系统，所述系统包括处理器，所述处理器被配置为：
10.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的方法，所述方法包括：计算表示所述扰动对象的非扰动对象，其中，所述非扰动对象包括表示均匀介电常数的一个或多个扰动对象区域的可变介电常数的一个或多个区域；计算所述非扰动对象的估计场；以及基于所述非扰动对象的估计场来评估所述非漫射x射线信号。
11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述扰动对象的扰动遵循扰动分布函数，其中，基于所述扰动分布函数来计算一个或多个区域的可变介电常数。
12.根据权利要求10所述的方法，其中，可变介电常数的一个或多个区域具有阶跃介电常数。
13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述可变介电常数的一个或多个区域具有阶跃分级介电常数。
14.根据权利要求10所述的方法，其中，所述非扰动对象的计算包括通过介电常数彼此不同的多个非扰动对象子区域来代替扰动对象区域。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述多个非扰动对象子区域是多个层。
16.根据权利要求14所述的方法，其中，所述多个非扰动对象子区域包括(a)位于所述扰动对象区域的标称表面上方的上扰动子区域，以及(b)位于所述扰动对象区域的标称表面下方的下扰动子区域。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述上扰动子区域和所述下扰动子区域具有等于系数乘以所述扰动对象的扰动的扰动分布函数的标准偏差的厚度。
18.根据权利要求17所述的方法，其中，所述上扰动子区域的介电常数不同于所述下扰动子区域的介电常数，并且其中，所述上扰动子区域的介电常数和所述下扰动子区域的介电常数是(a)所述扰动对象区域的介电常数(εup)和(b)与所述扰动对象区域连接的另一区域的介电常数(εdown)的加权和。
19.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的非瞬态计算机可读介质，所述非瞬态计算机可读介质存储用于以下的指令：计算表示所述扰动对象的非扰动对象，其中，所述非扰动对象包括表示均匀介电常数的一个或多个扰动对象区域的可变介电常数的一个或多个区域；计算所述非扰动对象的估计场；以及基于所述非扰动对象的估计场来评估所述非漫射x射线信号。
20.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的非漫射x射线信号的系统，所述系统包括处理器，所述处理器被配置为：计算表示所述扰动对象的非扰动对象，其中，所述非扰动对象包括表示均匀介电常数的一个或多个扰动对象区域的可变介电常数的一个或多个区域；计算所述非扰动对象的估计场；以及基于所述非扰动对象的估计场来评估所述非漫射x射线信号。
21.一种用于评估由于扰动对象的照射而从所述扰动对象接收的x射线信号的方法，所述方法包括：
22.根据权利要求21所述的方法，其中，所述一般函...
【专利技术属性】
技术研发人员：沙哈尔·戈夫，丹尼尔·堪德尔，希瑟·波伊斯，帕克·伦德，迈克尔·哈伊姆·雅琴妮，弗拉迪米尔·马恰瓦里亚尼，
申请(专利权)人：诺威有限公司，
类型：发明
国别省市：
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