【技术实现步骤摘要】
本申请涉及工艺处理设备，尤其涉及到一种进气分流器、吹扫结构及工艺腔室。
技术介绍
1、在工艺处理中，可以将待处理件放置于设备的腔室内进行工艺处理。其中，设备的腔室分为上下分布的上腔室和下腔室。上腔室用于通入工艺气体，以使待处理件在充满工艺气体的环境中实现工艺反应。下腔室则是通入吹扫气体，以避免工艺气体沉积对腔室造成腐蚀。
2、具体地，工艺处理设备设置有与下腔室连通的进气结构，通过该进气结构向下腔室通入吹扫气体。目前的工艺处理设备中，用于提供吹扫气体的进气结构比较简单，存在吹扫盲区，即进气结构具有吹扫气体吹扫不到的位置，存在吹扫不彻底的问题。
技术实现思路
1、本申请提供了一种进气分流器、吹扫结构及工艺腔室，该进气分流器可以应用到设备吹扫中，对吹扫结构的吹扫区域进行吹扫，不存在吹扫盲区。
2、第一方面，本申请提供了一种进气分流器，该进气分流器可以安装到进气吹扫结构的开口槽中，对吹扫结构的吹扫区域进行吹扫。在通过开口槽进行吹扫的过程中，进气分流器可以对吹扫气体进行吹扫路径改变，防止出现吹扫盲区。该进气分流器包括分流器本体，分流器本体具有第一端面和第二端面，第一端面和所述第二端面相对设置，第一端面和第二端面之间的表面可以认为是进气分流器的侧面。进气分流器还设置有相互隔离的换向通道和导流通道，换向通道连通于侧面与第一端面之间，可以将侧面的气流导向第一端面，或者将第一端面的气流导向侧面。导流通道连通与第一端面和第二端面之间，可以将第一端面的气流导向第二端面，或者将第二
3、其中，换向通道可以包括匀气槽和至少两个分气孔。匀气槽设置于分流器本体的侧面，该至少两个分气孔连通于匀气槽与第一端面之间。当吹扫气体从匀气槽进入，吹扫气体可以在匀气槽内扩散实现匀气。匀气槽内的吹扫气体可以通过该至少两个分气孔运动到第一端面，该至少两个分气孔对吹扫气体进行分流，提高吹扫气体在第一端面的分布均匀性。其中，分气孔垂直于轴向的最大径向尺寸可以选择1.0mm-10.0mm。根据不同的应用场景，分气孔的数量可以为20-30个不等。
4、具体地，该至少两个分气孔可以沿第一方向排布，第一方向垂直于分气孔的轴心线方向。也就是说，该至少两个分气孔位于同一水平面，则通过该至少两个分气孔分流后的吹扫气体所形成的气流能够呈面状分布，方便吹扫气体在第一方向上分布均匀。
5、可能地，上述至少两个分气孔关于匀气槽呈中心对称分布，则通过该至少两个分气孔分流后的吹扫气体所形成的气流呈中心对称分布。
6、为了对吹扫气体的流向进行控制，分气孔的轴心线可以平行于匀气槽的槽底。当然，分气孔的轴心线也可以与匀气槽的槽底之间存在夹角。
7、一种可能实现的方式中，进气分流器还包括密封组件，密封组件环绕设置于分流器本体的侧面。在将进气分流器安装到吹扫结构的开口槽内时，密封组件能够提高安装的牢靠性和密封性。
8、具体地，密封组件可以包括第一密封圈和第二密封圈，第一密封圈靠近第一端面，第二密封圈靠近第二端面。沿第一端面指向第二端面的方式，第一密封圈和第二密封圈配合将进气分流器配合安装到吹扫结构的开口槽内。
9、其中，第一密封圈的材质可以为聚四氟乙烯、橡胶或硅胶。第二密封圈的材质也可以为聚四氟乙烯、橡胶或硅胶。当第一密封圈和第二密封圈选择聚四氟乙烯，第一密封圈和第二密封圈能够保持良好的润滑性，方便进气分流器的拆装。
10、为了方便将进气分流器从吹扫结构拆除，该进气分流器可以还包括拆装部，拆装部固定于分流器本体，且拆装部设置有用于配合工装的拆装接口。在需要拆除进气分流器时，将工装与拆装结构配合，施力于工装将进气分流器拽出实现拆除。
11、一种可能实现的方式中，分流器本体还设置有导通槽，导通槽位于分流器本体的侧面，且导通槽连通于第二端面与换向通道之间，换向通道内的气流可以部分通过导通槽流通到第二端面，或者第二端面处的部分气流可以通过导通槽流通到换向通道内。
12、第二方面，本申请提供一种吹扫结构，包括结构本体和上述第一方面提供的任意一种进气分流器。该结构本体具有开口槽，结构本体还设置有与开口槽连通的吹扫口。进气分流器安装于开口槽内，分流器本体的侧面与开口槽配合且换向通道与吹扫口连通，分流器本体的第一端面朝向开口槽的槽底。结构本体的开口一侧可以安装到待吹扫设备上，向吹扫口通入吹扫气体，吹扫气体可以经进气分路器的换向通道和导流通道对开口槽进行吹扫，防止开口槽内存在吹扫盲区，影响吹扫效果。
13、第三方面，本申请提供一种工艺腔室，包括腔体，该腔体设置有上述第二方面提供的吹扫结构。该腔体具有上腔室和下腔室，其中上腔室用于通入工艺气体，下腔室用于通入吹扫气体。吹扫结构中结构本体的开口与下腔室连通。在工作中，吹扫气体可以通过吹扫结构进入下腔室内，防止上腔室的工艺气体沉积对腔体内部造成腐蚀。
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1.一种进气分流器（10），其特征在于，包括：分流器本体（1）；
2.如权利要求1所述的进气分流器（10），其特征在于，所述换向通道（C1）包括匀气槽（C11）和至少两个分气孔（C12）；
3.如权利要求2所述的进气分流器（10），其特征在于，所述至少两个分气孔（C12）沿第一方向排布，所述第一方向（X）垂直于所述分气孔（C12）的轴心线方向。
4.如权利要求3所述的进气分流器（10），其特征在于，所述至少两个分气孔（C12）关于所述匀气槽（C11）呈中心对称分布。
5.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（C12）的轴心线平行于所述匀气槽（C11）的槽底。
6.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（C12）垂直于轴向的最大径向尺寸为1.0mm-10.0mm。
7.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（C12）的数量为20-30个。
8.如权利要求1-4中任一项所述的进气分流器（10），其特
9.如权利要求8所述的进气分流器（10），其特征在于，所述密封组件包括第一密封圈（31）和第二密封圈（32）；
10.如权利要求9所述的进气分流器（10），其特征在于，所述第一密封圈（31）和/或所述第二密封圈（32）的材质为聚四氟乙烯、橡胶或硅胶。
11.如权利要求1-4中任一项或9-10中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，还包括拆装部（2），所述拆装部（2）固定于所述分流器本体（1），所述拆装部（2）设置有用于配合工装的拆装接口（g）。
12.如权利要求1-4中任一项或9-10中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分流器本体（1）的侧面（e3）设置有导通槽（h），所述导通槽（h）连通于所述第二端面（e2）与所述换向通道（C1）之间。
13.一种吹扫结构（100），其特征在于，包括结构本体（20）以及如权利要求1-12中任一项所述的进气分流器（10）；
14.一种工艺腔室，其特征在于，包括腔体（200），所述腔体（200）设置有如权利要求13所述的吹扫结构（100），所述腔体（200）具有上腔室（A1）和下腔室（A2），所述吹扫结构（100）的结构本体（20）的开口（c2）与所述下腔室（A2）连通。
...【技术特征摘要】
1.一种进气分流器（10），其特征在于，包括：分流器本体（1）；
2.如权利要求1所述的进气分流器（10），其特征在于，所述换向通道（c1）包括匀气槽（c11）和至少两个分气孔（c12）；
3.如权利要求2所述的进气分流器（10），其特征在于，所述至少两个分气孔（c12）沿第一方向排布，所述第一方向（x）垂直于所述分气孔（c12）的轴心线方向。
4.如权利要求3所述的进气分流器（10），其特征在于，所述至少两个分气孔（c12）关于所述匀气槽（c11）呈中心对称分布。
5.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（c12）的轴心线平行于所述匀气槽（c11）的槽底。
6.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（c12）垂直于轴向的最大径向尺寸为1.0mm-10.0mm。
7.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（c12）的数量为20-30个。
8.如权利要求1-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，还包括密封组件，所述密封组件环绕设置于所述分流器本体（1）的侧面（e3）。
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【专利技术属性】
技术研发人员：孙思强，王志勇，郑潇剑，陈兴，
申请(专利权)人：深圳市新凯来工业机器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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