【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氮化铝靶材，具体涉及一种氮化铝靶材及其制备方法。
技术介绍
1、半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换。
2、现有的氮化铝靶材致密性差，同时靶材导热性能差，产品的性能很难协调改进，产品耐酸、碱腐稳定性差，限制了产品的使用效率。
技术实现思路
1、针对现有技术的缺陷，本专利技术的目的是提供一种氮化铝靶材及其制备方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、本专利技术解决技术问题采用如下技术方案：
3、本专利技术提供了一种氮化铝靶材的制备方法，包括以下步骤：
4、步骤一：将金属基体先抛光，然后置于丙酮溶剂中浸泡1h，再取出、干燥；
5、步骤二：将纳米氮化铝浸入到纳米氮化铝总量3-5倍的掺调剂中超声处理，超声结束，水洗、抽滤、干燥；
6、步骤三：将干燥的步骤二产物溅射到步骤一金属基体上，溅射结束得到靶材体；
7、步骤四：将靶材体热改进处理，处理结束，即可得到本专利技术的氮化铝靶材。
8、优选地，所述超声处理的超声功率为450-500w，超声30-40min；所述溅射的溅射功率为1-2kw，溅射时间10-15s。
9、优选地，所述热改进处理的具体操作步骤为：
10、s1：先以1-3℃/min的速率升温至140℃，保温10min，然后再以2-5℃/min的
11、s2：然后以1-2℃/min的速率升温至350-360℃，保温2-5min，最后再空冷至至室温。
12、优选地，所述掺调剂的制备方法为：
13、s11：将氧化镧先于质子辐照箱内辐照5-10min，辐照功率为350-400w，辐照结束，得到辐照的氧化镧；
14、s12：将辐照的氧化镧于足量的改性液中搅拌改性处理，搅拌结束，水洗、抽滤、干燥，得到改性的氧化镧；
15、其中改性液的制备方法为：将2-5份十二烷基苯磺酸钠溶液加入到5-8份盐酸多巴胺溶液中，随后再加入1-3份硅烷偶联剂kh560，搅拌充分得到改性液；
16、s13：将改性的氧化镧、调节剂按照重量比5:3混匀球磨处理，球磨结束，水洗、抽滤、干燥，得到掺调剂。
17、优选地，所述搅拌改性处理的搅拌温度为55-60℃，搅拌时间为30-40min，搅拌转速为450-500r/min。
18、优选地，所述十二烷基苯磺酸钠溶液的质量分数为2-5%；所述盐酸多巴胺溶液的质量分数为4-6%。
19、优选地，所述混匀球磨处理的球磨转速为1000-1500r/min，球磨2h。
20、优选地，所述调节剂的制备方法为：
21、将氮化硼于等离子体中处理5-10min，处理功率为350-400w，处理结束，将5-8份等离子体处理的氮化硼、1-3份纳米硅溶胶、2-5份木质素磺酸钠溶液和2-3份硅酸钠溶液共混球磨处理，球磨转速1500r/min，球磨2h，球磨结束，得到调节剂。
22、优选地，所述木质素磺酸钠溶液的质量分数为2-5%；所述硅酸钠溶液的质量分数为3-6%。
23、本专利技术还提供了一种氮化铝靶材的制备方法制备的氮化铝靶材。
24、与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
25、本专利技术一种用于半导体器件制备的氮化铝靶材制备工艺，通过优化工艺参数和材料配比，实现制备高质量氮化铝靶材，适用于半导体器件制备过程中的材料选择和工艺优化；同时纳米氮化铝采用掺调剂中超声处理，再配合靶材体热改进配合得到的氮化铝靶材致密性优异，同时靶材导热性能显著，产品的性能协调改进，产品耐酸、碱腐稳定性效果显著；掺调剂采用氧化镧质子辐照，配合改性液中搅拌改性处理，优化氧化镧的活性效能和界面性效果，以及通过氮化硼调配纳米硅溶胶、木质素磺酸钠溶液和硅酸钠溶液共混球磨处理的调节剂协调改进，得到产品性能进一步的改进。
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1.一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述超声处理的超声功率为450-500W，超声30-40min；所述溅射的溅射功率为1-2KW，溅射时间10-15s。
3.根据权利要求1所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述热改进处理的具体操作步骤为：
4.根据权利要求1所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述掺调剂的制备方法为：
5.根据权利要求4所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述搅拌改性处理的搅拌温度为55-60℃，搅拌时间为30-40min，搅拌转速为450-500r/min。
6.根据权利要求4所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述十二烷基苯磺酸钠溶液的质量分数为2-5%；所述盐酸多巴胺溶液的质量分数为4-6%。
7.根据权利要求4所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述混匀球磨处理的球磨转速为1000-1500r/min，球磨2h。
8.根据权利要求4所述一种氮化铝靶材的制备方法
9.根据权利要求8所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述木质素磺酸钠溶液的质量分数为2-5%；所述硅酸钠溶液的质量分数为3-6%。
10.如权利要求1-9任一项所述一种氮化铝靶材的制备方法制备的氮化铝靶材。
...【技术特征摘要】
1.一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述超声处理的超声功率为450-500w，超声30-40min；所述溅射的溅射功率为1-2kw，溅射时间10-15s。
3.根据权利要求1所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述热改进处理的具体操作步骤为：
4.根据权利要求1所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述掺调剂的制备方法为：
5.根据权利要求4所述一种氮化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述搅拌改性处理的搅拌温度为55-60℃，搅拌时间为30-40min，搅拌转速为450-500r/min。
【专利技术属性】
技术研发人员：周志宏，周昭寅，刘青雄，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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