【技术实现步骤摘要】
本技术涉及热处理，尤其涉及一种加热组件与炉体结构。
技术介绍
1、在半导体器件制造中，需要对晶圆进行热处理，其目的是消除晶圆内部的缺陷，优化晶界结构和晶体质量。退火处理是一种常见的晶圆热处理方式，退火炉是用于对晶圆进行退火处理的一种常用的设备，通过加热晶圆并在一定条件下保温，可以改变晶格结构，消除杂质和应力，提高晶圆的电性能和结构完整性。
2、晶圆退火炉的基本结构通常由加热腔体、控制系统、进料装置及出料装置组成。利用加热腔体对晶圆进行均匀加热和保温，并通过控制系统控制加热温度、时间及气氛等参数，使晶圆达到所需的退火效果。现有的晶圆退火炉大多通过灯管照射晶圆以对加热腔体进行加热，且灯管的电线需要连接晶圆退火炉的外部接口以对灯管进行供电，因此通常的结构是将灯管内嵌于晶圆退火炉内部，端部的电线贯穿晶圆退火炉以连接外部接口，并于灯管外侧设置玻璃外罩，以隔离加热灯管与加热腔体，且于玻璃外罩的端部外侧设置密封圈以实现密封。在装配时需要将套设有玻璃外罩的灯管整体装配于密封圈内部，由于玻璃外罩的制作精度较低，且密封圈对玻璃外罩具有压紧力，而玻璃外罩又比较薄，因此在装配时密封圈容易将玻璃外罩压坏，且安装过程中密封圈与玻璃外罩之间的阻力较大，也会造成密封圈的损坏。同时，密封圈对玻璃外罩的密封方式是杆密封，由于玻璃外侧的公差较大，存在密封不严的问题，且密封圈设置于端部，靠近灯管的发热区，存在使用寿命较短的问题。
3、有鉴于此，有必要对现有技术中的晶圆退火炉予以改进，以解决上述问题。
技术实现思路b>
1、本技术的目的在于揭示现有的晶圆退火炉中加热灯管外部套设有玻璃外罩，并于玻璃外罩外侧套设密封圈，在装配时存在密封圈容易将玻璃外罩压坏的问题，且密封圈与玻璃外罩之间的阻力较大容易造成密封圈损坏的问题，以及采用杆密封的方式由于玻璃外侧公差较大存在密封不严的问题，同时密封圈设置于端部，靠近灯管的发热区，存在使用寿命较短的问题。
2、为实现上述目的，本技术示出了一种加热组件，穿设于炉体内部，所述加热组件包括：
3、加热管，套设于所述加热管外侧且两端轴向向外延伸入所述炉体侧部的罩壳，及分别设置于所述加热管两端的两个连接件；
4、所述连接件包括：套设于所述加热管端部外侧的转接柱、设置于所述炉体外侧并轴向延伸入所述转接柱的导电柱及套设于所述导电柱外侧并固定于所述炉体外侧的固定板，所述固定板朝向所述炉体的一侧内嵌与所述炉体外侧壁形成接触的密封圈。
5、作为本技术的进一步改进，所述加热管包括：管体与自所述管体两端轴向向外延伸的两个连接柱，所述转接柱套设于所述连接柱外侧。
6、作为本技术的进一步改进，所述连接柱外侧形成第一螺纹，所述转接柱朝向所述加热管的一侧凹设供连接柱容置且具第二螺纹的第一容置孔，通过所述第一螺纹与第二螺纹相适配，以将转接柱旋接于连接柱外侧。
7、作为本技术的进一步改进，所述连接件还包括：套设于所述转接柱外侧以隔离所述转接柱与所述罩壳的第一绝缘筒。
8、作为本技术的进一步改进，所述转接柱朝向所述导电柱的一侧凹设供所述导电柱容置的第二容置孔，且所述第二容置孔内部设置弹性套设于导电柱外侧的斜圈弹簧。
9、作为本技术的进一步改进，所述连接件还包括：套设于所述导电柱外侧以隔离所述导电柱与所述固定板的第二绝缘筒。
10、作为本技术的进一步改进，所述连接件还包括：套设于所述导电柱外侧并将所述固定板抵持于所述炉体侧部的第三绝缘筒。
11、作为本技术的进一步改进，所述罩壳的端面与所述固定板的内侧壁形成接触。
12、基于相同专利技术思想，本技术还揭示了一种炉体结构，包括：
13、炉体与如上述任一项专利技术创造所述的加热组件。
14、作为本技术的进一步改进，所述加热组件被配置为多个，且沿水平排布于所述炉体顶部和/或所述炉体底部，和/或，沿竖直排布于所述炉体侧部。
15、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
16、在本申请中，于加热管外侧套设罩壳，并于加热管两端分别设置两个连接件，连接件包括：套设于加热管端部外侧的转接柱、设置于炉体外侧并轴向延伸入转接柱的导电柱及套设于导电柱外侧并固定于炉体侧部的固定板，固定板朝向炉体的侧部内嵌与炉体的外侧壁形成接触的密封圈。同时，将罩壳内部气压与外部气压设置为相同的气压，不需要对罩壳的内部气压与外部气压进行密封，仅需要保证罩壳端部的密封即可，由此将杆密封替换为端面密封，在装配时，仅需将加热组件贯穿安装孔即可，对罩壳的材质要求较低，从而解决上述在装配时存在密封圈容易将玻璃外罩压坏的问题，且密封圈与玻璃外罩之间的阻力较大容易造成密封圈损坏的问题，以及采用杆密封的方式由于玻璃外侧公差较大存在密封不严的问题；同时，密封圈内嵌于固定板朝向加热舱的一侧，距离加热管的加热区较远，以增长密封圈的使用寿命。
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1.一种加热组件，穿设于炉体内部，其特征在于，所述加热组件包括：
2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述加热管包括：管体与自所述管体两端轴向向外延伸的两个连接柱，所述转接柱套设于所述连接柱外侧。
3.根据权利要求2所述的加热组件，其特征在于，所述连接柱外侧形成第一螺纹，所述转接柱朝向所述加热管的一侧凹设供连接柱容置且具第二螺纹的第一容置孔，通过所述第一螺纹与第二螺纹相适配，以将转接柱旋接于连接柱外侧。
4.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述连接件还包括：套设于所述转接柱外侧以隔离所述转接柱与所述罩壳的第一绝缘筒。
5.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述转接柱朝向所述导电柱的一侧凹设供所述导电柱容置的第二容置孔，且所述第二容置孔内部设置弹性套设于导电柱外侧的斜圈弹簧。
6.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述连接件还包括：套设于所述导电柱外侧以隔离所述导电柱与所述固定板的第二绝缘筒。
7.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述连接件还包括：套设于所述导电柱外
8.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述罩壳的端面与所述固定板的内侧壁形成接触。
9.一种炉体结构，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的炉体结构，其特征在于，所述加热组件被配置为多个，且沿水平排布于所述炉体顶部和/或所述炉体底部，和/或，沿竖直排布于所述炉体侧部。
...【技术特征摘要】
1.一种加热组件，穿设于炉体内部，其特征在于，所述加热组件包括：
2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述加热管包括：管体与自所述管体两端轴向向外延伸的两个连接柱，所述转接柱套设于所述连接柱外侧。
3.根据权利要求2所述的加热组件，其特征在于，所述连接柱外侧形成第一螺纹，所述转接柱朝向所述加热管的一侧凹设供连接柱容置且具第二螺纹的第一容置孔，通过所述第一螺纹与第二螺纹相适配，以将转接柱旋接于连接柱外侧。
4.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述连接件还包括：套设于所述转接柱外侧以隔离所述转接柱与所述罩壳的第一绝缘筒。
5.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述转接柱朝向所述导电柱的一侧凹设供所述导电...
【专利技术属性】
技术研发人员：程向东，林锦辉，
申请(专利权)人：苏州芯默科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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