【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及分子泵测试，具体涉及一种分子泵测试用台架及分子泵测试系统。
技术介绍
1、分子泵是一种常用的真空获得设备，其内部安装有高转速电机，工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩，并使之获得定向速度至排气口排出，近年来分子泵大批量的应用于工业领域。
2、抽速、极限真空、压缩比是分子泵的关键参数，直接决定了分子泵的性能指标。同时分子泵在出厂前要进行一系列测试，来验证长期运行稳定性。分子泵为高速运转设备，为安全运行在做以上测试时需要将分子泵固定到测试台架上，分子泵+测试罩，重量体积较大，安装过程困难且运行过程中存在一定的安全隐患，此外，由于分子泵具有不同的型号，也就具有不同的尺寸，即，分子泵的抽气口具有不同口径，这就会导致待测试分子泵与安装台架不匹配，存在安装台架与待测试分子泵适配性不强的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种分子泵测试用台架及分子泵测试系统，以解决分子泵的抽气口具有不同口径，存在待测试分子泵与安装台架不匹配，存在安装台架与待测试分子泵适配性不强的问题。
2、第一方面，本专利技术提供了一种分子泵测试用台架，包括：
3、安装台架，所述安装台架包括框体，所述框体的外部适于放置有测试罩体，所述框体设有容纳空间，所述容纳空间内适于放置不同口径的待测试分子泵；
4、连接组件，所述连接组件适于连接所述测试罩体、安装台架和所述待测试分子泵的抽气口。
5、通过设置连接组件，使不同口径的待测试分子泵、安
6、在一种可选的实施方式中，所述连接组件包括相互连接的第一转接法兰和第二转接法兰，所述第一转接法兰分别与所述第二转接法兰、所述测试罩体、待测试分子泵的抽气口连接，所述第二转接法兰分别与所述第一转接法兰、安装台架连接。
7、在一种可选的实施方式中，还包括三维位移组件，所述三维位移组件包括承载板，所述承载板上放置有所述待测试分子泵。
8、在一种可选的实施方式中，所述三维位移组件包括第一水平滑轨，所述第一水平滑轨设于所述安装台架的底板的上方，所述第一水平滑轨上滑动设有升降台，所述升降台设有竖直滑轨，所述竖直滑轨上滑动设有承载台，所述承载台设有第二水平滑轨，所述第二水平滑轨上设有所述承载板，所述第一水平滑轨和所述第二水平滑轨垂直设置。
9、在一种可选的实施方式中，还包括管道组件，所述管道组件包括六通管道和连通管道，所述六通管道分别与待测试分子泵、连通管道连接。
10、在一种可选的实施方式中，所述测试罩体的外周面设有流量计和真空规计，所述真空规计以测量测试罩体内的真空度，所述流量计以使外部气体进入至测试罩体内。
11、第二方面，本专利技术还提供了一种分子泵测试系统，还包括上述的分子泵测试用台架。
12、在一种可选的实施方式中，还包括泵放置台架，所述泵放置台架上放置于至少两个机械泵，至少两个所述机械泵间为并联设置。
13、在一种可选的实施方式中，所述泵放置台架设有至少两层，每一层上分别设有一根共用管道，所述共用管道通过中间管道与连通管道连接。
14、在一种可选的实施方式中，还包括控制柜，所述控制柜分别与机械泵、待测试分子泵线路连接。
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1.一种分子泵测试用台架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的分子泵测试用台架，其特征在于，所述连接组件(13)包括相互连接的第一转接法兰(1301)和第二转接法兰(1302)，所述第一转接法兰(1301)分别与所述第二转接法兰(1302)、所述测试罩体(5)、待测试分子泵(4)的抽气口连接，所述第二转接法兰(1302)分别与所述第一转接法兰(1301)、安装台架(1)连接。
3.根据权利要求2所述的分子泵测试用台架，其特征在于，还包括三维位移组件(6)，所述三维位移组件(6)包括承载板(609)，所述承载板(609)上放置有所述待测试分子泵(4)。
4.根据权利要求3所述的分子泵测试用台架，其特征在于，所述三维位移组件(6)包括第一水平滑轨(601)，所述第一水平滑轨(601)设于所述安装台架(1)的底板(101)的上方，所述第一水平滑轨(601)上滑动设有升降台(603)，所述升降台(603)设有竖直滑轨(604)，所述竖直滑轨(604)上滑动设有承载台(607)，所述承载台(607)设有第二水平滑轨(608)，所述第二水平滑轨(6
5.根据权利要求3所述的分子泵测试用台架，其特征在于，还包括管道组件(10)，所述管道组件(10)包括六通管道(1001)和连通管道(1002)，所述六通管道(1001)分别与待测试分子泵(4)、连通管道(1002)连接。
6.根据权利要求5所述的分子泵测试用台架，其特征在于，所述测试罩体(5)的外周面设有流量计(8)和真空规计(9)，所述真空规计(9)以测量测试罩体(5)内的真空度，所述流量计(8)以使外部气体进入至测试罩体(5)内。
7.一种分子泵测试系统，其特征在于，还包括权利要求1-6任一项所述的分子泵测试用台架。
8.根据权利要求7所述的分子泵测试系统，其特征在于，还包括泵放置台架(2)，所述泵放置台架(2)上放置于至少两个机械泵(11)，至少两个所述机械泵(11)间为并联设置。
9.根据权利要求8所述的分子泵测试系统，其特征在于，所述泵放置台架(2)设有至少两层，每一层上分别设有一根共用管道(12)，所述共用管道(12)通过中间管道与连通管道(1002)连接。
10.根据权利要求9所述的分子泵测试系统，其特征在于，还包括控制柜(3)，所述控制柜(3)分别与机械泵(11)、待测试分子泵(4)线路连接。
...【技术特征摘要】
1.一种分子泵测试用台架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的分子泵测试用台架，其特征在于，所述连接组件(13)包括相互连接的第一转接法兰(1301)和第二转接法兰(1302)，所述第一转接法兰(1301)分别与所述第二转接法兰(1302)、所述测试罩体(5)、待测试分子泵(4)的抽气口连接，所述第二转接法兰(1302)分别与所述第一转接法兰(1301)、安装台架(1)连接。
3.根据权利要求2所述的分子泵测试用台架，其特征在于，还包括三维位移组件(6)，所述三维位移组件(6)包括承载板(609)，所述承载板(609)上放置有所述待测试分子泵(4)。
4.根据权利要求3所述的分子泵测试用台架，其特征在于，所述三维位移组件(6)包括第一水平滑轨(601)，所述第一水平滑轨(601)设于所述安装台架(1)的底板(101)的上方，所述第一水平滑轨(601)上滑动设有升降台(603)，所述升降台(603)设有竖直滑轨(604)，所述竖直滑轨(604)上滑动设有承载台(607)，所述承载台(607)设有第二水平滑轨(608)，所述第二水平滑轨(608)上设有所述承载板(609)，所述第一水平滑轨(601)和所述第二水平滑轨(608)垂直设置。
【专利技术属性】
技术研发人员：刘炯，宋海燕，赵金利，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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