【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针卡，具体涉及一种探针卡行程补偿系统及方法。
技术介绍
1、在芯片制造过程中，晶圆测试是一个关键环节。通过探针卡对晶圆上的芯片进行电学性能测试，可以及时筛选出不合格的芯片，降低生产成本。为了确保晶圆测试的准确性，需要探针卡能够精确地与芯片引脚连接，而行程补偿技术能够弥补芯片引脚高度差异和探针自身变形等因素带来的影响，保证每个探针都能与引脚良好接触磨损后的探针尖端可能变得更钝，在相同压力下与芯片引脚的接触面积增大，接触距离也会相应改变。
2、公开号为cn115113011b的专利技术专利记载了一种探针卡行程补偿系统和方法，包括测量单元，用于测试单根探针的行程和所有探针的平整度；并根据所述行程和平整度的数值，计算所述探针卡的总弹力；压力传感器单元，所述压力传感器与所述探针头可互相替换，根据所述压力传感器测得压力与行程关系而得到所述探针卡的行程补偿值。
3、上述现有技术中可补偿晶圆测试中探针卡探针的行程，保证探针与晶圆的有效接触，从而保证晶圆测试良率及可靠性，然而，随着探针卡使用次数的增多，探针发生磨损，上述现有技术中缺少对距离标准值调整，为了确保准确的测试和良好的接触，需要根据探针的实际使用情况调整距离标准值。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种探针卡行程补偿系统及方法，以解决上述背景中存在的技术问题。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、第一方面，本专利技术提供了一种探针卡行程补偿方法，包括：
4、步骤一：对探针卡中每个探针的距离值进行分析，得到距离表征值wb，基于距离表征值wb判断探针卡状态的是否异常，若异常，生成调整信号；
5、步骤二：基于调整信号，通过对单根探针以固定的速率施加测试压力，对距离值随测试压力增加的变化趋势分析，得到线性重合值fx，基于线性重合值fx，判断探针距离值随测试压力增加的变化是否呈线性，判断结果包括呈线性关系和呈非线性关系；
6、步骤三：基于探针距离值随测试压力增加的变化是否呈线性的判断结果，选择合适的模型作为预测模型，基于预测模型分析得到探针达到距离标准值的调节压力，基于调节压力得到调节压力段，通过预测模型得到调节压力段内不同压力点的预测距离值；
7、步骤四：在调节压力段内，对探针的距离值进行实时监测，将调节时段内实时监测到的探针距离值与不同压力对应的预测距离值进行比较分析，得到变化相似值qj，基于变化相似值qj，判断调节时段内实时监测到的探针距离值与预测距离值的趋近程度；
8、步骤五：基于非准确信号，对不同压力点的距离值进行分析，得到非趋近相似值xs，基于非趋近相似值xs，判断是否需要对距离标准值进行调整，若需要调整，则对所有不同压力点的距离相对差值处理分析得到调整后的距离标准值，并重新输入值预测模型，重新得到调整压力，基于重新得到的调整压力对探针行程补偿时的压力进行调节。
9、第二方面，本专利技术提供了一种探针卡行程补偿系统，包括：
10、异常状态判断模块：对探针卡中每个探针的距离值进行分析，得到距离表征值wb，基于距离表征值wb判断探针卡状态是否异常，若异常，生成调整信号；
11、线性关系判断模块：基于调整信号，通过对单根探针以固定的速率施加测试压力，对距离值随测试压力增加的变化趋势分析，得到线性重合值fx，基于线性重合值fx，判断探针距离值随测试压力增加的变化是否呈线性，判断结果包括呈线性关系和呈非线性关系；
12、模型构建模块：基于探针距离值随测试压力增加的变化是否呈线性的判断结果，选择合适的模型作为预测模型，基于预测模型分析得到探针达到距离标准值的调节压力，基于调节压力得到调节压力段，通过预测模型得到调节压力段内不同压力点的预测距离值；
13、趋近程度判断模块：在调节压力段内，对探针的距离值进行实时监测，将调节时段内实时监测到的探针距离值与不同压力对应的预测距离值进行比较分析，得到变化相似值qj，基于变化相似值qj，判断调节时段内实时监测到的探针距离值与预测距离值的趋近程度；
14、调节分析模块：基于非准确信号，对不同压力点的距离值进行分析，得到非趋近相似值xs，基于非趋近相似值xs，判断是否需要对距离标准值进行调整，若需要调整，则对所有不同压力点的距离相对差值处理分析得到调整后的距离标准值，并重新输入值预测模型，重新得到调整压力，基于重新得到的调整压力对探针行程补偿时的压力进行调节。
15、本专利技术的有益效果：
16、（1）本专利技术基于对探针卡中每个探针的距离值进行分析，得到距离表征值wb，基于距离表征值wb判断探针卡的异常程度是否生成调整信号，本专利技术通过对探针卡中每个探针的距离数据进行分析，能够及时、准确地判断探针卡的异常程度，并生成调整信号来促使相关系统采取措施，有利于提高探针卡的工作可靠性和芯片测试的准确性；
17、（2）本专利技术基于调整信号，通过对单根探针以固定的速率施加测试压力，对距离值随测试压力增加的变化趋势分析，判断探针距离值随测试压力增加的变化是否呈线性，基于探针距离值随测试压力增加的变化是否呈线性的判断结果，选择合适的模型作为预测模型，通过预测模型得到调节压力段内不同压力点的预测距离值，在调节压力段内，对探针的距离值进行实时监测，将调节时段内实时监测到的探针距离值与不同压力对应的预测距离值进行比较分析，判断调节时段内实时监测到的探针距离值与预测距离值的趋近程度，本专利技术能够更加准确地了解探针在不同压力下的距离值变化规律，进而根据预测模型对探针的调节压力进行准确判断和优化，提高探针卡的工作性能和测试准确性；
18、（3）本专利技术基于非准确信号，对不同压力点的距离值进行分析，判断是否需要对距离标准值进行调整，若需要调整，则对所有不同压力点的距离相对差值处理分析得到调整后的距离标准值，并重新输入值预测模型，重新得到调整压力，基于重新得到的调整压力对探针行程补偿时的压力进行调节，本专利技术能够根据实际监测情况及时调整距离标准值，并相应地调节探针行程补偿时的压力，有效解决了因实际距离值与预测距离值差异过大而导致的问题，确保了探针卡的正常工作和测试效果的准确性。
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1.一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述距离表征值WB的获取方式为：
3.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述异常次数占比YC和距离偏差程度比PC获取方式为：
4.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述线性重合值FX的获取方式：
5.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述同向曲线段数量占比JL与斜率数据组的方差值CD的获取方式为：
6.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述预测距离值的获取方式为：
7.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述变化相似值QJ的获取方式：
8.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述变化偏差数量比BT与变化偏差程度值BJ的获取方式为：
9.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述非趋近相似值XS的获取方式为：
10.一种探针卡
...【技术特征摘要】
1.一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述距离表征值wb的获取方式为：
3.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述异常次数占比yc和距离偏差程度比pc获取方式为：
4.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述线性重合值fx的获取方式：
5.根据权利要求1所述的一种探针卡行程补偿方法，其特征在于，所述同向曲线段数量占比jl与斜率数据组的方差值cd的获取方式为：
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹永焕，朱宇，盛利霞，李港，
申请(专利权)人：江苏晋成半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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