【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光伏，具体涉及一种弥散系统及镀膜设备。
技术介绍
1、在光伏电池制造业中，通入特气(特种气体)进行反应是常见的工艺。传统设备采用上端进气方式，气体通过喷淋管或均流板喷淋的方式进入真空腔体，但反应效果会因气体分布不均而受到影响，以硅片镀膜工艺为例，靠近进气孔处镀膜较厚，远离处则较薄，影响了产品的性能。
2、因此，提升特气气路中气体扩散性的均匀性成为当前急需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开实施例提供了一种弥散系统及镀膜设备，解决了相关技术中特气供应均匀性较差的问题。
2、第一方面，本公开的实施例提供了一种弥散系统，应用于镀膜设备，所述弥散系统包括：至少一个匀流组件，所述匀流组件包括：多个均流板，铺设于同一个平面，且相对于一对称面对称布置，每个所述均流板均具有进气孔和多个出气孔；管道组件，包括总管道和多个分支管段，多个所述分支管段相对于所述对称面对称布置，且与多个所述均流板一一对应设置，多个所述分支管段与多个所述均流板的进气孔一一对应连通，所述总管道的第一端位于所述对称面，且均与每个所述分支管段连通，所述总管道的第二端用于连通气源。
3、在一些实施例中，每个所述匀流组件中，位于所述对称面同一侧的多个所述分支管段沿第一方向排列，且依次连接，靠近所述对称面的所述分支管段与所述总管道的第一端连接；其中，所述第一方向垂直于所述对称面。
4、在一些实施例中，每个所述匀流组件中，多个所述均流板中心对称布置，每个所述分支管段的一
5、在一些实施例中，每个所述匀流组件中的所述分支管段的数量为四个，四个所述分支管段分别沿第二方向、第三方向、第四方向和第五方向延伸；其中，所述第二方向与所述第三方向相反，所述第四方向与所述第五方向相反，所述第四方向和所述第五方向与所述第二方向和所述第三方向交叉，所述第二方向与所述对称面的夹角和所述第四方向与所述对称面的夹角相等。
6、在一些实施例中，所述弥散系统还包括：汇流管道；所述匀流组件的数量为多个，多个所述匀流组件的所述均流板铺设于同一平面，多个所述匀流组件的所述总管道分别与所述汇流管道连通，并通过所述汇流管道连通气源。
7、在一些实施例中，还包括：多个控制阀，分置于多个匀流组件的所述总管道，所述控制阀被配置为控制相应的所述总管道的流量。
8、在一些实施例中，还包括：流量计组件，设置于所述管道组件，所述流量计组件被配置为采集所述管道组件的流量信息。
9、在一些实施例中，所述流量计组件包括：第一流量计，设置于所述汇流管道，所述第一流量计被配置为采集所述汇流管道的流量信息。
10、在一些实施例中，所述流量计组件包括：多个第二流量计，分置于多个所述总管道，所述第二流量计被配置为采集相应的所述总管道的流量信息。
11、第二方面，本公开的实施例提供了一种镀膜设备，包括：工艺腔；载板，位于所述工艺腔内；如第一方面所述的弥散系统，所述弥散系统的均流板位于所述工艺腔内，并与所述载板相对间隔设置。
12、本公开的实施例提供的一种弥散系统及镀膜设备，每个匀流组件包括多个均流板，多个均流板采用对称结构，通过对称布置的分支管段分别进行供气，利用管道的结构简化均流板的结构，并利用均流板提高管道喷淋的均匀性，实现两种喷淋方式的优点结合，具有结构更简单、均匀性更好的优势。
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1.一种弥散系统，其特征在于，应用于镀膜设备，所述弥散系统包括：
2.根据权利要求1所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中，位于所述对称面同一侧的多个所述分支管段沿第一方向排列，且依次连接，靠近所述对称面的所述分支管段与所述总管道的第一端连接；
3.根据权利要求1所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中，多个所述均流板中心对称布置，每个所述分支管段的一端与所述总管道的第二端连通，每个所述分支管段的另一端与对应的所述均流板的所述进气孔连通，其中，每个所述分支管段的长度相等。
4.根据权利要求3所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中的所述分支管段的数量为四个，四个所述分支管段分别沿第二方向、第三方向、第四方向和第五方向延伸；
5.根据权利要求1至4任一项所述的弥散系统，其特征在于，所述弥散系统还包括：
6.根据权利要求5所述的弥散系统，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求5所述的弥散系统，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求7所述的弥散系统，其特征在于，所述流量计组件包括：<...
【技术特征摘要】
1.一种弥散系统，其特征在于，应用于镀膜设备，所述弥散系统包括：
2.根据权利要求1所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中，位于所述对称面同一侧的多个所述分支管段沿第一方向排列，且依次连接，靠近所述对称面的所述分支管段与所述总管道的第一端连接；
3.根据权利要求1所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中，多个所述均流板中心对称布置，每个所述分支管段的一端与所述总管道的第二端连通，每个所述分支管段的另一端与对应的所述均流板的所述进气孔连通，其中，每个所述分支管段的长度相等。
4.根据权利要求3所述的弥散系统，...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，孔琪，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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