【技术实现步骤摘要】
本申请涉及多晶硅制备，尤其涉及一种汽化过热装置和还原设备。
技术介绍
1、改良西门子方法生产多晶硅方法路线包括：利用氯化氢和工业硅粉在一定温度下反应生成三氯氢硅，同时利用冷氢化反应器，硅粉与还原尾气回收的四氯化硅、氯化氢以及氢气反应生成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行精馏提纯，提纯的三氯氢硅与氢气按照一定混合比例引入多晶硅还原炉，三氯氢硅被氢气还原成元素硅，并沉积在硅芯表面，逐渐生成所需规格的多晶硅。
2、相关技术中，常规的三氯氢硅汽化即过热流程为：液相三氯氢硅首先进入汽化器进行汽化，离开汽化器的气相三氯氢硅，再由管道进入过热器，经过热器过热后送还原炉进行反应。然而，相关技术中的过热流程，液相三氯氢硅在进行汽化之前，不能较好对其进行预热，三氯氢硅的反应效率较低。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供一种汽化过热装置和和还原设备，通过预热器能够在液相三氯氢硅进行汽化之前对其进行预热处理，从而有助于提高三氯氢硅的反应效率，进而提升后续加热过程中的热效率。
2、为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：
3、第一方面，本申请的实施例提供一种汽化过热装置，包括预热器、汽化器和过热器；所述预热器包括预热器壳体，所述预热器壳体具有预热器釜，所述汽化器包括汽化器壳体，所述汽化器壳体具有汽化器釜，所述过热器包括过热器壳体，所述过热器壳体具有过热器釜；所述汽化器连通所述预热器和所述过热器，所述预热器靠近所述汽化器的进气口一侧，所述过热器靠近所述汽化器的排气口一侧，所述
4、在一种可能的实现方式中，所述预热器和所述过热器设置在所述汽化器釜中，所述预热器釜和所述过热器釜均与所述汽化器釜连通；且，所述预热器壳体和所述过热器壳体分别与所述汽化器壳体耦合。
5、在一种可能的实现方式中，所述汽化器釜具有连通的第一段和第二段；所述预热器壳体耦合于所述第一段中，所述过热器壳体耦合于所述第二段中。
6、在一种可能的实现方式中，所述汽化器釜还具有中部段，所述中部段连通于所述第一段和所述第二段之间；所述预热器壳体和所述过热器壳体的至少一者耦合于所述中部段中。
7、在一种可能的实现方式中，所述预热器壳体耦合于所述第一段和所述中部段中，所述预热器壳体耦合于所述第二段中；或，所述预热器壳体耦合于所述第一段中，所述预热器壳体耦合于所述第二段和所述中部段中。
8、在一种可能的实现方式中，所述预热器壳体耦合于所述第一段和至少部分所述中部段，所述过热器壳体耦合于所述第二段和至少部分所述中部段。
9、在一种可能的实现方式中，还包括温度检测器；所述温度检测器设置于所述汽化器釜的第一段，所述温度检测器用于检测所述第一段内的反应温度；和/或，所述温度检测器设置于所述汽化器釜的中部段，所述温度检测器用于检测所述中部段内的反应温度；和/或，所述温度检测器设置于所述汽化器釜的第二段，所述温度检测器用于检测所述第二段内的反应温度。
10、在一种可能的实现方式中，所述汽化器包括耐腐蚀件；和/或，所述过热器包括耐高温件；和/或，所述预热器包括耐高温件；和/或，所述汽化器的进气口设置有密封件；和/或，所述汽化器的排气口设置有密封件；和/或，所述汽化器壳体的外部包裹有保温件。
11、在一种可能的实现方式中，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器通过法兰相连；或，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器卡接相连；或，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器螺接相连；或，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器铆接相连；或，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器焊接相连。
12、第二方面，本申请的实施例提供一种还原设备，至少包括精馏设备、还原设备和三氯氢硅汽化设备，所述精馏设备连通于所述三氯氢硅汽化设备和所述还原设备之间。
13、本申请提供的汽化过热装置和还原设备，包括预热器、汽化器和过热器，所述预热器壳体和所述过热器壳体耦合于所述汽化器釜中，所述预热器釜和所述过热器釜均与所述汽化器釜连通。这样，通过设置预热器，能够在液相三氯氢硅进行汽化之前对其进行预热处理，从而有助于提高三氯氢硅的反应效率，进而提升后续加热过程中的热效率。
14、本申请的构造以及它的其他申请目的及有益效果将会通过结合附图而对优选实施例的描述而更加明显易懂。
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1.一种汽化过热装置，其特征在于，用于还原设备，所述汽化过热装置包括预热器、汽化器和过热器；
2.根据权利要求1所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器和所述过热器设置在所述汽化器釜中，所述预热器釜和所述过热器釜均与所述汽化器釜连通；
3.根据权利要求2所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器釜具有连通的第一段和第二段；
4.根据权利要求3所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器釜还具有中部段，所述中部段连通于所述第一段和所述第二段之间；
5.根据权利要求4所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器壳体耦合于所述第一段和所述中部段中，所述过热器壳体耦合于所述第二段中；
6.根据权利要求4所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器壳体耦合于所述第一段和至少部分所述中部段，所述过热器壳体耦合于所述第二段和至少部分所述中部段。
7.根据权利要求4-6中任一项所述的汽化过热装置，其特征在于，还包括温度检测器和控制器，所述温度检测器和所述控制器电连接，所述温度检测器用于检测所述汽化器釜内的温度，并发送电信号至所述
8.根据权利要求1-6中任一项所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器包括耐腐蚀件；和/或，所述过热器包括耐高温件；和/或，所述预热器包括耐高温件；
9.根据权利要求1-6中任一项所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器通过法兰相连；或，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器卡接相连；或，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器螺接相连；或，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器铆接相连；或，所述汽化器分别和所述预热器、所述过热器焊接相连。
10.一种还原设备，其特征在于，包括还原炉和权利要求1-9中任一项所述的汽化过热装置，所述汽化过热装置的过热器连通于所述汽化器和所述还原炉之间。
...【技术特征摘要】
1.一种汽化过热装置，其特征在于，用于还原设备，所述汽化过热装置包括预热器、汽化器和过热器；
2.根据权利要求1所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器和所述过热器设置在所述汽化器釜中，所述预热器釜和所述过热器釜均与所述汽化器釜连通；
3.根据权利要求2所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器釜具有连通的第一段和第二段；
4.根据权利要求3所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器釜还具有中部段，所述中部段连通于所述第一段和所述第二段之间；
5.根据权利要求4所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器壳体耦合于所述第一段和所述中部段中，所述过热器壳体耦合于所述第二段中；
6.根据权利要求4所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器壳体耦合于所述第一段和至少部分所述中部段，所述过热器壳体耦合于所述第二段和至少部分所述中部段。
7.根据权利要求4-6中任一项所述的汽化过热装置，其特征在于，还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛皓中，赵国强，葛蒙，马迎杰，段毓达，柯曾鹏，韦岗锁，陈斌，陈维平，骆彩萍，
申请(专利权)人：华陆工程科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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