【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的领域涉及感应加热型减排设备，且特别地涉及一种用于感应加热型减排设备的工作线圈。
技术介绍
1、包括工作线圈的感应加热型减排设备是已知的。工作线圈用于感应加热感受器。在感应加热型减排设备中，感受器可以是多孔减排室。虽然存在包括工作线圈的感应加热型减排设备，但它们会具有缺点。因此，期望提供一种改进的感应加热型减排设备和工作线圈。
技术实现思路
1、根据第一方面，提供了一种用于处理来自半导体加工工具的流出物流的感应加热型减排设备，该感应加热型减排设备包括：工作线圈，其被构造成感应加热限定减排室的多孔感受器以用于处理流出物流，其中，工作线圈是中空的以限定与反应试剂源联接的管道，并且其中，工作线圈的至少一个表面限定与管道流体连通的多个孔口以用于将反应试剂从管道输送到工作线圈的表面，以便供应到多孔感受器。
2、用于感应加热型减排设备的一些工作线圈(也称为电感器或电感器线圈)是水冷却的，但大多数工作线圈并未被冷却。第一方面认识到，典型的工作线圈在效率方面存在缺陷。特别地，已认识到，缺乏冷却会导致工作线圈的不期望的表面氧化和退火。结果，工作线圈会变软并且容易变形。虽然水冷却能够有所助益，但它效率低下，因为它引起热量损失。
3、因此，提供了一种减排设备。该减排设备可以是感应加热型减排设备。该减排设备可用于处理来自半导体加工工具的流出物流。该减排设备可包括工作线圈。工作线圈可被构造成、调适成或布置成感应加热多孔感受器。多孔感受器可限定用于处理流出物流的减排室。工作线
4、工作线圈可包括沿着工作线圈的轴向长度定位的多个线匝，并且孔口可围绕每个线匝周向地分布。以这种方式，能够在所期望的位置处并且以所期望的流速将反应试剂供应到限定减排室的多孔感受器，以在减排室内提供所需的减排条件。
5、孔口的分布在不同的线匝中可能不同。改变孔口的位置允许定制由工作线圈向减排室递送的反应试剂、以及使得能够定位孔口以避开电流穿过工作线圈的线匝的不同流动路径。
6、轴向外部线匝中的孔口可朝向该线匝的轴向中心部分分布。换句话说，轴向外部或端部线匝中的孔口可远离该线匝的轴向外部或端部部分分布。这种布置将孔口定位成远离流过该线匝的轴向最外部分的电流并朝向该线匝的轴向中心部分和/或轴向内部或端部部分。
7、轴向内部或内侧线匝中的孔口可朝向该线匝的轴向外部或端部部分分布。换句话说，轴向内部或内侧线匝中的孔口可远离该线匝的轴向中心或中间部分分布。轴向内部线匝通常是非为线圈的‘端部’线匝的任何线匝。这种布置将孔口定位成远离流过该线匝的轴向中心部分的电流并朝向该线匝的轴向外部部分。
8、相邻线匝之间的间距可沿着轴向长度而不同。通过改变线匝之间的间距，可沿着减排室的轴向长度定制所生成的磁场。而且，能够定制被供应到多孔感受器的反应试剂的量。
9、与轴向内部相邻的线匝相比，轴向外部相邻的线匝之间的间距可减小。换句话说，与轴向外部相邻的线匝相比，轴向内部相邻的线匝之间的间距可增大。如果轴向端部线匝与其紧邻的线匝之间的间距小于相邻的内部线匝(即，不包括端部线匝的相邻线匝)之间的间距，则所生成的磁场及因此对感受器的加热可能更均匀。
10、多个孔口可位于面向多孔感受器的表面上。这可有助于引导反应试剂朝向感受器的经历更高程度加热的位置，由此协助对那些位置的冷却。
11、多个孔口可位于面向远离多孔感受器的表面上。以这种方式，反应物试剂到达多孔感受器所采取的路径可能更加曲折。因此，可提供反应物试剂到减排室的更均匀和扩散供应，这能够促进减排。
12、表面可以是弯曲的和/或平面的。工作线圈可具有横截面，其可以是弯曲的和/或多边形的。跨越工作线圈的截面可包括任何合适的横截面，该横截面为反应试剂穿过工作线圈提供管道、提供所需的流动方向并且易于制造。横截面可包括弯曲边缘和/或直边缘。横截面的形状可以是具有弯曲边缘的梯形。这样的形状适合进行增材制造。
13、入口可具有挡板，该挡板被构造成、布置成或调适成引导反应试剂在工作线圈内周向地流动。因此，反应试剂可围绕工作线圈的线匝流动。
14、挡板可被构造成在工作线圈内沿相反的周向方向分割或划分反应试剂的流动。挡板的构型能够有助于提供反应试剂到孔口的均匀分布(而不是使穿过入口附近的孔口的反应试剂多于穿过远离入口的孔口的反应试剂)。
15、挡板可沿着管道周向地延伸，终止于盲端部之前，以将管道划分成相对的周向流动部分。这通过在每个线匝内提供逆向流动来延长流动路径，从而有助于增加工作线圈和反应试剂之间的热传递。
16、工作线圈可包括螺旋堆叠和/或轴向堆叠的线匝。轴向堆叠(或称为堆叠的带状线圈)已被示为与螺旋线圈相比对电气性能没有明显的有害影响，但它们与螺旋线圈相比能够提供显著的制造成本节约。
17、工作线圈可包括沿着工作线圈的轴向长度位于不同位置处的多个入口。换句话说，入口可包括沿着工作线圈的轴向长度位于不同位置处的多个入口。这能够促进反应试剂在工作线圈内和穿过孔口的均匀分布。
18、工作线圈可包围多孔感受器。通常，工作线圈和多孔感受器同轴定位。
19、减排设备可包括多孔感受器和多孔隔热器中的至少一者，该多孔隔热器被构造成可定位(或被定位)在工作线圈和多孔感受器之间。反应物试剂能够穿过多孔隔热器，由此允许工作线圈将试剂供应到限定减排室的多孔感受器。然而，在使用中，能够阻挡由限定减排室的多孔感受器发出的辐射热(例如，红外辐射)，以减少对工作线圈和/或壳体的加热。
20、减排设备可包括被构造成围封工作线圈的壳体。当工作线圈被壳体围封时，工作线圈可被定位在壳体的气室(plenum)内。
21、根据第二方面，提供了一种将感应加热型减排设备构造成用于处理来自半导体加工工具的流出物流的方法，该方法包括：供应工作线圈，该工作线圈被构造成感应加热限定减排室的多孔感受器以用于处理流出物流，其中，工作线圈是中空的以限定与反应试剂源联接的管道，并且其中，工作线圈的至少一个表面限定与管道流体连通的多个孔口以用于将反应试剂从管道输送到工作线圈的表面，以便供应到多孔感受器。
22、该方法可包括：将工作线圈绕限定减排室的多孔感受器定位。
23、该方法可包括：将多孔隔热器定位在工作线圈和限定减排室的多孔感受器之间。
24、该方法可包括：将工作线圈定位在壳体内部。...
【技术保护点】
1.一种用于处理来自半导体加工工具的流出物流的感应加热型减排设备，所述感应加热型减排设备包括：
2.根据权利要求1所述的减排设备，其中，所述工作线圈包括沿着所述工作线圈的轴向长度定位的多个线匝，并且所述孔口围绕每个线匝周向地分布。
3.根据权利要求2所述的减排设备，其中，所述孔口的分布在不同的线匝中不同。
4.根据权利要求2或3所述的减排设备，其中，轴向外部线匝中的孔口朝向该线匝的轴向中心部分分布。
5.根据权利要求2或3所述的减排设备，其中，轴向外部线匝中的孔口远离该线匝的轴向外部部分分布。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的减排设备，其中，轴向内部线匝中的孔口分布在该线匝的轴向外部部分内。
7.根据权利要求2至5中任一项所述的减排设备，其中，轴向内部线匝中的孔口远离该线匝的轴向中心部分分布。
8.根据权利要求2至7中任一项所述的减排设备，其中，相邻线匝之间的间距沿着所述轴向长度不同。
9.根据权利要求8所述的减排设备，其中，与轴向内部的相邻线匝相比，轴向外部的相邻线匝之间的所述间
10.根据权利要求8所述的减排设备，其中，与轴向外部的相邻线匝相比，轴向内部的相邻线匝之间的所述间距增加。
11.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其中，所述多个孔口位于面向所述多孔感受器的表面上。
12.根据权利要求2至10中任一项所述的减排设备，其中，所述多个孔口位于面向远离所述多孔感受器的表面上。
13.根据权利要求11或权利要求12所述的减排设备，其中，所述表面为弯曲的和平面的中的至少一种。
14.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其中，所述工作线圈的横截面为弯曲的和多边形的中的至少一种。
15.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其中，所述入口具有挡板，所述挡板被构造成在所述工作线圈内引导所述反应试剂周向地流动。
16.根据权利要求15所述的减排设备，其中，所述挡板被构造成在所述工作线圈内沿相反的周向方向分割所述反应试剂的流动。
17.根据权利要求16所述的减排设备，其中，所述挡板沿着所述管道周向地延伸，终止于盲端部之前以将所述管道划分成相对的周向流动部分。
18.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其中，所述工作线圈包括螺旋堆叠和轴向堆叠的线匝中的至少一者。
19.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其还包括沿着所述工作线圈的所述轴向长度位于不同位置处的多个所述入口。
20.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其中，所述工作线圈包围所述多孔感受器。
21.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其还包括所述多孔感受器和多孔隔热器中的至少一者，所述多孔隔热器被定位在所述工作线圈和所述多孔感受器之间。
22.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其还包括被构造成围封所述工作线圈的壳体。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于处理来自半导体加工工具的流出物流的感应加热型减排设备，所述感应加热型减排设备包括：
2.根据权利要求1所述的减排设备，其中，所述工作线圈包括沿着所述工作线圈的轴向长度定位的多个线匝，并且所述孔口围绕每个线匝周向地分布。
3.根据权利要求2所述的减排设备，其中，所述孔口的分布在不同的线匝中不同。
4.根据权利要求2或3所述的减排设备，其中，轴向外部线匝中的孔口朝向该线匝的轴向中心部分分布。
5.根据权利要求2或3所述的减排设备，其中，轴向外部线匝中的孔口远离该线匝的轴向外部部分分布。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的减排设备，其中，轴向内部线匝中的孔口分布在该线匝的轴向外部部分内。
7.根据权利要求2至5中任一项所述的减排设备，其中，轴向内部线匝中的孔口远离该线匝的轴向中心部分分布。
8.根据权利要求2至7中任一项所述的减排设备，其中，相邻线匝之间的间距沿着所述轴向长度不同。
9.根据权利要求8所述的减排设备，其中，与轴向内部的相邻线匝相比，轴向外部的相邻线匝之间的所述间距减小。
10.根据权利要求8所述的减排设备，其中，与轴向外部的相邻线匝相比，轴向内部的相邻线匝之间的所述间距增加。
11.根据任一前述权利要求所述的减排设备，其中，所述多个孔口位于面向所述多孔感受器的表面上。
12.根据权利要求2至10中任一项所述的减排设...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·J·希里，I·D·本泽瓦尔，R·J·甘布尔顿，A·鲍文，
申请(专利权)人：埃地沃兹有限公司，
类型：发明
国别省市：
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