System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 体声波滤波器制造技术_技高网

体声波滤波器制造技术

技术编号:44539613 阅读:9 留言:0更新日期:2025-03-11 14:07
本申请涉及射频器件技术领域,具体涉及一种体声波滤波器,包括层叠设置的衬底、底电极、压电层以及顶电极;所述底电极上连接有接线端结构,所述接线端结构在所述衬底上形成第一投影区,所述压电层在所述衬底上形成第二投影区,所述第一投影区与第二投影区具有间距;所述接线端结构与所述底电极之间设置有电容或电感,用于实现所述接线端结构与所述底电极的电性连接。本申请能够有效提升滤波器的高频通过性,并降低杂波,改善滤波器件的使用性能。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及射频器件,具体而言,涉及一种体声波滤波器


技术介绍

1、近年来科技不断的进步以及通讯行业的发展,移动终端,例如手机越来越普及。为实现对特定频率信号的选择性通过或阻挡,滤波器成为移动终端中不可缺少的射频器件。2012年左右随着4g/lte的兴起以及近年来推出的5g,智能手机的移动数据流量激增,预计在未来几年内达到2b。新标准要求更高的数据速率,现有技术提供的射频器件无法在高频率的工况下满足应用需求,局限性太强,成为推进新标准落地的障碍。


技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种体声波滤波器,其能够有效提升滤波器的高频通过性,并降低杂波,改善滤波器件的使用性能。

2、本申请的实施例是这样实现的:

3、本申请实施例提供了一种体声波滤波器,包括层叠设置的衬底、底电极、压电层以及顶电极;所述底电极上连接有接线端结构,所述接线端结构在所述衬底上形成第一投影区,所述压电层在所述衬底上形成第二投影区,所述第一投影区与第二投影区具有间距;所述接线端结构与所述底电极之间设置有电容或电感,用于实现所述接线端结构与所述底电极的电性连接。

4、作为一种可选的实施方式,所述电容包括层叠设置在所述底电极上的第一电容电极层、介电层以及第二电容电极层。

5、作为一种可选的实施方式,所述电感包括层叠设置在所述底电极上的第一电感电极层、梳状电感层以及第二电感电极层。

6、作为一种可选的实施方式,所述底电极上连接有两个所述接线端结构,所述底电极上设置有两个分别与两个所述接线端结构连接的所述电容;或,所述底电极上设置有两个分别与两个所述接线端结构连接的所述电感;或,第一个所述接线端结构通过所述电容与所述底电极连接,第二个所述接线端结构通过所述电感与所述底电极连接。

7、作为一种可选的实施方式,两个所述接线端结构位于所述底电极背离所述衬底一侧。

8、作为一种可选的实施方式,两个所述接线端结构位于所述底电极靠近所述衬底一侧,且所述电容或所述电感嵌设在所述衬底中。

9、作为一种可选的实施方式,第一个所述接线端结构用于信号输入,第二个所述接线端结构用于信号输出。

10、作为一种可选的实施方式,还包括至少两个用于接地的接线端结构。

11、作为一种可选的实施方式,所述第一电容电极层包括第一钼电极层;所述第二电容电极层包括第一金电极层;所述介电层包括二氧化硅层。

12、作为一种可选的实施方式,所述第一电感电极层包括第二钼电极层;所述第二电感电极层包括第二金电极层;所述梳状电感层包括第三钼电极层。

13、本申请实施例的有益效果包括:

14、本申请实施例提供了一种体声波滤波器,包括层叠设置的衬底、底电极、压电层以及顶电极;本申请实施例的底电极上连接有接线端结构,接线端结构在衬底上形成第一投影区,压电层在衬底上形成第二投影区,第一投影区与第二投影区具有间距。本申请实施例的接线端结构与压电层之间具有间距,接线端结构与底电极之间设置有电容或电感,用于实现接线端结构与底电极的电性连接。本申请实施例提供的体声波滤波器能够有效提升滤波器的高频通过性,并降低杂波,改善滤波器件的使用性能。

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【技术保护点】

1.一种体声波滤波器,其特征在于,包括层叠设置的衬底(100)、底电极(101)、压电层(102)以及顶电极(103);所述底电极(101)上连接有接线端结构(104),所述接线端结构(104)在所述衬底(100)上形成第一投影区(105),所述压电层(102)在所述衬底(100)上形成第二投影区(106),所述第一投影区(105)与第二投影区(106)具有间距;所述接线端结构(104)与所述底电极(101)之间设置有电容(107)或电感(108),用于实现所述接线端结构(104)与所述底电极(101)的电性连接。

2.根据权利要求1所述的体声波滤波器,其特征在于,所述电容(107)包括层叠设置在所述底电极(101)上的第一电容电极层(109)、介电层(110)以及第二电容电极层(111)。

3.根据权利要求1所述的体声波滤波器,其特征在于,所述电感(108)包括层叠设置在所述底电极(101)上的第一电感电极层(112)、梳状电感层(113)以及第二电感电极层(114)。

4.根据权利要求1所述的体声波滤波器,其特征在于,所述底电极(101)上连接有两个所述接线端结构(104),所述底电极(101)上设置有两个分别与两个所述接线端结构(104)连接的所述电容(107);或,所述底电极(101)上设置有两个分别与两个所述接线端结构(104)连接的所述电感(108);或,第一个所述接线端结构(104)通过所述电容(107)与所述底电极(101)连接,第二个所述接线端结构(104)通过所述电感(108)与所述底电极(101)连接。

5.根据权利要求4所述的体声波滤波器,其特征在于,两个所述接线端结构(104)位于所述底电极(101)背离所述衬底(100)一侧。

6.根据权利要求4所述的体声波滤波器,其特征在于,两个所述接线端结构(104)位于所述底电极(101)靠近所述衬底(100)一侧,且所述电容(107)或所述电感(108)嵌设在所述衬底(100)中。

7.根据权利要求4-6任一项所述的体声波滤波器,其特征在于,第一个所述接线端结构(104)用于信号输入,第二个所述接线端结构(104)用于信号输出。

8.根据权利要求7所述的体声波滤波器,其特征在于,还包括至少两个用于接地的接线端结构(104)。

9.根据权利要求2所述的体声波滤波器,其特征在于,所述第一电容电极层(109)包括第一钼电极层;所述第二电容电极层(111)包括第一金电极层;所述介电层(110)包括二氧化硅层。

10.根据权利要求3所述的体声波滤波器,其特征在于,所述第一电感电极层(112)包括第二钼电极层;所述第二电感电极层(114)包括第二金电极层;所述梳状电感层(113)包括第三钼电极层。

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【技术特征摘要】

1.一种体声波滤波器,其特征在于,包括层叠设置的衬底(100)、底电极(101)、压电层(102)以及顶电极(103);所述底电极(101)上连接有接线端结构(104),所述接线端结构(104)在所述衬底(100)上形成第一投影区(105),所述压电层(102)在所述衬底(100)上形成第二投影区(106),所述第一投影区(105)与第二投影区(106)具有间距;所述接线端结构(104)与所述底电极(101)之间设置有电容(107)或电感(108),用于实现所述接线端结构(104)与所述底电极(101)的电性连接。

2.根据权利要求1所述的体声波滤波器,其特征在于,所述电容(107)包括层叠设置在所述底电极(101)上的第一电容电极层(109)、介电层(110)以及第二电容电极层(111)。

3.根据权利要求1所述的体声波滤波器,其特征在于,所述电感(108)包括层叠设置在所述底电极(101)上的第一电感电极层(112)、梳状电感层(113)以及第二电感电极层(114)。

4.根据权利要求1所述的体声波滤波器,其特征在于,所述底电极(101)上连接有两个所述接线端结构(104),所述底电极(101)上设置有两个分别与两个所述接线端结构(104)连接的所述电容(107);或,所述底电极(101)上设置有两个分别与两个所述接线端结构(104)连接的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:代金豪李俊楠韩金钊蔡耀
申请(专利权)人:武汉敏声新技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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