【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
1、在半导体制造中，等离子处理室利用射频(rf)能量来产生等离子体。。等离子体通常由某一射频频率下的射频交流电产生和维持，此过程中，等离子体室中使用的气源被激发和离子化。等离子处理室可用于工业过程，例如，但不限于，半导体制造过程中的材料表面处理或等离子蚀刻。为了实现射频发生器和等离子负载之间的有效能量传输，通常使用阻抗匹配网络将负载阻抗与源阻抗(例如50欧姆)匹配。
2、等离子室内所存在的电阻抗可能会发生很大且快速的变化。射频能量发生器的输出阻抗应与等离子室快速变化的负载阻抗密切匹配，以避免由能量反射返回至射频功率发生器的输出电路所带来的损害，这种情况可能在阻抗不匹配时发生。阻抗匹配装置(例如匹配网络)用于将等离子处理室的负载阻抗与射频功率发生器的输出阻抗相匹配。对于快速变化的负载阻抗，匹配网络必须相应地动态匹配阻抗。
3、在一些等离子室的实施方式中，低频固态电容器使用对称碳化硅mosfet(金属氧化物半导体场效应晶体管)开关来提供匹配，其中对称碳化硅mosfet开关连接至逻辑控制器。其他类型的晶体管也可用于mosfet的补充或替代。开关充当将元件(例如电容器)以将电抗组件引入和引出电路。这些开关和电抗元件以二进制并联布置的方式进行排列，其中这些装置中的某些设备的驱动会引起装置的调谐。本专利技术公开的隔离式栅极驱动电源的布置比先前已知的此类开关的实施方式有所改进。
4、应当理解的是，上述提及的
技术介绍
有助于理解本专利技术的内容，但
技术介绍
部分中的任何内容都不应被解释为与本专利技术描
技术实现思路
1、在本专利技术一个实施例中，提供了一种开关电路，其包括为电路内的每一开关提供隔离电源。当用于匹配网络时，如用于可变电抗匹配网络时，多个隔离电源的使用改善了开关的功能，其中，使用来自主电源的磁电感分别给每一隔离电源供电。
2、下面将参考附图以更详细地描述本专利技术的各个方面。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种开关电路，其特征在于，所述开关电路包括：
2.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，所述输出信号由控制器通过数据总线提供。
3.根据权利要求2所述的开关电路，其特征在于，所述数据总线为光学数据总线。
4.根据权利要求3所述的开关电路，其特征在于，所述开关电路还包括：
5.根据权利要求2所述的开关电路，其特征在于，多个开关元件通过数据总线共同接收二进制信号。
6.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，多个开关元件中的每一个开关元件均包括驱动电路，所述驱动电路包括：整流器；一个或多个滤波器；以及，放大器。
7.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，多个电抗元件包括多个电容器。
8.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，多个电抗元件包括多个电感器、多个电阻器或两者的组合。
9.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，所述开关电路还包括：
10.一种混合匹配网络，其特征在于，所述混合匹配网络包括：
11.根据权利要求10所述的混合匹配网络，其特
12.根据权利要求11所述的混合匹配网络，其特征在于，多个开关元件通过数据总线共同接收二进制信号的集合。
13.根据权利要求10所述的混合匹配网络，其特征在于，多个开关元件中的每一个开关元件均包括驱动电路，所述驱动电路包括：整流器；一个或多个滤波器；以及，放大器。
14.根据权利要求10所述的混合匹配网络，其特征在于，多个电抗元件包括多个电容器。
15.根据权利要求10所述的混合匹配网络，其特征在于，多个电抗元件包括多个电感器、多个电阻器或两者的组合。
16.根据权利要求10所述的混合匹配网络，其特征在于，所述混合匹配网络还包括：
17.一种射频等离子体处理装置，其特征在于，所述射频等离子体处理装置包括：
18.根据权利要求17所述的射频等离子体处理装置，其特征在于，所述输出信号由控制器通过数据总线提供。
19.根据权利要求17所述的射频等离子体处理装置，其特征在于，多个开关元件中的每一个开关元件均包括驱动电路，所述驱动电路包括：整流器；一个或多个滤波器；以及，放大器。
20.根据权利要求17所述的射频等离子体处理装置，其特征在于，所述开关电路还包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种开关电路，其特征在于，所述开关电路包括：
2.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，所述输出信号由控制器通过数据总线提供。
3.根据权利要求2所述的开关电路，其特征在于，所述数据总线为光学数据总线。
4.根据权利要求3所述的开关电路，其特征在于，所述开关电路还包括：
5.根据权利要求2所述的开关电路，其特征在于，多个开关元件通过数据总线共同接收二进制信号。
6.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，多个开关元件中的每一个开关元件均包括驱动电路，所述驱动电路包括：整流器；一个或多个滤波器；以及，放大器。
7.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，多个电抗元件包括多个电容器。
8.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，多个电抗元件包括多个电感器、多个电阻器或两者的组合。
9.根据权利要求1所述的开关电路，其特征在于，所述开关电路还包括：
10.一种混合匹配网络，其特征在于，所述混合匹配网络包括：
11.根据权利要求10所述的混合匹配网络，其特征在于，所述输出信号由控制器通过数据总线提供。
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【专利技术属性】
技术研发人员：安东尼·奥丽维提，J·科克伍德·拉夫，
申请(专利权)人：科米特技术美国股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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