【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备，尤其涉及一种晶圆盘扩膜装置。
技术介绍
1、晶圆盘扩膜装置主要用于半导体制造过程中，通过扩展晶圆盘表面的膜层，提升其表面质量和薄膜均匀性，该技术对于提升集成电路的性能和良率具有重要作用，传统的扩膜技术常面临膜层不均匀、效率低等问题，因此需要更高效、精确的设备来满足日益增长的制程要求。
2、然而在实际使用时，仍然存在以下不足，比如：现有的晶圆盘扩膜装置，无法对晶圆盘扩膜前进行水平偏移晃动，将液态薄膜能够均匀地散布至晶圆表面，如果晶圆盘不能在扩膜前进行水平偏移晃动，那么液态薄膜可能无法均匀地分布在晶圆表面上。这会导致薄膜厚度不一，从而影响后续工艺的精度和芯片的质量，由于薄膜分布不均，可能需要额外的步骤来修正或重新涂布，这将增加生产时间和成本，手动调整晶圆盘的角度和位置以实现薄膜的均匀分布，对操作人员的技能要求较高，且容易出错。
3、因此本专利技术提出一种晶圆盘扩膜装置解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，提出一种晶圆盘扩膜装置。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种晶圆盘扩膜装置，包括：
3、底座；
4、固定组件，固定组件置于底座顶部的一侧，固定组件包括设置在底座顶部一侧的压板，所述压板的底部设置有晶圆盘，所述晶圆盘内设置有顶圈，所述顶圈的底部设置有托板，所述托板的底部螺纹连接有固定螺栓，所述托板的底部一侧固定连接有固定板；
6、作为一种优选的实施方式，所述固定板上固定连接有固定块，所述固定板上开设有第一限位槽。
7、采用上述进一步方案的有益效果是：由于固定板上固定连接有固定块，使得固定板能够对固定块起到支撑固定的作用，抬升组件通过设置的固定块，使得抬升组件能够将固定组件以及固定组件上固定的晶圆盘进行抬升或下降，由于固定板上开设有第一限位槽，使得第二限位杆能够插设至第一限位槽内，使得能够通过限位组件将固定组件固定在旋转组件上。
8、作为一种优选的实施方式，所述锥齿轮与齿槽啮合，所述第一限位杆滑动连接在第二限位槽内，所述第二转动块的另一端转动连接在第一转动块上。
9、采用上述进一步方案的有益效果是：由于锥齿轮与齿槽啮合，使得锥齿轮在转动时，锥齿轮能够带动第一转动块进行转动，由于第一限位杆滑动连接在第二限位槽内，使得第一限位杆能够对第一限位板的移动起到限位作用，由于第二转动块的另一端转动连接在第一转动块上，使得连接板在转动时，能够对其起到限位作用。
10、作为一种优选的实施方式，所述连接板上设置有限位组件，所述限位组件包括第二限位杆，所述第二限位杆固定连接在连接板上，所述第二限位杆上滑动连接有第一滑块，所述第二限位杆上设置有伸缩弹簧，所述第二限位杆的顶部转动连接有第一限位块。
11、采用上述进一步方案的有益效果是：将第二限位杆插设至固定组件上的第一限位槽内，随后转动第一限位块，使得固定组件能够固定在旋转组件上，当连接板移动时，第二限位杆上的伸缩弹簧被压缩或拉伸。
12、作为一种优选的实施方式，所述伸缩弹簧的一端固定连接在连接板上，所述伸缩弹簧的另一端固定连接在第一滑块上，所述第二限位杆设置在第一限位槽内。
13、采用上述进一步方案的有益效果是：随着连接板的继续移动，第一滑块在第二限位杆上滑动，并通过伸缩弹簧的作用力保持与连接板的相对位置不变，当第一滑块到达第一限位槽的位置时，由于伸缩弹簧的作用力，第一滑块被卡入第一限位槽中，随后操作人员转动第一限位块，使得固定组件固定连接在旋转组件上，从而实现对晶圆盘的缓冲和限位。
14、作为一种优选的实施方式，所述底座上靠近旋转组件的一侧设置有抬升组件，所述抬升组件包括支撑座，所述支撑座固定连接在底座上，所述支撑座上固定连接有伸缩杆。
15、采用上述进一步方案的有益效果是：当需要调整晶圆盘的高度或需要对晶圆盘进行扩膜时，启动电动推杆，电动推杆的输出端推动第二滑块在第二限位块上滑动。
16、作为一种优选的实施方式，所述伸缩杆的另一端固定连接有第二限位板，所述第二限位板上开设有第三限位槽，所述支撑座的顶部固定连接有第二限位块。
17、采用上述进一步方案的有益效果是：从而带动第三限位杆在第三限位槽内上下移动，由于第三限位杆与第二滑块固定连接，因此第二限位板会随着第三限位杆的移动而升降。
18、作为一种优选的实施方式，所述第二限位块上安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有第二滑块，所述第二滑块滑动连接在第二限位块上。
19、采用上述进一步方案的有益效果是：同时，支撑臂也会随之上升或下降，以适应不同高度的晶圆盘。
20、作为一种优选的实施方式，所述第二滑块上固定连接有第三限位杆，所述第三限位杆滑动连接在第三限位槽内，所述第二限位板上固定连接有支撑臂。
21、采用上述进一步方案的有益效果是：能够精确地控制晶圆盘的高度，使得能够在扩膜过程前调整晶圆盘至合适高度而便于操作。
22、与现有技术相比，本专利技术的优点和积极效果在于：
23、1、本专利技术中，首先，将晶圆盘放置在压板底部，并通过固定螺栓和托板将其稳固地固定在固定板上，接着，启动旋转组件中的第一传动电机和第二传动电机，通过设置的两组第一传动电机、第一转动杆、第二转动杆以及活动球等部件的配合，第一传动电机的输出端会带动第一转动杆以及第二转动杆进行转动，使得两组第二转动杆能够活动杆进行旋转，从而调整晶圆盘的位置，同时，第二传动电机驱动锥齿轮转动，进一步带动第一转动块在固定壳内转动，实现对晶圆盘的旋转扩膜，整个过程中，各部件协同工作，实现了对晶圆盘扩膜前进行水平偏移晃动，使得液态薄膜能够均匀地散布至晶圆表面。
24、2、本专利技术中，将第二限位杆插设至固定组件上的第一限位槽内，随后转动第一限位块，使得固定组件能够固定在旋转组件上，当连接板移动时，第二限位杆上的伸缩弹簧被压缩或拉伸，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述固定板（26）上固定连接有固定块（27），所述固定板（26）上开设有第一限位槽（28）。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述锥齿轮（310）与齿槽（312）啮合，所述第一限位杆（316）滑动连接在第二限位槽（315）内，所述第二转动块（317）的另一端转动连接在第一转动块（311）上。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述连接板（313）上设置有限位组件（4），所述限位组件（4）包括第二限位杆（41），所述第二限位杆（41）固定连接在连接板（313）上，所述第二限位杆（41）上滑动连接有第一滑块（42），所述第二限位杆（41）上设置有伸缩弹簧（43），所述第二限位杆（41）的顶部转动连接有第一限位块（44）。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述伸缩弹簧（43）的一端固定连接在连接板（313）上，所述伸缩弹簧（43）的另一端固定连接在第一滑块（42）上，所述
6.根据权利要求1所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述底座（1）上靠近旋转组件（3）的一侧设置有抬升组件（5），所述抬升组件（5）包括支撑座（51），所述支撑座（51）固定连接在底座（1）上，所述支撑座（51）上固定连接有伸缩杆（52）。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述伸缩杆（52）的另一端固定连接有第二限位板（53），所述第二限位板（53）上开设有第三限位槽（54），所述支撑座（51）的顶部固定连接有第二限位块（57）。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述第二限位块（57）上安装有电动推杆（58），所述电动推杆（58）的输出端固定连接有第二滑块（55），所述第二滑块（55）滑动连接在第二限位块（57）上。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述第二滑块（55）上固定连接有第三限位杆（56），所述第三限位杆（56）滑动连接在第三限位槽（54）内，所述第二限位板（53）上固定连接有支撑臂（59）。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述固定板（26）上固定连接有固定块（27），所述固定板（26）上开设有第一限位槽（28）。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述锥齿轮（310）与齿槽（312）啮合，所述第一限位杆（316）滑动连接在第二限位槽（315）内，所述第二转动块（317）的另一端转动连接在第一转动块（311）上。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述连接板（313）上设置有限位组件（4），所述限位组件（4）包括第二限位杆（41），所述第二限位杆（41）固定连接在连接板（313）上，所述第二限位杆（41）上滑动连接有第一滑块（42），所述第二限位杆（41）上设置有伸缩弹簧（43），所述第二限位杆（41）的顶部转动连接有第一限位块（44）。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于：所述伸缩弹簧（43）的一端固定连接在连接板（313）上，所述伸缩弹簧（43）的另一端固定连接在第一滑块（42）上，...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢亮春，张小波，邓攀，
申请(专利权)人：深圳市新晶路电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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