【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及固晶，特别是涉及一种薄膜薄片分离装置。
技术介绍
1、在拾取晶片过程中，由于晶片通常是粘贴在薄膜上的，需要通过顶升装置将薄膜向上顶起，使该区域对应的晶片与薄膜进行初步分离后，才能通过吸嘴等拾取装置将晶片与薄膜完全分离。然而晶片通常厚度较薄，且材质较脆，顶起过程中晶片的外缘在与薄膜分离时容易发生破裂，造成材料浪费。目前行业内使用的顶升装置多采用多段式的结构，该结构包括内部壳体，以及位于壳体中的多个相互套接且可相对轴向相对移动的顶升组件、抵接于相邻两层顶升组件之间的弹簧、以及驱动最内层顶升组件抬升的驱动组件。使用时，驱动组件移动，带动顶升组件整体抬升。外层顶升组件与限位部抵接时即停止移动，此时弹簧压缩，使内层顶升组件仍可随驱动组件继续向上抬升，此时顶升组件的顶升端与薄膜的抵接面积减少，从而扩大晶片边缘与薄膜分离的面积。以此类推，顶升组件的顶升端最终形成中部向上凸起的“三角”结构，此时完成晶片与薄膜的初步分离。然而这种顶升装置在实际使用过程中，其顶升组件容易发生卡顿甚至卡死的问题，对生产效率造成影响。
技术实现思路
1、基于此，本专利技术的目的在于，提供一种薄膜薄片分离装置，其具有结构简单紧凑、灵活度高、不易发生卡死的优点。
2、一种薄膜薄片分离装置，包括：
3、壳体组件，所述壳体组件沿顶升方向设有导向孔；
4、顶块，所述顶块至少有两个且相互滑动套设，所述顶块包括顶升部和滑移部，所述顶升部滑动设置于所述导向孔中，所述滑移部设有滑槽，所述滑
5、驱动组件，所述驱动组件通过推杆驱动所述滑移座滑动，进而带动所述滚轴沿所述滑槽滑动。
6、本专利技术所述的一种薄膜薄片分离装置通过滚轴与倾斜滑槽的配合控制顶块的顶升，相较于传统结构不易发生卡死，且不需要弹簧、限位组件等结构对顶升过程进行控制，使整体结构更加简单紧凑。同时，本方案中顶块的移动可通过对倾斜段进行设计实现，简化了设计流程，且使得顶块的移动灵活度更高。
7、进一步地，所述滚轴在初始状态时位于所述滑槽的初始段，所述倾斜段沿抬升方向的行程高度由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增，所述倾斜段的倾斜角度相等或由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增。该结构可实现传统顶块的顶升方式，同时加快了顶升速度，提高了顶升效率。
8、进一步地，所述滚轴在初始状态时位于所述滑槽的初始段，所述滑槽分别设有两端与所述倾斜段和所述初始段连通的抬升段，所述抬升段的倾斜方向与所述倾斜段的倾斜方向相反，所述抬升段相互重合；所述倾斜段与所述初始段的距离由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增，或，所述倾斜段的倾斜角度由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递减。该结构改变了传统的顶升方式，降低了晶片的断裂风险。
9、进一步地，所述壳体组件内部设置有安装座，所述滑移座滑动设置于所述安装座上，所述滑移座上开设有斜槽，所述推杆穿设于所述安装座中，所述推杆上设置有滑杆，所述滑杆滑动穿设于所述斜槽中，从而将所述推杆的轴向移动转化为所述安装座的横向移动。该结构使顶块滑移过程中不易发生卡死，且提高顶块滑移的流畅度。
10、进一步地，所述安装座设置有用于限制所述滑移座滑动行程的挡板，所述滑移座两侧还设置有与所述安装座侧面滑动贴合的导向凸台。该结构对滑移座的滑动方向和行程长度进行了限位。
11、进一步地，所述安装座中设置有挡块，所述挡块开设有滑动孔，所述推杆滑动穿设于所述滑动孔中，所述推杆设置有与所述驱动组件抵接的抵接头，所述抵接头与所述挡块之间压缩设置有复位弹簧。该结构使装置实现自动复位。
12、进一步地，所述壳体组件包括外壳、盖板和上连接件，所述外壳内部设有容纳所述安装座的腔室，所述盖板通过所述上连接件与所述外壳可拆卸连接，所述盖板盖设于所述外壳一端并覆盖所述腔室，所述盖板中部开设有所述导向孔。该壳体组件便于拆装维护。
13、进一步地，所述上连接件设置有第一抵接凸缘，所述盖板上开设有与所述第一抵接凸缘对应的定位槽，所述第一抵接凸缘向所述定位槽延伸并与所述盖板抵接。该结构可实现对盖板的固定。
14、进一步地，所述壳体组件还包括内壁设有螺纹的下连接件，所述外壳底部设置有向外突起的定位凸台，所述下连接件套设于所述外壳底部，并设置有向与所述定位凸台顶面抵接的第二抵接凸缘。该结构便于实现装置的拆装。
15、进一步地，所述外壳的腔室中设置有一体成型的安装凸台，所述安装座设置于所述安装凸台上，并将所述腔室沿轴向分隔为负压腔以及容纳腔，所述盖板上还开设有若干与所述负压腔连通的吸附孔。该结构使运行过程中薄膜与盖板紧密贴合，便于薄膜与晶片的分离。
16、为了更好地理解和实施，下面结合附图详细说明本专利技术。
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1.一种薄膜薄片分离装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述滚轴在初始状态时位于所述滑槽的初始段，所述倾斜段沿抬升方向的行程高度由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增，所述倾斜段的倾斜角度相等或由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述滚轴在初始状态时位于所述滑槽的初始段，所述滑槽分别设有两端与所述倾斜段和所述初始段连通的抬升段，所述抬升段的倾斜方向与所述倾斜段的倾斜方向相反，所述抬升段相互重合；所述倾斜段与所述初始段的距离由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增，或，所述倾斜段的倾斜角度由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递减。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述壳体组件内部设置有安装座，所述滑移座滑动设置于所述安装座上，所述滑移座上开设有斜槽，所述推杆穿设于所述安装座中，所述推杆上设置有滑杆，所述滑杆滑动穿设于所述斜槽中，从而将所述推杆的轴向移动
5.根据权利要求4所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述安装座设置有用于限制所述滑移座滑动行程的挡板，所述滑移座两侧还设置有与所述安装座侧面滑动贴合的导向凸台。
6.根据权利要求4所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述安装座中设置有挡块，所述挡块开设有滑动孔，所述推杆滑动穿设于所述滑动孔中，所述推杆设置有与所述驱动组件抵接的抵接头，所述抵接头与所述挡块之间压缩设置有复位弹簧。
7.根据权利要求6所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述壳体组件包括外壳、盖板和上连接件，所述外壳内部设有容纳所述安装座的腔室，所述盖板通过所述上连接件与所述外壳可拆卸连接，所述盖板盖设于所述外壳一端并覆盖所述腔室，所述盖板中部开设有所述导向孔。
8.根据权利要求7所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述上连接件设置有第一抵接凸缘，所述盖板上开设有与所述第一抵接凸缘对应的定位槽，所述第一抵接凸缘向所述定位槽延伸并与所述盖板抵接。
9.根据权利要求8所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述壳体组件还包括内壁设有螺纹的下连接件，所述外壳底部设置有向外突起的定位凸台，所述下连接件套设于所述外壳底部，并设置有向与所述定位凸台顶面抵接的第二抵接凸缘。
10.根据权利要求4所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述外壳的腔室中设置有一体成型的安装凸台，所述安装座设置于所述安装凸台上，并将所述腔室沿轴向分隔为负压腔以及容纳腔，所述盖板上还开设有若干与所述负压腔连通的吸附孔。
...【技术特征摘要】
1.一种薄膜薄片分离装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述滚轴在初始状态时位于所述滑槽的初始段，所述倾斜段沿抬升方向的行程高度由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增，所述倾斜段的倾斜角度相等或由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述滚轴在初始状态时位于所述滑槽的初始段，所述滑槽分别设有两端与所述倾斜段和所述初始段连通的抬升段，所述抬升段的倾斜方向与所述倾斜段的倾斜方向相反，所述抬升段相互重合；所述倾斜段与所述初始段的距离由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递增，或，所述倾斜段的倾斜角度由套设于外部的所述顶块向套设于内部的所述顶块依次递减。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述壳体组件内部设置有安装座，所述滑移座滑动设置于所述安装座上，所述滑移座上开设有斜槽，所述推杆穿设于所述安装座中，所述推杆上设置有滑杆，所述滑杆滑动穿设于所述斜槽中，从而将所述推杆的轴向移动转化为所述安装座的横向移动。
5.根据权利要求4所述的一种薄膜薄片分离装置，其特征在于：所述安装座设置有用于限制所述滑移座滑动行程的挡板，所述滑移座两侧还设置有与所述安装座侧面滑动贴...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹巍，唐香，张永刚，曾胜林，
申请(专利权)人：广州诺顶智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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