【技术实现步骤摘要】
本申请涉及溶剂脱水，尤其是涉及一种有机溶剂脱水设备。
技术介绍
1、随着社会经济的不断发展以及科学技术水平的日益提高，我国的芯片产业也在蓬勃发展，晶圆清洗剂作为一种有机溶剂，能够对晶圆芯片进行清洗，从而对晶圆芯片表面的有机杂质和水性杂质进行脱除。
2、国内外对有机溶剂中微量水分脱除的工艺，一般分为精馏、吸附分离以及萃取三种，其中，吸附分离是微量水分脱除的主流工艺，能够通过吸附剂将有机溶剂中的微量水分吸附，从而保证晶圆清洗剂中化学品的浓度。
3、现有技术中存在了一种有机溶剂脱水设备，其包括进料管、预处理罐、若干吸附分离罐以及收集罐，预处理罐用于对自身内的有机溶剂进行预处理。进料管与预处理罐的顶部连通，预处理罐的底部通过管道，与其一吸附分离罐的顶部连通。若干吸附分离罐之间，通过管道首尾相连。最远离预处理罐的吸附分离罐的底部，通过管道与收集罐的顶部连通。使用时，进料管通入的有机溶剂，在预处理罐内被预处理后，被依次通入至每一吸附分离罐内，使得每一吸附分离罐内的吸附剂，均对有机溶剂内的水分进行吸附，吸附完成后，将有机溶剂再通入至收集罐内，完成脱水。
4、针对上述中的相关技术，由于现有技术，为保证对有机溶剂的脱水效果，对同一份有机溶剂进行多次吸附分离，因此设置了若干吸附分离罐，而这就增加了对有机溶剂的吸附成本，故有待改善。
技术实现思路
1、为了在保证对有机溶剂脱水效果的前提下，降低对有机溶剂的吸附成本，本申请提供一种有机溶剂脱水设备。
2、本申
3、一种有机溶剂脱水设备，包括进料管、预处理罐、吸附分离罐以及收集罐，所述吸附分离罐的数目设置为两个，并相连通设置，其一所述吸附分离罐与所述预处理罐相连通，另一所述吸附分离罐与所述收集罐连通，两个所述吸附分离罐之间还连通有吹出管，与所述预处理罐相连通的吸附分离罐上还设置有通气管，所述通气管的一端与靠近预处理罐的吸附分离罐连通，且另一端连通有氮气源，以使得通入的氮气能够将对应所述吸附分离罐内的水分通过吹出管，吹入至另一所述吸附分离罐内，远离所述预处理罐的吸附分离罐还用于将吹入的气体进行真空加热并脱除水分，且该所述吸附分离罐上还连通有回流管，所述回流管与另一吸附分离罐连通。
4、通过采用上述技术方案，相比于现有技术中，为保证对有机溶剂的脱水效果，对同一份有机溶剂进行多次吸附分离，因此设置了若干吸附分离罐，从而增加了对有机溶剂的吸附成本；本申请通过对通气管、吹气管与回流管的设置，使得通气管通入的氮气能够将与预处理罐连通的吸附分离罐内吸附剂内的水分吹出，并使得氮气与水分一同经由吹出管，进入另一吸附分离罐内，使得另一吸附分离罐对通入的气体进行真空加热并脱除水分，从而使得脱除水分后的氮气，经由回流管再次通入至与预处理罐相连的吸附分离罐内，进行循环利用，从而无需设置多个吸附分离罐，在保证对有机溶剂脱水效果的前提下，降低了对有机溶剂的吸附成本，同时还保证了对有机溶剂的脱水效果。
5、作为优选，每一所述吸附分离罐上均设置有循环机构与运输机构，每一所述循环机构均包括循环管、干燥箱与回料管，所述循环管的一端均与对应所述吸附分离罐连通，另一端均与对应所述干燥箱连通，所述运输机构均用于将对应吸附分离罐内的吸附剂，运输至对应所述循环管内，所述干燥箱均用于将自身内的吸附剂干燥，所述回料管的一端均与对应的干燥箱连通，另一端均与对应所述吸附分离罐的顶部连通。
6、通过采用上述技术方案，对循环机构与传输机构的设置，使得每一吸附分离罐内的吸附剂在吸附完成后，能够被运输机构运输至循环管内，然后经由循环管落至干燥箱内，使得干燥箱对吸附剂进行干燥，从而使得吸附剂再生，并保证吸附剂的再生彻底，再生后的吸附剂经由回料管，再次通入至对应吸附分离罐内，进行循环利用，从而进一步保证了对有机溶剂的脱水效果。
7、作为优选，每一所述运输机构均包括运输网盒、升降件、倾倒组件，所述升降件均用于带动对应所述运输网盒，沿对应所述吸附分离罐的高度方向位移，所述运输网盒的顶端均开口设置，所述倾倒组件kim用于带动所述运输网盒的开口方向发生改变，从而使得对应所述运输网盒内的吸附剂，通入所述循环管内。
8、通过采用上述技术方案，对运输机构的设置，使得在吸附剂吸附完成后，升降件能够带动运输网盒上移，从而使得运输网盒脱离有机溶剂，并位于有机溶剂的上方，此时倾倒组件带动运输网盒的靠口方向发生改变，从而使得运输网盒倾倒吸附剂，并使得吸附剂进入循环管内，实现对吸附剂的运输，有效方便了相关人员的操作。
9、作为优选，每一所述运输机构均还包括升降架，所述升降件均用于带动对应所述升降架，沿对应所述吸附分离罐的高度方向位移，所述运输网盒均与对应升降架转动连接，所述倾倒组件均用于带动对应运输网盒转动。
10、通过采用上述技术方案，对升降架的设置，使得升降件能够带动升降架进行升降，且当升降架抬升至有机溶剂液面的上方时，倾倒组件能够通过带动运输网盒转动，使得运输网盒将吸附剂进行倾倒，实现对吸附剂的驱动，使得运输网盒的升降与驱动步骤分开进行，有效保证了对吸附剂的顺利运输，同时还方便了相关人员的操控。
11、作为优选，每一所述运输网盒均包括网盒本体与中转架，所述中转架均与对应所述升降架转动连接，所述中转架均套设于对应所述网盒本体上，并与对应所述网盒本体滑动连接，所述倾倒组件均还用于驱动对应所述网盒本体发生滑移。
12、通过采用上述技术方案，对网盒本体与中转架的设置，使得在中转架发生转动时，倾倒组件能够带动网盒本体，相对于中转架发生滑移，从而使得网盒本体靠近循环管的一端，能够向下偏移并靠近循环管，从而使得网盒本体的一端与循环管相靠近，降低网盒本体与循环管之间的距离。
13、作为优选，每一所述倾倒组件包括转动件、驱动架、传动架与联动件，所述驱动架的顶端与对应所述升降架转动连接，所述传动架套设于对应驱动架上，并与对应所述驱动架滑动连接，所述传动架与对应网盒本体转动连接，所述转动件用于带动对应所述中转架转动，并用于通过所述联动件，带动对应所述驱动架发生转动。
14、通过采用上述技术方案，对倾倒组件的具体设置，使得转动件能够在带动转动架发生转动的同时，通过联动件带动驱动架发生转动，从而使得驱动架带动传动架发生位移，使得传动架带动网盒本体一端的位置发生改变，进而使得网盒本体能够相对于中转架发生滑移，实现了对网盒本体滑移的驱动，同时驱动架还能够阻碍网盒本体完全脱离升降架，有效保证了本申请的正常运行。
15、作为优选，每一所述联动件均包括联动架，所述联动架的一端与对应所述中转架转动连接，所述联动架的另一端与对应所述驱动架转动连接。
16、通过采用上述技术方案，对联动架的设置，使得中转架在发生转动时，能够带动联动架发生位移，从而使得联动架相对于中转架发生转动，进而使得联动架带动驱动架发生转动，实现了中转架与驱动架之间的联动，有效节省了本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种有机溶剂脱水设备，包括进料管(1)、预处理罐(2)、吸附分离罐(3)以及收集罐(4)，其特征在于：所述吸附分离罐(3)的数目设置为两个，并相连通设置，其一所述吸附分离罐(3)与所述预处理罐(2)相连通，另一所述吸附分离罐(3)与所述收集罐(4)连通，两个所述吸附分离罐(3)之间还连通有吹出管(31)，与所述预处理罐(2)相连通的吸附分离罐(3)上还设置有通气管(32)，所述通气管(32)的一端与靠近预处理罐(2)的吸附分离罐(3)连通，且另一端连通有氮气源，以使得通入的氮气能够将对应所述吸附分离罐(3)内的水分通过吹出管(31)，吹入至另一所述吸附分离罐(3)内，远离所述预处理罐(2)的吸附分离罐(3)还用于将吹入的气体进行真空加热，且该所述吸附分离罐(3)上还连通有回流管(33)，所述回流管(33)与另一吸附分离罐(3)连通。
2.根据权利要求1所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述吸附分离罐(3)上均设置有循环机构(5)与运输机构(6)，每一所述循环机构(5)均包括循环管(51)、干燥箱(52)与回料管(53)，所述循环管(51)的一端均与对应所
3.根据权利要求1所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述运输机构(6)均包括运输网盒(63)、升降件(64)、倾倒组件(65)，所述升降件(64)均用于带动对应所述运输网盒(63)，沿对应所述吸附分离罐(3)的高度方向位移，所述运输网盒(63)的顶端均开口设置，所述倾倒组件(65)Kim用于带动所述运输网盒(63)的开口方向发生改变，从而使得对应所述运输网盒(63)内的吸附剂，通入所述循环管(51)内。
4.根据权利要求3所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述运输机构(6)均还包括升降架(62)，所述升降件(64)均用于带动对应所述升降架(62)，沿对应所述吸附分离罐(3)的高度方向位移，所述运输网盒(63)均与对应升降架(62)转动连接，所述倾倒组件(65)均用于带动对应运输网盒(63)转动。
5.根据权利要求4所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述运输网盒(63)均包括网盒本体(631)与中转架(632)，所述中转架(632)均与对应所述升降架(62)转动连接，所述中转架(632)均套设于对应所述网盒本体(631)上，并与对应所述网盒本体(631)滑动连接，所述倾倒组件(65)均还用于驱动对应所述网盒本体(631)发生滑移。
6.根据权利要求5所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述倾倒组件(65)包括转动件(651)、驱动架(652)、传动架(653)与联动件(654)，所述驱动架(652)的顶端与对应所述升降架(62)转动连接，所述传动架(653)套设于对应驱动架(652)上，并与对应所述驱动架(652)滑动连接，所述传动架(653)与对应网盒本体(631)转动连接，所述转动件(651)用于带动对应所述中转架(632)转动，并用于通过所述联动件(654)，带动对应所述驱动架(652)发生转动。
7.根据权利要求6所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述联动件(654)均包括联动架(6541)，所述联动架(6541)的一端与对应所述中转架(632)转动连接，所述联动架(6541)的另一端与对应所述驱动架(652)转动连接。
8.根据权利要求5所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述网盒本体(631)靠近对应所述循环管(51)的一端均开有开口，所述网盒本体(631)的开口内均还设置有网架(67)，所述网架(67)的顶端与对应网盒本体(631)转动连接，所述网架(67)用于封闭对应网盒本体(631)的开口，每一所述运输机构(6)均还包括抵接架(68)，所述抵接架(68)设置于对应所述吸附分离罐(3)的内壁上，并位于对应所述网架(67)底部的位移路径上。
9.根据权利要求8所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述网盒本体(631)的底部均还向上延伸有抵接部(6311)，所述抵接部(6311)位于对应所述网架(67)靠近对应所述抵接架(68)的一侧，并均与对应所述网架(67)的底部相抵。
10.根据权利要求5所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述运输机构(6)均还包括对接架(61)，所述对...
【技术特征摘要】
1.一种有机溶剂脱水设备，包括进料管(1)、预处理罐(2)、吸附分离罐(3)以及收集罐(4)，其特征在于：所述吸附分离罐(3)的数目设置为两个，并相连通设置，其一所述吸附分离罐(3)与所述预处理罐(2)相连通，另一所述吸附分离罐(3)与所述收集罐(4)连通，两个所述吸附分离罐(3)之间还连通有吹出管(31)，与所述预处理罐(2)相连通的吸附分离罐(3)上还设置有通气管(32)，所述通气管(32)的一端与靠近预处理罐(2)的吸附分离罐(3)连通，且另一端连通有氮气源，以使得通入的氮气能够将对应所述吸附分离罐(3)内的水分通过吹出管(31)，吹入至另一所述吸附分离罐(3)内，远离所述预处理罐(2)的吸附分离罐(3)还用于将吹入的气体进行真空加热，且该所述吸附分离罐(3)上还连通有回流管(33)，所述回流管(33)与另一吸附分离罐(3)连通。
2.根据权利要求1所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述吸附分离罐(3)上均设置有循环机构(5)与运输机构(6)，每一所述循环机构(5)均包括循环管(51)、干燥箱(52)与回料管(53)，所述循环管(51)的一端均与对应所述吸附分离罐(3)连通，另一端均与对应所述干燥箱(52)连通，所述运输机构(6)均用于将对应吸附分离罐(3)内的吸附剂，运输至对应所述循环管(51)内，所述干燥箱(52)均用于将自身内的吸附剂干燥，所述回料管(53)的一端均与对应的干燥箱(52)连通，另一端均与对应所述吸附分离罐(3)的顶部连通。
3.根据权利要求1所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述运输机构(6)均包括运输网盒(63)、升降件(64)、倾倒组件(65)，所述升降件(64)均用于带动对应所述运输网盒(63)，沿对应所述吸附分离罐(3)的高度方向位移，所述运输网盒(63)的顶端均开口设置，所述倾倒组件(65)kim用于带动所述运输网盒(63)的开口方向发生改变，从而使得对应所述运输网盒(63)内的吸附剂，通入所述循环管(51)内。
4.根据权利要求3所述的一种有机溶剂脱水设备，其特征在于：每一所述运输机构(6)均还包括升降架(62)，所述升降件(64)均用于带动对应所述升降架(62)，沿对应所述吸附分离罐(3)的高度方向位移，所述运输网盒(63)均与对应升降架(62)转动连接，所述倾倒组件(65)均用于带动对应运输网盒(63)转动。
5.根据权利要求4所述的一种有...
【专利技术属性】
技术研发人员：许诗伟，平剑峰，
申请(专利权)人：江苏达诺尔科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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