【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及原子层沉积，尤其涉及一种粉末镀膜夹具。
技术介绍
1、粉末表面镀膜或者包覆方式有多种多样，其中运用比较广泛的方法是化学气相沉积(chemical vapor deposition,cvd)以及原子层沉积(atomic layer deposition，ald)。
2、化学气相沉积是将一种或多种气相前驱体同时通入反应室，在气相环境中进行反应，最后在材料表面进行薄膜生长的方法。原子层沉积是一种特殊的化学气相沉积技术，是通过将气相前驱体以脉冲的形式交替通人反应室并在沉积材料表面发生化学吸附反应实现沉积材料以单原子层的形式一层一层形成薄膜的方法。
3、原子层沉积(ald)技术作为一种优异的镀膜技术，因其沉淀的薄膜纯度高、均匀性及保行性好被广泛应用于粉体表面钝化表面改性，进而被广泛应用于led、储能、太阳能等诸多领域。
4、在粉体上进行原子层沉积薄膜包覆必须同时实现粉体间的分散以及镀膜的完全包覆。目前主要的技术方式有：流化床方式(fluidizedbed)、振动式(vibration)、脉冲式气压法、旋转法、机械搅拌法等。
5、但是上述的几种方法都可以将粉末分散开，流化床、振动式、旋转法、机械搅拌法可使粉体或者薄膜破损，进行影响包覆效果，脉冲式气压法分散效果差，对于设备的压力控制有较高要求。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供一种粉末镀膜夹具。
2、具体地，本专利技术是通过如下技术方案实现的：
3、
4、夹持件，用于夹持粉末内胆；所述夹持件内设置有密闭空间；
5、粉末内胆，用于承载粉尘；所述粉末内胆设置于所述密闭空间中；
6、进气口，用于供向所述密闭空间中进气；所述进气口设置于所述夹持件上，且与所述密闭空间连接；
7、抽气口，用于供从所述密闭空间中抽气；所述抽气口设置于所述夹持件上，且靠近所述粉末内胆，并与所述密闭空间连接。
8、可选地，所述夹持件包括：底壳和上盖，其中，所述底壳和所述上盖的边缘对应密闭连接，并于二者之间形成所述密闭空间，所述进气口设置于所述底壳上，所述抽气口设置于所述上盖上。
9、可选地，所述进气口设置于与所述抽气口相对的远端。
10、可选地，所述进气口的孔径为6～40mm。
11、可选地，所述抽气口的孔径为80～120mm。
12、可选地，所述粉末内胆呈圆柱状。
13、可选地，所述粉末内胆的直径为80-120mm。
14、可选地，所述粉末内胆的高度为10-20mm。
15、可选地，所述粉末内胆包括：下档环、上档环、下滤网和上滤网，其中，所述上档环与所述密闭空间的内壁连接，所述下档环与所述上档环对应连接，且二者的通孔对准，所述下滤网和所述上滤网设置于所述下档环和所述上档环之间，所述上滤网覆盖所述上档环的通孔，所述下滤网覆盖所述下档环的通孔，所述抽气口的圆心、所述下档环的圆心和所述上档环的圆心重合。
16、可选地，所述上滤网和所述下滤网的目数为800-2000目。
17、本专利技术提供的技术方案至少带来以下有益效果：
18、本申请提供的一种粉末镀膜夹具兼容现有的非粉末原子层沉积设备，无需设备改造就能进行粉体包覆；粉末夹具可直接放置于非粉末原子层沉积设备腔体内部，方便拆卸，灵活方便；滤网目数可进行调整，兼容不同粒径的粉体。
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1.一种粉末镀膜夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述夹持件包括：底壳和上盖，其中，所述底壳和所述上盖的边缘对应密闭连接，并于二者之间形成所述密闭空间，所述进气口设置于所述底壳上，所述抽气口设置于所述上盖上。
3.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述进气口设置于与所述抽气口相对的远端。
4.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述进气口的孔径为6～40mm。
5.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述抽气口的孔径为80～120mm。
6.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述粉末内胆呈圆柱状。
7.根据权利要求6所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述粉末内胆的直径为80-120mm。
8.根据权利要求6所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述粉末内胆的高度为10-20mm。
9.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述粉末内胆包括：下档环、上档环、下滤网和上滤网，其中，所述上档环与所述密闭空间
10.根据权利要求9所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述上滤网和所述下滤网的目数为800-2000目。
...【技术特征摘要】
1.一种粉末镀膜夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述夹持件包括：底壳和上盖，其中，所述底壳和所述上盖的边缘对应密闭连接，并于二者之间形成所述密闭空间，所述进气口设置于所述底壳上，所述抽气口设置于所述上盖上。
3.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述进气口设置于与所述抽气口相对的远端。
4.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述进气口的孔径为6～40mm。
5.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述抽气口的孔径为80～120mm。
6.根据权利要求1所述的粉末镀膜夹具，其特征在于，所述粉末内胆呈圆柱状。
7.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：王浙加，沈越，明帅强，沈云华，李明，张亦哲，戴昕童，李国庆，徐硕，闻梦瑶，
申请(专利权)人：嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，
类型：发明
国别省市：
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