【技术实现步骤摘要】
本公开涉及智能制造装备产业领域，具体涉及一种测量仪器。
技术介绍
1、测量仪器一般包括测头、运动系统和大理石平台。测头可以是光学测头或接触式测头，用于获取大理石平台上的工件的形状、表面轮廓或测量点的高度等几何量。运动系统包括一般可以包括对应不同方向的多个驱动结构，由此能够控制测头或大理石平台在不同方向移动。例如运动系统包括x轴驱动结构，y轴驱动结构和z轴驱动结构，分别控制测头和大理石平台在xyz三个方向相对运动。
2、测量仪器的检测精度和重复性跟多个因素相关，包括但不限于温度变化、机械结构变形、运行时间过长或算法缺陷等等，因此即使发现测量结果出现偏差，也需要通过大量的实验确认问题点，并针对性地提出合适的解决方案。然而对于结构复杂的测量仪器，不仅难以定位问题，也难以确定合适的解决方案。此外，不同的使用场景、不同厂家、不同型号的测量仪器的问题点往往不相同，因此难以直接在现有技术中获取有效的解决方案。
技术实现思路
1、本公开是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种能够提高滑块的运动稳定性的测量仪器。
2、为此，本公开提供了一种测量仪器，包括测头、运动系统和平台，所述测头用于测量待测物，所述运动系统包括至少一个控制所述测头和所述平台之间沿特定方向相对运动的驱动结构，所述平台用于放置所述待测物，所述驱动结构包括横梁、设置有所述测头并以可沿所述特定方向滑动的方式设置在所述横梁的滑块、光栅尺、以及沿所述特定方向设置在所述横梁的多个直线导轨，所述直线导轨包括导轨组件和多
3、由于现有的直线导轨具有导轨组件和与其配合的滑动组件，导轨组件与滑动组件滑配，并且通过滑动组件环抱导轨组件保证了滑动组件具有较高的运动直线度。因此，即使只使用一个直线导轨理论上就能够保证滑块的运动直线度，然而，在具有测头的测量仪器中，测头本身的重量较大，容易影响滑块的运动直线度，此时可以同时布置多个直线导轨，通过均化效应提高滑块的运动直线度。进一步地，若多个直线导轨都布置在同一个平面，部分方向的依然存在较大的旋转自由度，此时令多个直线导轨的安装面存在一定的角度，从而能够充分利用直线导轨在各个方向的旋转自由度，由此能够进一步限定滑块的转动。
4、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，其特征在于，所述光栅尺包括光栅尺固定板、光栅和读数头，所述光栅通过所述光栅尺固定板沿所述特定方向设置在所述横梁，所述读数头设置在所述滑块，所述光栅尺固定板从所述滑块的表面向所述测头突出，所述光栅设置在所述光栅尺固定板从所述滑块的表面向所述测头突出的部分。在这种情况下，将光栅设置在光栅尺固定板从滑块的表面向测头突出的部分，能够有效减少光栅和横梁与测头(或待测物)之间的距离。由于长度的测量结构与角度相关。因此光栅和横梁与测头(或待测物)之间的距离越短，则该影响的程度越小，从而能够提高精度。
5、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，所述光栅尺固定板设置于所述横梁的底部，所述光栅设置在所述光栅尺固定板的底部，所述读数头设置在所述滑块的底部。在这种情况下，光栅与读数头能够配合实现滑块在横梁上的位置测量。
6、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，所述第一安装面为所述横梁的顶面，所述第二安装面为所述横梁的正面。在这种情况下，能够基于横梁的形状实现第一直线导轨的滑块组件和第二直线导轨的滑块组件具有不同姿态。
7、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，所述第一安装面和所述第二安装面之间的夹角为30°、45°、60°或90°。
8、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，多个滑块组件包括分别设置在所述滑块两侧的两个滑块组件，所述两个滑块组件之间的间距不小于50毫米。由此能够获得较大的跨距，进而提高滑块的运动稳定性。
9、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，所述运动系统控制所述测头在x轴方向和z方向移动，并控制所述平台在y轴方向移动。
10、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，所述驱动结构包括安装在所述横梁上的传动机构，所述传动机构为丝杆传动、皮带传动或同步带传动，所述传动机构用于驱动所述滑块沿所述特定方向移动。
11、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，所述传动机构位于所述第一直线导轨和所述第二直线导轨之间。
12、另外，在本公开所涉及的测量仪器中，可选地，所述第一安装面和所述第二安装面的平面度不大于10微米。
13、根据本公开，能够提供一种能够提高滑块的运动稳定性的测量仪器。
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1.一种测量仪器，其特征在于，包括测头、运动系统和平台，所述测头用于测量待测物，所述运动系统包括至少一个控制所述测头和所述平台之间沿特定方向相对运动的驱动结构，所述平台用于放置所述待测物，所述驱动结构包括横梁、设置有所述测头并以可沿所述特定方向滑动的方式设置在所述横梁的滑块、光栅尺、以及沿所述特定方向设置在所述横梁的多个直线导轨，所述直线导轨包括导轨组件和多个滑块组件，所述导轨组件固定地设置在所述横梁，所述滑块组件与所述滑块固定连接，所述多个直线导轨包括设置在所述横梁上的第一安装面的第一直线导轨和设置在所述横梁上的第二安装面的第二直线导轨，所述第一安装面与所述第二安装面垂直于所述特定方向，所述第一安装面与所述第二安装面具有非零的夹角以使所述第一直线导轨的所述滑块组件和所述第二直线导轨的所述滑块组件具有不同姿态，所述光栅尺沿所述特定方向设置在所述横梁，并用于测量所述滑块在所述横梁的位置。
2.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，所述光栅尺包括光栅尺固定板、光栅和读数头，所述光栅通过所述光栅尺固定板沿所述特定方向设置在所述横梁，所述读数头设置在所述滑块，所述光栅尺固
3.根据权利要求2所述的测量仪器，其特征在于，所述光栅尺固定板设置于所述横梁的底部，所述光栅设置在所述光栅尺固定板的底部，所述读数头设置在所述滑块的底部。
4.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，所述第一安装面为所述横梁的顶面，所述第二安装面为所述横梁的正面。
5.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，所述第一安装面和所述第二安装面之间的夹角为30°、45°、60°或90°。
6.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，多个滑块组件包括分别设置在所述滑块两侧的两个滑块组件，所述两个滑块组件之间的间距不小于50毫米。
7.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，所述运动系统控制所述测头在X轴方向和Z方向移动，并控制所述平台在Y轴方向移动。
8.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，所述驱动结构包括安装在所述横梁上的传动机构，所述传动机构为丝杆传动、皮带传动或同步带传动，所述传动机构用于驱动所述滑块沿所述特定方向移动。
9.根据权利要求8所述的测量仪器，其特征在于，所述传动机构位于所述第一直线导轨和所述第二直线导轨之间。
10.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，所述第一安装面和所述第二安装面的平面度不大于10微米。
...【技术特征摘要】
1.一种测量仪器，其特征在于，包括测头、运动系统和平台，所述测头用于测量待测物，所述运动系统包括至少一个控制所述测头和所述平台之间沿特定方向相对运动的驱动结构，所述平台用于放置所述待测物，所述驱动结构包括横梁、设置有所述测头并以可沿所述特定方向滑动的方式设置在所述横梁的滑块、光栅尺、以及沿所述特定方向设置在所述横梁的多个直线导轨，所述直线导轨包括导轨组件和多个滑块组件，所述导轨组件固定地设置在所述横梁，所述滑块组件与所述滑块固定连接，所述多个直线导轨包括设置在所述横梁上的第一安装面的第一直线导轨和设置在所述横梁上的第二安装面的第二直线导轨，所述第一安装面与所述第二安装面垂直于所述特定方向，所述第一安装面与所述第二安装面具有非零的夹角以使所述第一直线导轨的所述滑块组件和所述第二直线导轨的所述滑块组件具有不同姿态，所述光栅尺沿所述特定方向设置在所述横梁，并用于测量所述滑块在所述横梁的位置。
2.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，所述光栅尺包括光栅尺固定板、光栅和读数头，所述光栅通过所述光栅尺固定板沿所述特定方向设置在所述横梁，所述读数头设置在所述滑块，所述光栅尺固定板从所述滑块的表面向所述测头突出，所述光栅设置在所述光栅尺固定板从所述滑块的表面向所述测头突出的部分。
3.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：章智伟，徐爱文，陈世超，陈航，陈源，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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