【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及供液设备领域，具体而言，涉及一种实时检测ph的半导体供液设备。
技术介绍
1、半导体处理工艺中需要使用到很多酸性或碱性的药液，通常通过泵将桶内的药液加到半导体设备。桶内的药液随着时间的增长，药液会与空气发生接触，从而使药液的ph值发生较大的变化，当药液的ph值的变化超过了允许的范围，药液失效而无法使用。而操作人员无法得知当前药液的ph值的是否发生变化，若药筒内部的药液已经失效，泵仍将失效的药液输送至半导体设备，从而影响了半导体设备的加工质量。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种实时检测ph的半导体供液设备，其能够实现一边抽取药液一边实时检测药液的ph，从而实时得知药液的ph值变化情况并及时更换失效的药液。
2、本专利技术的实施例是这样实现的：
3、本申请实施例的实时检测ph的半导体供液设备，包括：箱体、药筒、泵体、供液检测装置和信号处理装置，所述药筒位于所述箱体内且内部输入有药液；所述泵体设置在所述箱体内且与所述供液检测装置连接，以通过所述供液检测装置抽取所述药液；所述供液检测装置包括：第一管体组件、第二管体组件、三通接头、传感器和线缆，所述第一管体组件与所述第二管体组件连接，所述第一管体组件的底端伸入所述药筒内，所述第二管体组件通过所述三通接头与所述泵体连接；
4、所述第一管体组件包括：内筒和外筒，所述内筒位于所述外筒的内部，所述内筒和所述外筒的底部均位于所述药筒内部，且所述内筒的外圆周侧面与所述外筒的内圆周侧面之间具
5、所述第二管体组件包括：第一连接管、第一连接接头和第二连接接头；所述第一连接管与所述外筒分别沿上下方向布置，且所述第一连接管的底端与所述外筒的顶端通过所述第一连接接头连接；所述线缆还位于所述第一连接管的内部，且所述线缆与所述第一连接管的内侧壁之间具有第二设定间隙；所述第一连接接头的侧壁上设置有第一连接孔，以连通所述第一设定间隙和所述第二设定间隙；所述第二连接接头与所述第一连接管顶部的侧壁连接，所述第二连接接头与所述三通接头连接；
6、所述泵体启动后，所述药筒内部的所述药液依次沿着所述第一设定间隙、所述第二设定间隙和所述三通接头流向所述泵体；当所述信号处理装置接收并处理ph值信息，且在所述药液的ph值变化超过预设值时控制其报警装置报警。
7、在可能的实施方式中，所述第一管体组件还包括第一固定堵头、第一密封圈和第二密封圈；所述第一固定堵头设置在所述内筒内部的底端，所述传感器位于所述第一固定堵头的内部；所述第一固定堵头上套设有所述第一密封圈，以通过所述第二密封圈与所述内筒内圆周侧面密封连接；所述传感器的传感器主体上套设有所述第二密封圈，以通过所述第二密封圈与所述第一固定堵头的内圆周侧面密封连接；所述传感器的探头位于所述第二密封圈的下方以用于与所述药筒内部的所述药液接触。
8、在可能的实施方式中，所述外筒包括第一筒体和第二筒体，所述第一筒体与所述第二筒体分别沿上下方向相对布置且连接；所述第一固定堵头包括第一堵头主体和第一凸环部，所述第一凸环部设置在所述第一堵头主体的外圆周侧面的中部，所述第一凸环部的外圆周侧面与所述第一筒体的内圆周侧面之间具有间隙；所述第二筒体的顶端还伸入所述第一筒体的内部，且与所述第一凸环部的底部抵接，所述第二筒体的该顶端的外圆周侧面与所述第一筒体的内圆周侧面之间具有间隙。
9、在可能的实施方式中，所述第二筒体上下开口设置，所述探头伸入所述第二筒体的内部，所述第二筒体浸泡在所述药液内，所述第二筒体的所述顶端的侧壁上设置有第二连接孔。
10、在可能的实施方式中，所述第一筒体的底部设置有第一台阶，所述第一台阶的内径沿自下而上的方向逐渐减小；所述第二筒体的顶端设置有第二台阶，所述第二台阶的内径沿自下而上的方向逐渐增加，所述第一筒体的底部与所述第二筒体的顶端分别通过所述第一台阶和所述第二台阶连接配合；所述第二筒体的所述第二台阶的顶端还设置有抵接部，所述抵接部伸入所述第一筒体的内部且与所述第一凸环部的底部抵接；所述抵接部的侧壁设置有所述第二连接孔，所述抵接部的外圆周侧面与所述第一筒体的内圆周侧面之间留有所述具有间隙。
11、在可能的实施方式中，所述第一管体组件还包括保护盖，所述保护盖与所述第二筒体的底部对接，以密封保护位于所述第二筒体内部的所述探头。
12、在可能的实施方式中，所述保护盖的顶端的外圆周侧面设置有第一螺纹部，所述第二筒体的内圆周侧面设置有第二螺纹部，所述保护盖的顶端伸入所述第二筒体的内部且二者螺纹连接；所述保护盖的中部的外圆周侧面设置有第二台肩部，所述第二台肩部与所述第二筒体的底部相对设置，且第二筒体的底部与所述第二台肩部抵接。
13、在可能的实施方式中，所述第一管体组件还包括第三密封圈，所述第三密封圈套设在所述第一堵头主体底部的外圆周侧面上，所述第一堵头主体的底部和所述探头伸入所述保护盖内，且所述第一堵头主体底部的外圆周侧面通过所述第三密封圈与所述保护盖顶端的内圆周侧面密封连接。
14、在可能的实施方式中，所述第二管体组件还包括线缆保护套，所述线缆保护套套设在所述线缆的外侧，且所述线缆保护套的底部与抵接在所述传感器主体的顶端；所述第一连接接头与所述第二筒体的顶端螺纹连接；所述内筒顶端的外圆周侧面设置有第一台肩部，所述第一连接接头的底部与所述第一台肩部上下相对设置，所述第一连接接头与所述第二筒体向下旋紧时，所述第一连接接头的底部压紧在所述第一台肩部的顶部并通过所述第一台肩部对所述内筒施加向下的预紧力，以使所述内筒的底部压紧在所述第一凸环部的顶端；所述内筒顶部的外径自上而下依次增加，所述线缆保护套的底部套设在所述内筒的该顶部，所述第一连接接头与所述第二筒体向下旋紧时，所述第一连接接头的内圆周侧面沿朝向所述线缆的方向将所述线缆保护套压紧在所述内筒的该顶部。
15、在可能的实施方式中，所述半导体供液设备的多组设备连接处具有密封固定结构；所述多组设备连接处至少包括所述外筒和所述第一连接管的连接处，所述三通接头和所述第一连接管的连接处，所述三通接头和所述泵体的连接处，所述内筒与所述线缆保护套的连接处；
16、每组连接处均设置有第一固定连接接头和第一连接螺母；所述第一固定连接接头套设在对应所述连接部，所述第一连接螺母套设在所述第一固定连接接头或者分别套设在所述第一固定连接接头和所述线缆保护套的外圆周侧面上，且所述第一固定连接接头与所述第一连接螺母螺纹连接；所述第一固定连接接头顶端的外径自下而上逐渐减小，所述线缆保护套套设在所述第一固定连接接头的顶端；所述第一连接螺母与所述第一固定连接接头向下旋紧时，所述线缆保护套被压紧在所述第一固定连接接头的顶端。
17、在可能的实施方式中，所述第一固定连接接头包括第一固定连接接头主体本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，包括：箱体、药筒、泵体、供液检测装置和信号处理装置，所述药筒位于所述箱体内且内部输入有药液；所述泵体设置在所述箱体内且与所述供液检测装置连接，以通过所述供液检测装置抽取所述药液；所述供液检测装置包括：第一管体组件、第二管体组件、三通接头、传感器和线缆，所述第一管体组件与所述第二管体组件连接，所述第一管体组件的底端伸入所述药筒内，所述第二管体组件通过所述三通接头与所述泵体连接；
2.根据权利要求1所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，所述第一管体组件还包括第一固定堵头、第一密封圈和第二密封圈；所述第一固定堵头设置在所述内筒内部的底端，所述传感器位于所述第一固定堵头的内部；所述第一固定堵头上套设有所述第一密封圈，以通过所述第二密封圈与所述内筒内圆周侧面密封连接；所述传感器的传感器主体上套设有所述第二密封圈，以通过所述第二密封圈与所述第一固定堵头的内圆周侧面密封连接；所述传感器的探头位于所述第二密封圈的下方以用于与所述药筒内部的所述药液接触。
3.根据权利要求2所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征
4.根据权利要求3所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，所述第二筒体上下开口设置，所述探头伸入所述第二筒体的内部，所述第二筒体浸泡在所述药液内，所述第二筒体的所述顶端的侧壁上设置有第二连接孔。
5.根据权利要求3所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，所述第一筒体的底部设置有第一台阶，所述第一台阶的内径沿自下而上的方向逐渐减小；所述第二筒体的顶端设置有第二台阶，所述第二台阶的内径沿自下而上的方向逐渐增加，所述第一筒体的底部与所述第二筒体的顶端分别通过所述第一台阶和所述第二台阶连接配合；所述第二筒体的所述第二台阶的顶端还设置有抵接部，所述抵接部伸入所述第一筒体的内部且与所述第一凸环部的底部抵接；所述抵接部的侧壁设置有所述第二连接孔，所述抵接部的外圆周侧面与所述第一筒体的内圆周侧面之间留有所述具有间隙。
6.根据权利要求3所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，所述第一管体组件还包括保护盖，所述保护盖与所述第二筒体的底部对接，以密封保护位于所述第二筒体内部的所述探头。
7.根据权利要求6所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，所述保护盖的顶端的外圆周侧面设置有第一螺纹部，所述第二筒体的内圆周侧面设置有第二螺纹部，所述保护盖的顶端伸入所述第二筒体的内部且二者螺纹连接；所述保护盖的中部的外圆周侧面设置有第二台肩部，所述第二台肩部与所述第二筒体的底部相对设置，且第二筒体的底部与所述第二台肩部抵接。
8.根据权利要求7所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，所述第一管体组件还包括第三密封圈，所述第三密封圈套设在所述第一堵头主体底部的外圆周侧面上，所述第一堵头主体的底部和所述探头伸入所述保护盖内，且所述第一堵头主体底部的外圆周侧面通过所述第三密封圈与所述保护盖顶端的内圆周侧面密封连接。
9.根据权利要求3所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，所述第二管体组件还包括线缆保护套，所述线缆保护套套设在所述线缆的外侧，且所述线缆保护套的底部与抵接在所述传感器主体的顶端；所述第一连接接头与所述第二筒体的顶端螺纹连接；所述内筒顶端的外圆周侧面设置有第一台肩部，所述第一连接接头的底部与所述第一台肩部上下相对设置，所述第一连接接头与所述第二筒体向下旋紧时，所述第一连接接头的底部压紧在所述第一台肩部的顶部并通过所述第一台肩部对所述内筒施加向下的预紧力，以使所述内筒的底部压紧在所述第一凸环部的顶端；所述内筒顶部的外径自上而下依次增加，所述线缆保护套的底部套设在所述内筒的该顶部，所述第一连接接头与所述第二筒体向下旋紧时，所述第一连接接头的内圆周侧面沿朝向所述线缆的方向将所述线缆保护套压紧在所述内筒的该顶部。
10.根据权利要求9所述的实时检测PH的半导体供液设备，其特征在于，所述半导体供液设备的多组设备连接处具有密封固定结构；所述多组设备连接处至少包括所述外筒和所述第一连接管的连接处，所述三通接头和所述第一连接管的连接处，所述三通接头和所述泵体的...
【技术特征摘要】
1.一种实时检测ph的半导体供液设备，其特征在于，包括：箱体、药筒、泵体、供液检测装置和信号处理装置，所述药筒位于所述箱体内且内部输入有药液；所述泵体设置在所述箱体内且与所述供液检测装置连接，以通过所述供液检测装置抽取所述药液；所述供液检测装置包括：第一管体组件、第二管体组件、三通接头、传感器和线缆，所述第一管体组件与所述第二管体组件连接，所述第一管体组件的底端伸入所述药筒内，所述第二管体组件通过所述三通接头与所述泵体连接；
2.根据权利要求1所述的实时检测ph的半导体供液设备，其特征在于，所述第一管体组件还包括第一固定堵头、第一密封圈和第二密封圈；所述第一固定堵头设置在所述内筒内部的底端，所述传感器位于所述第一固定堵头的内部；所述第一固定堵头上套设有所述第一密封圈，以通过所述第二密封圈与所述内筒内圆周侧面密封连接；所述传感器的传感器主体上套设有所述第二密封圈，以通过所述第二密封圈与所述第一固定堵头的内圆周侧面密封连接；所述传感器的探头位于所述第二密封圈的下方以用于与所述药筒内部的所述药液接触。
3.根据权利要求2所述的实时检测ph的半导体供液设备，其特征在于，所述外筒包括第一筒体和第二筒体，所述第一筒体与所述第二筒体分别沿上下方向相对布置且连接；所述第一固定堵头包括第一堵头主体和第一凸环部，所述第一凸环部设置在所述第一堵头主体的外圆周侧面的中部，所述第一凸环部的外圆周侧面与所述第一筒体的内圆周侧面之间具有间隙；所述第二筒体的顶端还伸入所述第一筒体的内部，且与所述第一凸环部的底部抵接，所述第二筒体的该顶端的外圆周侧面与所述第一筒体的内圆周侧面之间具有间隙。
4.根据权利要求3所述的实时检测ph的半导体供液设备，其特征在于，所述第二筒体上下开口设置，所述探头伸入所述第二筒体的内部，所述第二筒体浸泡在所述药液内，所述第二筒体的所述顶端的侧壁上设置有第二连接孔。
5.根据权利要求3所述的实时检测ph的半导体供液设备，其特征在于，所述第一筒体的底部设置有第一台阶，所述第一台阶的内径沿自下而上的方向逐渐减小；所述第二筒体的顶端设置有第二台阶，所述第二台阶的内径沿自下而上的方向逐渐增加，所述第一筒体的底部与所述第二筒体的顶端分别通过所述第一台阶和所述第二台阶连接配合；所述第二筒体的所述第二台阶的顶端还设置有抵接部，所述抵接部伸入所述第一筒体的内部且与所述第一凸环部的底部抵接；所述抵接部的侧壁设置有所述第二连接孔，所述抵接部的外圆周侧面与所述第一筒体的内圆周侧面之间留有所述具有间隙。
6.根据权利要求3所述的实时检测ph的半导体供液设备，其特征在于，所述第一管体组件还包括保护盖，所述保护盖与所述第二筒体的底部对接，以密封保护位于所述第二筒体内部的所述探头。
7.根据权利要求6所述的实时检测ph的半导体供液设备，其特征在于，所述保护盖的顶端的外圆周侧面设置有第一螺纹部...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亚辉，于锋，田文龙，刘鹏，常军，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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