System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() FinFET工艺的布线轨道网格生成方法及相关设备技术_技高网

FinFET工艺的布线轨道网格生成方法及相关设备技术

技术编号:44505316 阅读:4 留言:0更新日期:2025-03-07 13:03
本申请公开了一种FinFET工艺的布线轨道网格生成方法及相关设备,涉及EDA软件领域,该方法包括:将与FinFET的目标布线层相邻的各个布线层的默认网格投影至目标布线层,以得到目标布线层的备选网格;获取目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和目标布线层的备选网格的设计检查规则评估值;根据目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和目标布线层的备选网格设计检查规则评估值,从目标布线层的默认网格和备选网格中获取目标布线层的布线轨道网格。

【技术实现步骤摘要】

本说明书涉及eda软件领域,更具体地说,涉及一种finfet工艺的布线轨道网格生成方法及相关设备。


技术介绍

1、随着集成电路技术的发展,芯片设计朝着更高密度、更小尺寸的方向发展。特别是在finfet(fin field-effect transistor,鳍式场效应晶体管)工艺中,由于三维结构的引入,多层金属布线成为设计中的核心环节。在这一过程中,布线层的设计显得尤为关键,它用于在芯片内部连接晶体管、逻辑单元等元件,实现完整电路的功能。

2、每个布线层由金属导线组成,导线通过过孔(via)连接不同层次的布线层。在finfet工艺中,多重掩膜技术和高密度布线需求使得布线层的设计规则更加严格,在多层布线的场景下,传统的二维轨道网格往往无法高效处理跨层布线的复杂性的问题。现有布线方法主要基于目标布线层的单层网格生成,缺乏多层次的网格信息整合,导致路径选择的局限性。

3、因此,有必要提出一种finfet工艺的布线轨道网格生成方法及相关设备,以至少解决上述部分问题。


技术实现思路

1、在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念,这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本申请的
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征,更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

2、第一方面,本申请提出一种finfet工艺的布线轨道网格生成方法,包括:

3、将与finfet的目标布线层相邻的各个布线层的默认网格投影至上述目标布线层,以得到上述目标布线层的备选网格;

4、获取上述目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和上述目标布线层的备选网格的设计检查规则评估值;

5、根据上述目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和上述目标布线层的备选网格设计检查规则评估值,从上述目标布线层的默认网格和备选网格中获取上述目标布线层的布线轨道网格。

6、在一种可行的实施方式中,上述从上述目标布线层的默认网格和备选网格中获取上述目标布线层的布线轨道网格,包括:

7、根据全局最优策略,从上述目标布线层的备用选网格中筛选出上述目标布线层的可用备选网格;

8、根据上述目标布线层的默认网格和上述可用备选网格,获得上述目标布线层的布线轨道网格。

9、在一种可行的实施方式中,上述获取上述目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和上述目标布线层的备选网格的设计检查规则评估值,包括:

10、根据预测算法和目标布线层的布线设计规则,获取上述目标布线层中每个默认网格的网格节点的设计检查规则评估值;

11、根据所述预测算法和所述目标布线层的相邻布线设计规则,获取上述目标布线层中每个备选网格的网格节点的设计检查规则评估值;

12、其中,上述预测算法包括启发式算法、机器学习算法和最大似然估计中一种或多种,上述布线设计检查规则包括短路规则、平行走线长度规则、回环规则和多重掩膜技术的特殊规则中的一种或多种。

13、在一种可行的实施方式中,上述方法还包括:

14、获取上述目标布线层的布线参数信息;

15、根据上述目标布线层的布线参数信息,建立上述目标布线层的预设网格;

16、基于上述目标布线层的预设网格和上述目标布线层的标准单元的参考坐标进行对齐操作,以生成上述目标布线层的默认网格。

17、在一种可行的实施方式中,上述方法还包括:

18、在三维空间中建立上述目标布线层的布线轨道数组;

19、通过上述布线轨道数组执行生成上述当前布线层的备选网格、获取当前布线层的可用备选网格和确定当前布线层的可用布线网格的步骤,其中,上述布线轨道数组包括逻辑节点、物理节点、边、默认方向、自定义方向和设计检查规则评估值,上述逻辑节点为布线轨道网格中的抽象点,上述物理节点为逻辑节点在实际金属层上的映射点,上述边为连接两个节点的布线路径,上述默认方向为布线层的默认网格对应的方向、上述自定义方向为上述布线层的备选网格,上述设计检查规则评估值为上述逻辑节点在六个自由度方向上对应的六个设计检查规则评估值。

20、在一种可行的实施方式中,上述方法还包括:

21、根据finfet工艺文件确定布线工艺;

22、基于上述布线工艺确定待生成网格的维度信息;

23、在上述待生成网格的维度信息为三维的情况下,生成投影控制指令,其中,上述投影控制指令用于触发执行上述将与finfet的目标布线层相邻的各个布线层的默认网格投影至上述目标布线层的操作。

24、在一种可行的实施方式中,上述方法还包括:

25、获取上述finfet各布线层的轨道网格之间的线距差异信息;

26、基于多目标优化算法和上述线距差异信息对上述目标布线层的布线轨道网格进行优化,以得到上述目标布线层的优化后布线轨道网格。

27、第二方面、本申请提出一种finfet工艺的布线轨道网格生成装置,包括:

28、投影单元,用于将与finfet的目标布线层相邻的各个布线层的默认网格投影至上述目标布线层,以得到上述目标布线层的备选网格;

29、第一获取单元,用于获取上述目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和上述目标布线层的备选网格的设计检查规则评估值;

30、第二获取单元,用于根据上述目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和上述目标布线层的备选网格设计检查规则评估值,从上述目标布线层的默认网格和备选网格中获取上述目标布线层的布线轨道网格。

31、第三方面,一种电子设备,包括:存储器、处理器以及存储在上述存储器中并可在上述处理器上运行的计算机程序,上述处理器用于执行存储器中存储的计算机程序时实现如上述的第一方面任一项的finfet工艺的布线轨道网格生成方法的步骤。

32、第四方面,本申请还提出一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,上述计算机程序被处理器执行时实现第一方面任一项的finfet工艺的布线轨道网格生成方法。

33、综上,本方法通过将相邻层的默认网格投影到目标布线层,生成了备选网格,相邻层的默认网格与目标布线层的默认网格一起为布线算法提供多样化路径选择,显著提高布线资源的利用率。通过设计检查规则评估值剔除高风险节点,最终生成的布线轨道网格具有更高的设计可靠性,减少了违规问题。通过相邻层和目标布线层的默认网格的投影和整合,实现了跨层布线路径的优化,确保布线轨道的连贯性和规则一致性,特别适用于多层布线的复杂场景。本方法通过在生成轨道网格时预先整合多层次的信息和规则评估,大幅减少了布线算法的求解空间,从而提升了算法的效率。finfet工艺由于其三维结构特点,对布线轨道网格的生成提出了更高要求。本方法通过多层次信息的整合和优化,满足了finfet工艺对高密度布线的设计需求。

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【技术保护点】

1.一种FinFET的布线轨道网格生成方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的FinFET的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述从所述目标布线层的默认网格和备选网格中获取所述目标布线层的布线轨道网格,包括:

3.根据权利要求1所述的FinFET的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述获取所述目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和所述目标布线层的备选网格的设计检查规则评估值,包括:

4.根据权利要求2所述的FinFET的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述方法还包括:

5.根据权利要求1所述的FinFET的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述方法还包括:

6.根据权利要求1所述的FinFET的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述方法还包括:

7.根据权利要求1所述的FinFET的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述方法还包括:

8.一种FinFET工艺的布线轨道网格生成装置,其特征在于,包括:

9.一种电子设备,包括:存储器和处理器,其特征在于,所述处理器用于执行存储器中存储的计算机程序时实现如权利要求1-7中任一项所述的FinFET的布线轨道网格生成方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一项所述的FinFET的布线轨道网格生成方法的步骤。

...

【技术特征摘要】

1.一种finfet的布线轨道网格生成方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的finfet的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述从所述目标布线层的默认网格和备选网格中获取所述目标布线层的布线轨道网格,包括:

3.根据权利要求1所述的finfet的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述获取所述目标布线层的默认网格的设计检查规则评估值和所述目标布线层的备选网格的设计检查规则评估值,包括:

4.根据权利要求2所述的finfet的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述方法还包括:

5.根据权利要求1所述的finfet的布线轨道网格生成方法,其特征在于,所述方法还包括:

...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘丹
申请(专利权)人:北京汤谷软件技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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