【技术实现步骤摘要】
本公开涉及用于温度控制的功率控制设备、具有该设备的热处理系统以及热处理系统的温度控制方法，更具体地，涉及能够根据功率波动进行相位控制补偿的用于温度控制的功率控制设备、具有该设备的热处理系统以及热处理系统的温度控制方法。
技术介绍
1、热处理是衬底处理中对衬底(例如，晶片)进行退火的工艺。
2、这种热处理可能通过打开多个灯并用光照射衬底来加热衬底，并通过关闭灯来冷却衬底。在这种情况下，可能测量衬底的温度并根据衬底的温度控制提供给每个灯的功率量，以使整个衬底均匀加热，并且衬底的温度可能在几秒钟内升高到1,000℃或更高。
3、在此，提供给灯的功率可能使用晶栅管(如硅控整流器(scr))来控制，并且功率可能通过应用相角控制(pac)方法由晶栅管来控制。例如，交流电源可能从电源输入到scr，当栅极电流流过scr的栅极时，功率可能从scr输出并提供给灯。利用这一点，在pac方法中，通过改变施加到scr的栅极电流的时机，可能改变输出功率的波形(例如，输出电流波形和输出电压波形)，可能改变scr的输出功率(即灯的输入功率)，因此，可以控制提供给灯的功率量。
4、由于热处理系统的电源更换或在使用热处理系统期间出现其他不稳定因素，从电源提供给scr的交流电源可能发生波动。在这种情况下，提供给灯的功率量也可能波动，这导致灯的输出(强度)与设定输出不同，这可能导致衬底未被加热(或维持)到根据测量温度接近(或相似于)目标温度的温度。
5、因此，即使从电源提供给scr的交流电源发生波动，温度再现性也可能抑制
6、[相关技术文献]
7、[专利文件]
8、韩国专利公开号10-2002-0026006
技术实现思路
1、本公开提供了一种用于温度控制的功率控制设备，其可能检测功率波动并根据功率波动执行相位控制补偿，具有该功率控制设备的热处理系统，以及用于该热处理系统的温度控制方法。
2、根据一个示范性实施例，用于温度控制的功率控制设备包括：功率控制单元，经配置以通过控制从电源供应的交流电源的相位来控制提供给加热源的功率量；以及功率测量单元，连接到电源并经配置以测量交流电源，其中功率控制单元通过根据参考功率值与功率测量单元测量的测量值之间的差异来补偿相角以控制交流电源的相位。
3、功率控制单元可能包括相位计算单元，经配置以根据应用于加热源的功率量从参考功率值计算交流电源的控制相位，以及相角补偿单元，经配置以从参考功率值与功率测量单元测量的测量值之间的差值计算相角，并补偿由相位计算单元计算的控制相位的相角。
4、功率控制单元可能还包括功率设定单元，经配置以根据加热源的输出设置应用功率量。
5、相角补偿单元可能经配置以参考功率值与功率测量单元测量的测量值之间的差值来按比例计算相角。
6、当参考功率值与功率测量单元测量的测量值之间的差异为正数时，相角补偿单元可能经配置以将相角加到由相位计算单元计算的控制相位上，当参考功率值与功率测量单元测量的测量值之间的差异为负数时，从由相位计算单元计算的控制相位中减去相角。
7、电源可能经配置以提供三相交流电源。
8、功率测量单元可能经配置以测量每相的交流电源功率，并且功率控制单元可能经配置以分别根据参考功率值与功率测量单元测量的测量值之间的差异，通过分别补偿相角来控制每相交流电源的相位，对于每相的交流电源。
9、根据本公开的另一示范性实施例，热处理系统包括根据本公开实施例的用于温度控制的功率控制设备、设置在加热源相对位置并经配置以支撑衬底的衬底支撑部件、经配置以测量衬底温度的温度测量单元，以及经配置以根据衬底温度计算加热源输出的加热强度计算单元。
10、加热源可能包括多个灯。
11、施加到加热源的功率量可能根据由加热强度计算单元计算的加热源输出来确定。
12、根据又一示范性实施例，用于热处理系统的温度控制方法包括：测量支撑在衬底支撑部件上的衬底的温度；根据测量的衬底温度计算加热衬底的加热源的输出；根据计算的加热源输出设置施加到加热源的功率量；以及通过根据设置的施加功率量而控制从电源供应的交流电源的相位来控制供应到加热源的功率量，其中控制供应到加热源的功率量包括测量交流电源的过程，以及根据交流电源的测量值与参考功率值之间的差异而通过补偿相角来控制交流电源相位的过程。
13、控制交流电源相位的过程可能包括根据设置的施加功率量从参考功率值计算交流电源的控制相位的过程，使用参考功率值与交流电源的测量值之间的差值计算相角的过程，以及对计算的控制相位补偿计算的相角的过程。
14、在计算相角的过程中，相角可能以交流电源的测量值与参考功率值之间的差值按照比例来计算。
15、补偿计算的相角的过程可能包括当从参考功率值减去交流电源的测量值所得到的值是正数时，将计算的相角加到计算的控制相位的过程，以及当从参考功率值减去交流电源的测量值所得到的值是负数时，从计算的控制相位减去计算的相角的过程。
16、电源可能经配置以供应三相交流电源，并且在控制交流电源相位的过程中，可能通过分别根据为每相交流电源测量的交流电源的测量值与参考功率值之间的差异补偿相角来分别控制每相交流电源的相位。
17、示范性实施例可以从结合附图的以下描述中更详细地理解。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于温度控制的功率控制设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的功率控制设备，其中，所述功率控制单元包括：
3.根据权利要求2所述的功率控制设备，其中，所述功率控制单元还包括功率设定单元，被配置为根据所述加热源的输出设置应用的所述功率量。
4.根据权利要求2所述的功率控制设备，其中，所述相角补偿单元被配置为以所述参考功率值与所述功率测量单元测量的测量值之间的差值按比例计算所述相角。
5.根据权利要求4所述的功率控制设备，其中，所述相角补偿单元被配置为
6.根据权利要求1所述的功率控制设备，其中，所述电源被配置为供应三相交流电源。
7.根据权利要求6所述的功率控制设备，其中，所述功率测量单元被配置为测量每相的交流功率，并且
8.一种热处理系统，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的热处理系统，其中，所述加热源包括多个灯。
10.根据权利要求8所述的热处理系统，其中，施加到所述加热源的功率量根据所述加热强度计算单元计算的所述加热源的所述输出来确定。
...【技术特征摘要】
1.一种用于温度控制的功率控制设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的功率控制设备，其中，所述功率控制单元包括：
3.根据权利要求2所述的功率控制设备，其中，所述功率控制单元还包括功率设定单元，被配置为根据所述加热源的输出设置应用的所述功率量。
4.根据权利要求2所述的功率控制设备，其中，所述相角补偿单元被配置为以所述参考功率值与所述功率测量单元测量的测量值之间的差值按比例计算所述相角。
5.根据权利要求4所述的功率控制设备，其中，所述相角补偿单元被配置为
6.根据权利要求1所述的功率控制设备，其中，所述电源被配置为供应三相交流电源。
7.根据权利要求6所述的功率控制设备，其中，所述功率测量单元被配置为测量每相...
【专利技术属性】
技术研发人员：池尙炫，李大龙，文勇秀，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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