【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆片生产，具体而言，涉及一种晶圆载片架。
技术介绍
1、晶圆片的加工方式主要为批量加工，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片。晶圆片在生产过程中需要用清洗设备进行清洗作业。
2、硅晶片在放入清洗设备内部进行清洗作业时，首先批量的晶圆片需要放置在盒架内部，盒架会没入倾斜设备槽中的水面下方，然后清洗设备会带动盒架以及内部的晶圆片在竖直方向做往复运行将盒架内部的晶圆片清洗。由于晶圆片放置在盒架内部在竖直往复清洗的过程中，晶圆片与盒架内部放置槽贴合区域难以被清洗干净，从而影响晶圆片的清洗质量。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种晶圆载片架，以解决晶圆片放置在盒架内部在竖直往复清洗的过程中，晶圆片与盒架内部放置槽贴合区域难以被清洗干净的问题。
2、根据本申请实施例的一种晶圆载片架，包括：晶圆片承载组件、滚动驱动组件和滚动上压组件。
3、所述晶圆片承载组件包括盒架和底部滚动支撑部，所述底部滚动支撑部安装在所述盒架内部底侧，所述盒架内部两侧设置有放置晶圆片的放置槽，所述盒架一侧设置有与放置槽相连通的弧形槽；
4、所述滚动驱动组件包括浮板、转轴、固定支撑部和条壳，所述固定支撑部安装在盒架侧部，所述转轴与固定支撑部转动设置，且所述转轴外部固定套设有与放置槽一一对应的轮盘，所述转轴端部设置有转动连接部，倾斜设置的所述条壳底部和顶部分别连接有下杆和上杆，所述浮板与下杆底端固定连接，所述
5、所述滚动上压组件安装在盒架上限位晶圆片。
6、优选的，所述底部滚动支撑部包括托板和下滚轴，所述托板固定在盒架端部，所述下滚轴端部与托板转动连接。
7、优选的，所述下滚轴外部设置有与放置槽一一相对应的第一滚轴槽。
8、优选的，所述固定支撑部包括座架、侧架、弹性支撑件和第二座块，所述座架与侧架竖向位置滑动设置，且所述弹性支撑件连接座架和侧架，所述侧架顶端以及底端均设置有限位环，所述第二座块固定在侧架一侧，且所述转轴端部与第二座块转动设置。
9、优选的，所述滚动上压组件包括支撑臂、上滚轴和托块，所述托块固定在盒架侧部，所述上滚轴转动设置在两个支撑臂顶端，所述托块通过销轴与支撑臂转动安装，所述支撑臂底部分别设置有与侧架顶部卡合的下压支撑区与松脱支撑区，所述盒架一侧上沿设置有支撑臂活动穿过的第一避让槽口，两个所述支撑臂外部设置有手柄。
10、优选的，所述上滚轴外部设置有与放置槽一一相对应的第二滚轴槽。
11、优选的，所述弹性支撑件包括销杆、弹簧、第一座块和固定块，所述固定块与座架固定设置，所述销杆固定在所述固定块上方，所述第一座块与侧架连接，所述销杆顶端活动贯穿第一座块，所述弹簧套设在销杆外部，所述销杆顶端设置有限位盖。
12、优选的，所述转动连接部包括连接条板和轴杆，所述连接条板两端分别与转轴一端以及轴杆一端连接，所述轴杆另一端活动在条壳内部。
13、优选的，所述滚动驱动组件还包括顶块，所述顶块设置在所述上杆顶端。
14、该晶圆载片架还包括外罩保护组件，所述外罩保护组件包括外罩壳，所述外罩壳位于滚动驱动组件外部与盒架侧部连接，所述外罩壳侧部设置有流通口，且外罩壳上方设置有与支撑臂贯穿配合的第二避让槽口。
15、优选的，所述外罩保护组件还包括导流壳、导流板、叶板和套筒，所述套筒固定相邻轮盘之间的所述转轴外部，多组所述叶板呈环状阵列分布设置在套筒外部，所述导流壳位于所述流通口外侧与外罩壳固定，所述导流板安装在导流壳内部，且所述导流板上设置有与套筒一一对应的倾斜设置的导流槽。
16、本申请的有益效果是：本申请通过上述设计得到的一种晶圆载片架，清洗设备带动盒架作上下往复移动清洗盒架内部的晶圆片时，暴露在放置槽以外的晶圆片表面能够直接与清洗槽内部的清洗液相接触被清洗。盒架作上下往复移动通过浮板、条壳等组件的配合带动转轴、轮盘转动，最终带动盒架内部的晶圆片转动。即盒架内部的晶圆片在上下作往复移动被清洗的同时，本位于放置槽内部的晶圆片区域在盒架作上下往复移动的同时，不需要额外的动力即能够完成转动，位于放置槽内部的晶圆片区域将随着转动脱出得以被清洗，实现盒架内部的晶圆片能被完全清洗，提升晶圆片清洗质量。
17、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
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1.一种晶圆载片架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述底部滚动支撑部(12)包括托板(121)和下滚轴(122)，所述托板(121)固定在盒架(11)端部，所述下滚轴(122)端部与托板(121)转动连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述下滚轴(122)外部设置有与放置槽(13)一一相对应的第一滚轴槽(123)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述固定支撑部(25)包括座架(251)、侧架(252)、弹性支撑件(253)和第二座块(255)，所述座架(251)与侧架(252)竖向位置滑动设置，且所述弹性支撑件(253)连接座架(251)和侧架(252)，所述侧架(252)顶端以及底端均设置有限位环(254)，所述第二座块(255)固定在侧架(252)一侧，且所述转轴(22)端部与第二座块(255)转动设置。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述滚动上压组件(3)包括支撑臂(31)、上滚轴(32)和托块(35)，所述托块(35
6.根据权利要求5所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述上滚轴(32)外部设置有与放置槽(13)一一相对应的第二滚轴槽(33)。
7.根据权利要求4所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述弹性支撑件(253)包括销杆(2531)、弹簧(2532)、第一座块(2533)和固定块(2535)，所述固定块(2535)与座架(251)固定设置，所述销杆(2531)固定在所述固定块(2535)上方，所述第一座块(2533)与侧架(252)连接，所述销杆(2531)顶端活动贯穿第一座块(2533)，所述弹簧(2532)套设在销杆(2531)外部，所述销杆(2531)顶端设置有限位盖(2534)。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述转动连接部(24)包括连接条板(241)和轴杆(242)，所述连接条板(241)两端分别与转轴(22)一端以及轴杆(242)一端连接，所述轴杆(242)另一端活动在条壳(26)内部。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述滚动驱动组件(2)还包括顶块(29)，所述顶块(29)设置在所述上杆(28)顶端。
10.根据权利要求5所述的一种晶圆载片架，其特征在于，还包括外罩保护组件(4)，所述外罩保护组件(4)包括外罩壳(41)，所述外罩壳(41)位于滚动驱动组件(2)外部与盒架(11)侧部连接，所述外罩壳(41)侧部设置有流通口(43)，且外罩壳(41)上方设置有与支撑臂(31)贯穿配合的第二避让槽口(42)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆载片架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述底部滚动支撑部(12)包括托板(121)和下滚轴(122)，所述托板(121)固定在盒架(11)端部，所述下滚轴(122)端部与托板(121)转动连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述下滚轴(122)外部设置有与放置槽(13)一一相对应的第一滚轴槽(123)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述固定支撑部(25)包括座架(251)、侧架(252)、弹性支撑件(253)和第二座块(255)，所述座架(251)与侧架(252)竖向位置滑动设置，且所述弹性支撑件(253)连接座架(251)和侧架(252)，所述侧架(252)顶端以及底端均设置有限位环(254)，所述第二座块(255)固定在侧架(252)一侧，且所述转轴(22)端部与第二座块(255)转动设置。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆载片架，其特征在于，所述滚动上压组件(3)包括支撑臂(31)、上滚轴(32)和托块(35)，所述托块(35)固定在盒架(11)侧部，所述上滚轴(32)转动设置在两个支撑臂(31)顶端，所述托块(35)通过销轴(36)与支撑臂(31)转动安装，所述支撑臂(31)底部分别设置有与侧架(252)顶部卡合的下压支撑区(37)与松脱支撑区(38)，所述盒架(11)一侧上沿设置有支撑臂(31)活动穿过的第一避让槽口(15)，两个所述支撑臂(31)外部设置有手柄(34...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，秦东槐，
申请(专利权)人：昆山英博尔电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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