【技术实现步骤摘要】
本申请属于晶圆片缺陷检测，具体涉及一种晶圆照亮光束稳定系统和方法。
技术介绍
1、半导体检测中采用主动激光照射晶圆，激光光斑聚焦到晶圆上某一位置，照射晶圆表面缺陷，散射光或照亮区域通过对缺陷信号收集和处理后与晶圆上缺陷位置进行对应，以检测晶圆缺陷。然而，在实际检测过程中，晶圆角度、高度的变化，均会影响到激光光斑聚焦到晶圆上的位置，导致光斑偏离物镜视场的指定位置，甚至超出物镜视场范围，影响缺陷反馈信号，导致缺陷位置及类型标定差别甚至错误，影响检测结果准确性。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
2、为此，本申请的第一方面提供了一种晶圆照亮光束稳定系统。
3、本申请的第二方面提供了一种晶圆照亮光束稳定方法。
4、有鉴于此，根据本申请实施例的第一方面提出了一种晶圆照亮光束稳定系统，晶圆照亮光束稳定系统设置在平台上，晶圆照亮光束稳定系统包括：
5、照明组件，照明组件折射光源光束至少形成第一光束和第二光束，照明组件可调整的设置在平台上，以调节光源光束的分光角度；
6、工件移动组件，工件移动组件用于移动待测件，待测件接收第二光束，能够反射出第三光束；
7、反射监测组件，反射监测组件用于监测第三光束形成的光斑；
8、信号控制组件，信号控制组件用于控制工件移动组件移动，信号控制组件接收反射监测组件的检测信号，信号控制组件至少根据反射监测组件的检测信号向工件移动组件传递控制信
9、在一种可行的实施方式中，照明组件包括光束调节组件、棱镜组件和光束聚焦组件，光束调节组件将光源光束反射到棱镜组件上，棱镜组件分光形成第一光束和第二光束，第二光束进入光束聚焦组件；
10、光束调节组件可调整的设置在平台上，以调节第一光束和第二光束的角度。
11、在一种可行的实施方式中，光束调节组件包括：
12、快反镜镜座；
13、调节系统，调节系统与信号控制组件电连接，调节系统包括第一调整机构，调节系统设置在快反镜镜座上；
14、快反镜镜片，快反镜镜片设置在第一调整机构上。
15、在一种可行的实施方式中，光束聚焦组件的光学系统为反远距系统，光束聚焦组件包括：
16、聚焦镜筒支架；
17、聚焦镜筒，聚焦镜筒设置在聚焦镜筒支架上；
18、若干个聚焦透镜，若干个聚焦透镜布置在聚焦镜筒中。
19、在一种可行的实施方式中，工件移动组件上安装有待测件，工件移动组件用于移动待测件；
20、工件移动组件包括：
21、底座；
22、第二调整机构，第二调整机构与信号控制组件电连接，第二调整机构设置在底座上；
23、转动机构，转动机构与信号控制组件电连接，转动机构设置在第二调整机构的移动台上，转动机构包括旋转台，待测件设置在旋转台上。
24、在一种可行的实施方式中，反射监测组件包括反射监测镜组组件、反射监测转折镜组件和反射监测探测器组件，反射监测转折镜组件设置在反射监测镜组组件的出光侧，反射监测探测器组件设置在反射监测转折镜组件的出光侧。
25、在一种可行的实施方式中，光源监测镜组组件的光学系统为长焦聚焦系统，反射监测镜组组件包括：
26、反射监测镜筒支架；
27、反射监测镜筒，反射监测镜筒设置在反射监测镜筒支架上；
28、反射监测透镜，若干个反射监测透镜布置在反射监测镜筒中。
29、在一种可行的实施方式中，晶圆照亮光束稳定系统还包括：
30、光源监测组件，光源监测组件接收第一光束，光源监测组件监测第一光束形成的光斑。
31、在一种可行的实施方式中，信号控制组件接收光源监测组件的检测信号，信号控制组件根据光源监测组件的检测信号向照明组件传递控制信号。
32、在一种可行的实施方式中，光源监测组件包括光源监测镜组组件和光源监测探测器组件，光源监测探测器组件设置在光源监测镜组组件的出光侧。
33、在一种可行的实施方式中，光源监测镜组组件的光学系统为长焦聚焦系统，光源监测镜组组件包括：
34、监测镜筒支架；
35、监测镜筒，监测镜筒设置在监测镜筒支架上；
36、若干个监测透镜，若干个监测透镜布置在监测镜筒中。
37、根据本申请实施例的第二方面提出了一种晶圆照亮光束稳定方法，采用如上述任一技术方案晶圆照亮光束稳定系统对晶圆片进行检测，包括：
38、照明组件将光源光束分为第一光束和第二光束，使第二光束聚焦到工件移动组件上安装的待测件上反射形成第三光束，以及使第三光束反射到反射监测组件内形成光斑；
39、获取反射监测组件监测的光斑的第一初始位置；
40、采集反射监测组件监测的光斑的第一调节前位置；
41、根据反射监测组件记录的第一调节前位置与第一初始位置，获得反射监测组件监测的光斑的第一偏移量；
42、根据反射监测组件监测的光斑的第一偏移量，调节工件移动组件。
43、在一种可行的实施方式中，根据反射监测组件记录的第一调节前位置与第一初始位置，获得反射监测组件监测的光斑的第一偏移量，步骤包括：
44、根据反射监测组件记录的第一调节前位置与第一初始位置，获得光源光束在x方向上的角度偏移量δθx、光源光束在y方向上的角度偏移量δθy，获得待测件在x方向上的表面角度待测件在y方向上的表面角度
45、根据如下公式关系计算反射监测组件监测的光斑在x方向上的第一偏移量δtx、在y方向上的第一偏移量δty：
46、
47、其中，δθx为光源光束在x方向上的角度偏移量、δθy为光源光束在y方向上的角度偏移量，为待测件在x方向上的表面角度、为待测件在y方向上的表面角度，δz为第二光束在待测件上的光斑在z方向的调节量，fx、fy、g、hx、hy为已知的对应系统参数系数。
48、在一种可行的实施方式中，使第三光束反射到反射监测组件内形成光斑，之后还包括：
49、首次检测时，在安装待测件后，通过调节照明组件调节反射监测组件监测的光斑的位置；
50、连续检测时，在更换待测件后，通过调节照明组件和/或工件移动组件调节反射监测组件监测的光斑的位置。
51、在一种可行的实施方式中，调节工件移动组件，之前还包括：
52、当第一偏移量大于预设值时，信号控制组件至少控制工件移动组件移动；
53、当第一偏移量不大于预设值时，照明组件和工件移动组件停止移动。
54、在一种可行的实施方式中，在晶圆照亮光束稳定系统包括光源监测组件的情况下，根据反射监测组件监测的光斑的第一偏移量，调节工件移动组件的步骤包括：
55、记录光源监测组件监测的光斑的第二初始位置，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆照亮光束稳定系统，所述晶圆照亮光束稳定系统设置在平台上，其特征在于，所述晶圆照亮光束稳定系统包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
8.根据权利要求1～7中任一项所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，所述晶圆照亮光束稳定系统还包括：
9.根据权利要求8所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
10.一种晶圆照亮光束稳定方法，其特征在于，采用如权利要求1～9任意一项所述的晶圆照亮光束稳定系统对晶圆片进行检测，包括：
【技术特征摘要】
1.一种晶圆照亮光束稳定系统，所述晶圆照亮光束稳定系统设置在平台上，其特征在于，所述晶圆照亮光束稳定系统包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的一种晶圆照亮光束稳定系统，其特征在于，
6.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，张武杰，
申请(专利权)人：中科慧远视觉技术洛阳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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