【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆清洗，尤其涉及一种用于晶圆清洗过程中药液的回收设备。
技术介绍
1、在晶圆生产过程中，晶圆清洗是各个工站必不可少，不同的工站所需清洁效果也不一样，用到的药液种类也根据工艺不同而多种多样，尤其是单片清洗蚀刻设备。
2、为节约成本，各种价格昂贵的化学药液需要进行回收再利用，在回收的过程中，需要多个回收机构分别进行分离后再分批回收。现有结构中通常会设置内外双层分流罩来实现两种不同药液的分离，在机构运动过程中，内外分流罩分别用多个执行元件进行控制来实现上下升降，其中的执行元件可以为气缸或者电动模组。但是，气缸使用中存在单个气缸不同步升降，气缸导向不易调整，造成分流罩破裂变形等问题；而电动模组在使用中控制较为复杂，双模组需要同步控制，控制器较多，电气程序复杂，成本较高；故上述两者结构都不满足现有的需求，也不利于设备后期维护和其它机构的排布。
技术实现思路
1、本专利技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种药液回收设备，整体成本低，易于控制调试，占有面积较小。
2、为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种药液回收设备，包括：
3、旋转台，所述旋转台上具有用于夹持晶圆的定位pin；
4、药液槽，沿着所述旋转台的外周向分布，所述药液槽的底部设有外出液口；安装架，设置在所述药液槽的下方，所述安装架上设有竖向设置的导向线轨；
5、内分流罩，设置在所述旋转台和所述药液槽之间，所述内分流罩通过内驱动部能够主动的在所述导
6、外分流罩，设于所述内分流罩和所述药液槽之间，所述外分流罩通过外滑动部能够在所述导向线轨内上下升降，用以引导药液沿着所述内分流罩和外分流罩之间的间隙流出，其中，所述外滑动部位于所述内驱动部的上方；
7、限位部，两个所述限位部分别设置在所述安装架的两侧；
8、推动部件，设于所述内分流罩的两侧，并且与所述限位部相对应设置；
9、其中，当所述内驱动部驱动内分流罩沿着导向线轨上升时，所述内驱动部同步带动所述外滑动部沿着导向线轨上升，外滑动部带动外分流罩同步上升，当所述内分流罩的上表面高于晶圆的位置时，喷淋的药液在晶圆旋转离心力的作用下沿着内分流罩的引导由所述内出液口进行回收，此时所述推动部件跟随内分流罩随动上升后推动限位部对外分流罩在导向线轨上的升降距离进行限位；
10、当所述内驱动部驱动内分流罩沿着导向线轨下降时，所述内分流罩复位，所述外分流罩由于自身的重力下降至所述限位部的最低限位位置，此时所述晶圆位于所述内分流罩和外分流罩之间，喷淋的药液在晶圆旋转离心力的作用下沿着所述内分流罩和外分流罩之间的间隙流出后由所述外出液口进行回收；
11、当药液回收完成后，所述内驱动部带动所述内分流罩再次上升，此时推动部件再次推动限位部后解除限位部对外分流罩的限位，然后所述内驱动部驱动内分流罩下移，所述外分流罩由于自身重力复位。
12、在一实施例中，所述外出液口和内出液口为相邻设置。
13、在一实施例中，所述内驱动部包括竖向设置在所述安装架上的升降电机；所述升降电机驱动位于导向线轨上的内滑块上下升降；所述内滑块上设有沿着所述药液槽的直径方向分布有内连接板，所述内连接板上表面的两端设有内立柱；所述内立柱与所述内分流罩相连。
14、在一实施例中，所述外滑动部包括可滑动的设置在所述导向线轨上的外滑动块；所述外滑动块上设有位于内连接板上表面的外连接板，所述外连接板的上表面两端设有外立柱，所述外立柱与所述外分流罩相连。
15、在一实施例中，所述推动部件包括第一推板和第二推板，所述第一推板从所述内驱动部的一侧延伸出来，所述第一推板的延伸端设有倾斜设置的第二推板，用以在所述推动部件上升时，所述第二推板能够推动所述限位部。
16、在一实施例中，所述限位部包括限位板和伸缩组件；所述限位板设于所述外滑动部上，所述限位板上开有限位卡槽；所述伸缩组件设置在所述安装架的侧面；所述伸缩组件包括第一导向管、第二导向管、限位杆、卡扣和顶杆；
17、所述第一导向管和第二导向管依次垂直安装在所述安装架上；所述第二导向管内部开有同轴心设置的第一内孔和第二内孔，且，所述第一内孔的直径大于所述第二内孔的直径；所述第二内孔的内壁设有内套管，所述内套管上相对第一导向管的一端具有内齿形，所述内套管上相对内齿形的一端具有沿着内套管内壁周向等距分布的导向内槽，且所述导向内槽朝向所述内齿形的一端贯穿设置；
18、所述限位杆从第一导向管插入后抵设在所述第二内孔的端面上，且，所述限位杆上相对所述第二内孔的一侧套设有弹簧；
19、所述卡扣从所述内套管的一端插入后与所述限位杆卡设相连，使得所述限位杆上的弹簧处于压缩状态；所述卡扣与所述限位杆相对一端的周向上设有多个卡扣导向条，且所述卡扣导向条上与所述限位杆相反的端面具有斜齿形；其中，所述卡扣导向条限位在所述导向内槽内；
20、所述卡扣和内套管之间设有套设在卡扣上的顶杆；所述顶杆套设在所述卡扣的一侧端面上设有顶杆齿形，且所述顶杆齿形远离所述卡扣导向条；所述顶杆齿形的后端设有多个沿着所述顶杆周向分布的顶杆导向条；所述顶杆导向条限位在所述导向内槽内，并且与所述卡扣导向条相对设置。
21、在一实施例中，所述卡扣导向条的数量为四个。
22、由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：
23、本专利技术的药液回收设备，通过一个升降电机驱动外风流罩和内风流罩同步上升，直到内风流罩高于晶圆的位置后进行第一种药液的喷淋，药液经由与内风流罩相通的内出液口回收，同时由限位部对外风流罩进行限位；当需要进行第二种药液喷淋时，升降电机驱动内风流罩下降，同时外风流罩在自身重力作用下移至限位部的最低位置，此时的晶圆处于外分流罩和内风流罩之间，这样药液可以通过外风流罩和内风流罩的间隙流入外出液口后排出，从而能在不同药液喷淋的情况下通过不同的通道对药液进行回收，整体结构紧凑，单个驱动电机即可对内外风流罩进行上下升降以及对外风流罩的位置限位，实现对不同药液的独立回收，整体的占用的面积小，利于设备后期维护和其它机构排布。
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1.一种药液回收设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的药液回收设备，其特征在于：所述外出液口(10)和内出液口(11)为相邻设置。
3.如权利要求1所述的药液回收设备，其特征在于：所述内驱动部(2)包括竖向设置在所述安装架(7)上的升降电机(20)；所述升降电机(20)驱动位于导向线轨(8)上的内滑块(21)上下升降；所述内滑块(21)上设有沿着所述药液槽(4)的直径方向分布有内连接板(22)，所述内连接板(22)上表面的两端设有内立柱(23)；所述内立柱(23)与所述内分流罩(5)相连。
4.如权利要求3所述的药液回收设备，其特征在于：所述外滑动部(3)包括可滑动的设置在所述导向线轨(8)上的外滑动块；所述外滑动块上设有位于内连接板(22)上表面的外连接板(31)，所述外连接板(31)的上表面两端设有外立柱(32)，所述外立柱(32)与所述外分流罩(9)相连。
5.如权利要求1所述的药液回收设备，其特征在于：所述推动部件(12)包括第一推板(120)和第二推板(121)；所述第一推板(120)从所述内驱动部(2)的一侧延
6.如权利要求1所述的药液回收设备，其特征在于：所述限位部(13)包括限位板(14)和伸缩组件(15)；所述限位板(14)设于所述外滑动部(3)上，所述限位板(14)上开有限位卡槽(140)；所述伸缩组件(15)设置在所述安装架(7)的侧面；所述伸缩组件(15)包括第一导向管(150)、第二导向管(151)、限位杆(152)、卡扣(153)和顶杆(154)；
7.如权利要求6所述的药液回收设备，其特征在于：所述卡扣导向条(153a)的数量为四个。
...【技术特征摘要】
1.一种药液回收设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的药液回收设备，其特征在于：所述外出液口(10)和内出液口(11)为相邻设置。
3.如权利要求1所述的药液回收设备，其特征在于：所述内驱动部(2)包括竖向设置在所述安装架(7)上的升降电机(20)；所述升降电机(20)驱动位于导向线轨(8)上的内滑块(21)上下升降；所述内滑块(21)上设有沿着所述药液槽(4)的直径方向分布有内连接板(22)，所述内连接板(22)上表面的两端设有内立柱(23)；所述内立柱(23)与所述内分流罩(5)相连。
4.如权利要求3所述的药液回收设备，其特征在于：所述外滑动部(3)包括可滑动的设置在所述导向线轨(8)上的外滑动块；所述外滑动块上设有位于内连接板(22)上表面的外连接板(31)，所述外连接板(31)的上表面两端设有外立柱(32)，所述外立柱(32)与所述外分流罩(9)相...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔建举，徐东波，余涛，庞金元，成镓伟，
申请(专利权)人：若名芯装备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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