一种晶棒转运载具制造技术

本技术提供一种晶棒转运载具，其结构包括架体，所述架体上设有若干个相互独立的置物区，所述置物区中设有承托件，所述承托件的外周设有若干个侧挡件；所述架体上设有若干组货叉定位件，若干组所述货叉定位件位于所述架体的不同侧。本技术本转运载具具有多个互相隔离的载物区，并通过侧挡件对硅棒进行分隔和限位，提高转运过程中硅棒的稳定性，利用地牛、叉车等进行转运，单次可转运多个硅棒，提高转运效率，降低工人劳作强度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产，尤其是涉及一种晶棒转运载具。

技术介绍

1、在单晶硅生产过程中，将单晶截断后，常常需要人工转移晶棒。目前常采用的方式有：人工手动搬运、利用小型转运车转运等。人工手动搬运的劳动强度大且效率低，小型转运车通常为单根型或者双根型的手推车，单次可转运的晶棒数量少，并且其对晶棒的限位措施较为简单，晶棒由于质量较大、惯性较大，容易在转运过程中从托架上滑脱、掉落下来，轻则造成材料损失，重则砸伤工人，生产安全隐患较大。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种晶棒转运载具，以解决上述背景中的问题。

2、本技术的技术方案包括：一种晶棒转运载具，其包括架体，所述架体上设有若干个相互独立的置物区，所述置物区中设有承托件，所述承托件的外周设有若干个侧挡件；所述架体上设有若干组货叉定位件，若干组所述货叉定位件位于所述架体的不同侧。

3、优选的，所述承托件包括底板及其两侧的两块侧板，所述侧板包括沿所述承托件的长度方向分布的、高度不同的第一安装部和第二安装部，所述第一安装部和所述第二安装部上分别安装有第一隔离垫和第二隔离垫，所述第一隔离垫和所述第二隔离垫之间设有空白分隔区。

4、优选的，所述第一安装部位于所述第二安装部的两侧，且高于所述第二安装部。

5、优选的，所述第一隔离垫和所述第二隔离垫上设有底部连续或分隔的v形承托槽。

6、优选的，所述侧挡件包括侧挡板和侧挡杆，所述侧挡板位于所述承托件的长端部两侧，其靠近所述承托件的板面设有第三隔离垫；所述侧挡杆位于所述承托件的宽端部两侧，其上套设有第四隔离垫。

7、优选的，所述侧挡板的底部设有与所述架体滑动连接的滑座一，所述滑座一中穿设有丝杠一，所述丝杠一沿所述承托件的长度方向延伸。

8、优选的，所述丝杠一上至少设有一组正旋螺纹和反旋螺纹，分别连接位于所述承托件两侧的所述滑座一。

9、优选的，所述侧挡杆的底部设有与所述架体滑动连接的滑座二，所述滑座二中穿设有丝杠二，所述丝杠二沿所述承托件的宽度方向延伸。

10、优选的，所述丝杠二上至少设有一组正旋螺纹和反旋螺纹，分别连接位于所述承托件两侧的所述滑座二。

11、优选的，所述货叉定位件包括两个相对设置的竖板，两个所述竖板关于所述架体的水平中线对称。

12、本技术具有的有益效果在于：本转运载具具有多个互相隔离的载物区，并通过侧挡件对硅棒进行分隔和限位，提高转运过程中硅棒的稳定性，利用地牛、叉车等进行转运，单次可转运多个硅棒，提高转运效率，降低工人劳作强度。

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【技术保护点】

1.一种晶棒转运载具，其特征在于，包括架体，所述架体上设有若干个相互独立的置物区，所述置物区中设有承托件，所述承托件的外周设有若干个侧挡件；所述架体上设有若干组货叉定位件，若干组所述货叉定位件位于所述架体的不同侧。

2.根据权利要求1所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述承托件包括底板及其两侧的两块侧板，所述侧板包括沿所述承托件的长度方向分布的、高度不同的第一安装部和第二安装部，所述第一安装部和所述第二安装部上分别安装有第一隔离垫和第二隔离垫，所述第一隔离垫和所述第二隔离垫之间设有空白分隔区。

3.根据权利要求2所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述第一安装部位于所述第二安装部的两侧，且高于所述第二安装部。

4.根据权利要求2所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述第一隔离垫和所述第二隔离垫上设有底部连续或分隔的V形承托槽。

5.根据权利要求1-4任一所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述侧挡件包括侧挡板和侧挡杆，所述侧挡板位于所述承托件的长端部两侧，其靠近所述承托件的板面设有第三隔离垫；所述侧挡杆位于所述承托件的宽端部两侧，其上套设有第四隔离垫。

6.根据权利要求5所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述侧挡板的底部设有与所述架体滑动连接的滑座一，所述滑座一中穿设有丝杠一，所述丝杠一沿所述承托件的长度方向延伸。

7.根据权利要求6所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述丝杠一上至少设有一组正旋螺纹和反旋螺纹，分别连接位于所述承托件两侧的所述滑座一。

8.根据权利要求5所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述侧挡杆的底部设有与所述架体滑动连接的滑座二，所述滑座二中穿设有丝杠二，所述丝杠二沿所述承托件的宽度方向延伸。

9.根据权利要求8所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述丝杠二上至少设有一组正旋螺纹和反旋螺纹，分别连接位于所述承托件两侧的所述滑座二。

10.根据权利要求1-4、6-9任一所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述货叉定位件包括两个相对设置的竖板，两个所述竖板关于所述架体的水平中线对称。

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【技术特征摘要】

1.一种晶棒转运载具，其特征在于，包括架体，所述架体上设有若干个相互独立的置物区，所述置物区中设有承托件，所述承托件的外周设有若干个侧挡件；所述架体上设有若干组货叉定位件，若干组所述货叉定位件位于所述架体的不同侧。

2.根据权利要求1所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述承托件包括底板及其两侧的两块侧板，所述侧板包括沿所述承托件的长度方向分布的、高度不同的第一安装部和第二安装部，所述第一安装部和所述第二安装部上分别安装有第一隔离垫和第二隔离垫，所述第一隔离垫和所述第二隔离垫之间设有空白分隔区。

3.根据权利要求2所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述第一安装部位于所述第二安装部的两侧，且高于所述第二安装部。

4.根据权利要求2所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述第一隔离垫和所述第二隔离垫上设有底部连续或分隔的v形承托槽。

5.根据权利要求1-4任一所述的晶棒转运载具，其特征在于，所述侧挡件包括侧挡板和侧挡杆，所述侧挡板位于所述承托件的长端部两侧，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑帅华，王志伟，罗欣，
申请(专利权)人：内蒙古中环晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：